專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅合成爐，具體是指一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和 硅粉回收的合成爐。
背景技術(shù)：
目前，在用三氯氫硅合成爐制備三氯氫硅的過(guò)程中，都必須通過(guò)布袋除塵器對(duì)已 經(jīng)制備的三氯氫硅氣體進(jìn)行過(guò)濾、對(duì)剩余的硅粉進(jìn)行回收，以確保所制成的三氯氫硅的質(zhì) 量。然而，在實(shí)際的應(yīng)用中，由于這些布袋除塵器均是直接與三氯氫硅合成爐上的管道相連 接的，加之這些布袋除塵器均是由玻璃絲布或玻璃棉氈等材料制備而成，因此這些三氯氫 硅合成爐在使用時(shí)還存在以下諸多缺陷首先，由于這些玻璃絲布或玻璃棉氈等材料的耐 高溫性能差、易破損，因此在使用時(shí)存在糊袋問(wèn)題，需要大量頻繁地更換布袋除塵器，從而 消耗大量的財(cái)力，甚至還會(huì)引起停車(chē)停產(chǎn)。其次，隨著使用時(shí)間的增長(zhǎng)，該布袋除塵器的過(guò) 濾功能也會(huì)逐漸失效，此時(shí)若有大量的硅粉進(jìn)入后續(xù)工藝，則不僅會(huì)浪費(fèi)有價(jià)粉塵，而且其 尾氣中含有的微量氯硅烷容易與氯化氫中的水反應(yīng)生成固體二氧化硅而堵塞管道，會(huì)嚴(yán)重 的影響生產(chǎn)的順利進(jìn)行和三氯氫硅的回收率。最后，由于在使用布袋除塵器過(guò)濾時(shí)一般需 要配置10個(gè)左右的布袋除塵器，因此其能耗非常大，造價(jià)成本較高，加之在頻繁的拆換網(wǎng) 袋的過(guò)程中有大量的氣體外泄，會(huì)造成嚴(yán)重的環(huán)境污染。綜上所述，目前所使用的三氯氫硅合成爐的性能較差，能耗較高，不能滿足現(xiàn)在人 們的使用需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服目前使用三氯氫硅合成爐時(shí)需要頻繁更換布袋除塵 器、其過(guò)濾和硅粉回收性能較差，極易造成環(huán)境污染的缺陷，提供一種不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、不需 要頻繁更換布袋除塵器、而且過(guò)濾和回收性能較強(qiáng)，不會(huì)造成環(huán)境污染的一種用于三氯氫 硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐。本實(shí)用新型的目的通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉 回收的合成爐，主要由內(nèi)部設(shè)有爐腔的爐體組成，同時(shí)，在該爐腔的內(nèi)部設(shè)有過(guò)濾裝置，在 該爐體上還設(shè)有與該爐腔相連通的反吹口。進(jìn)一步地，所述的過(guò)濾裝置由固定在爐腔內(nèi)部的孔板、設(shè)置在孔板上端面的文氏 管、以及設(shè)置在孔板下端面并與文氏管相連通的數(shù)量為一個(gè)以上的濾管構(gòu)成。為了確保使用效果，所述的濾管優(yōu)先采用耐高溫、大通量的金屬粉末過(guò)濾管，且所 述的文氏管與反吹口的數(shù)量和位置均一一對(duì)應(yīng)，每個(gè)反吹口均位于與之相對(duì)應(yīng)的文氏管的 正上方?？紤]到實(shí)際的使用需求，所述的文氏管和反吹口的數(shù)量均為一個(gè)以上，且每個(gè)文 氏管的入口與之相對(duì)應(yīng)的反吹口的出口之間留有氣流間隙。同時(shí)，在爐體上還設(shè)有與爐腔相連通的防爆口。
3[0010]本實(shí)用新型較現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果(1)本實(shí)用新型用過(guò)濾裝置取代了現(xiàn)有合成爐后面的布袋除塵器，不僅有效的克 服了傳統(tǒng)布袋除塵器的糊袋問(wèn)題，而且還能避免頻繁地更換布袋除塵器而消耗的大量財(cái)力 和人力，從而極大的提高了生產(chǎn)效率。(2)由于在實(shí)際制備過(guò)程中的硅粉太細(xì)，傳統(tǒng)的布袋除塵器根本不能有效的對(duì)該 硅粉進(jìn)行回收。而本實(shí)用新型的過(guò)濾裝置由孔板、文氏管和耐高溫的金屬粉沫過(guò)濾管共同 組成，因此能有效的將該硅粉進(jìn)行回收利用，進(jìn)而延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。(3)本實(shí)用新型還省掉了傳統(tǒng)合成器中的沉降器、旋風(fēng)分離器、網(wǎng)袋過(guò)濾器等設(shè) 備，因此極大的縮短了工藝流程，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)設(shè)備，降低了制作成本。

圖1為本實(shí)用新型的整體剖面結(jié)構(gòu)示意圖。其中，附圖中的附圖標(biāo)記的名稱(chēng)為1-爐腔，2-爐體，3-過(guò)濾裝置，4-反吹口，5-文氏管，6-濾管，7-孔板，8_氣流間 隙，9-防爆口。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不 限于此。實(shí)施例如圖1所示，本實(shí)用新型的爐體2內(nèi)部具有用于三氯氫硅氣體過(guò)濾和硅粉回收的 爐腔1。傳統(tǒng)的布袋除塵器設(shè)置在該爐腔1的內(nèi)部，并直接與爐體2上的相關(guān)管道相連接， 而本實(shí)用新型則在該爐腔1的內(nèi)部用過(guò)濾裝置3取代了該布袋除塵器。如圖所示，該過(guò)濾裝置3由孔板7、文氏管5和濾管6共同組成。其中，孔板7通過(guò) 法蘭固定在爐腔1的內(nèi)部，進(jìn)而將整個(gè)爐腔1分成上腔體和下腔體兩個(gè)部分。文氏管5固 定在該孔板7的上端面，即位于該上腔體的內(nèi)部，文氏管5的出氣口與孔板7的上端面相連 接，其入氣口朝上并與爐腔1相連通。所述文氏管5的數(shù)量根據(jù)實(shí)際需要可以為一個(gè)，也可 以為一個(gè)以上。為了確保最佳使用效果，該文氏管5的數(shù)量?jī)?yōu)先采用兩支。所述的濾管6固定在該孔板7的下端面，即位于該爐腔1的下腔體內(nèi)部，且該濾管 6的一端穿過(guò)孔板7與文氏管5的內(nèi)部相連通，以確保文氏管5出氣口端的氣流能均勻的流 入這些濾管6內(nèi)部。為了確保效果，這些濾管6的數(shù)量為一個(gè)及其以上，同時(shí)，這些濾管6 分組后再與文氏管5相對(duì)應(yīng)，即每個(gè)文氏管5的出氣口端都均勻的分布有一個(gè)以上的濾管 6。例如，每個(gè)文氏管5的出氣口端都配置4支濾管6，如果有兩個(gè)文氏管5，那么就需要配 置8支濾管6?？紤]到濾管6需要具有較強(qiáng)的耐腐蝕性和較高過(guò)濾性能，因此該濾管6優(yōu)先采用 耐高溫、大通量的金屬粉末過(guò)濾管來(lái)實(shí)現(xiàn)。為了配合文氏管5的使用，確保最佳效果，在爐體2上還設(shè)有數(shù)量和位置均與文氏 管5 —一相對(duì)應(yīng)的反吹口 4。這些反吹口 4均與爐腔1相連通，且每個(gè)反吹口 4均對(duì)應(yīng)一個(gè) 文氏管5，并位于該文氏管5的正上方，即每個(gè)反吹口 4的中心軸線均同與之相對(duì)應(yīng)的文氏
4管5的中心軸線在同一條直線上。考慮到氣流的流動(dòng)性能，每個(gè)反吹口 4的出氣口端與文氏管5的入氣口端之間還 留有一個(gè)80 120mm的氣流間隙8。同時(shí)，根據(jù)實(shí)際的需要，在爐體2上還設(shè)有與爐腔2相 連通的防爆口 9。如上所述，便可以很好的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
權(quán)利要求1.一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，主要由內(nèi)部設(shè)有爐腔(1)的爐 體(2)組成，其特征在于在該爐腔(1)的內(nèi)部設(shè)有過(guò)濾裝置(3)，同時(shí)在該爐體(2)上還 設(shè)有與該爐腔(1)相連通的反吹口(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特征 在于所述的過(guò)濾裝置由固定在爐腔(1)內(nèi)部的孔板(7)、設(shè)置在孔板(7)上端面的文氏管 (5)、以及設(shè)置在孔板(7)下端面并與文氏管(5)相連通的濾管(6)構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特征 在于所述的濾管(6)為耐高溫、大通量的金屬粉末過(guò)濾管。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特 征在于所述的文氏管(5)與反吹口(4)的數(shù)量和位置均一一對(duì)應(yīng)，且每個(gè)反吹口(4)均位 于與之相對(duì)應(yīng)的文氏管(5)的正上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特征 在于所述的文氏管(5)和反吹口(4)的數(shù)量均為一個(gè)以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特征 在于所述文氏管(5)的入口與反吹口(4)的出口之間留有氣流間隙(8)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5或6所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成 爐，其特征在于在爐體(2)上還設(shè)有與爐腔(1)相連通的防爆口(9)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，其特征 在于所述的濾管(6)的數(shù)量為一個(gè)以上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于三氯氫硅合成、過(guò)濾和硅粉回收的合成爐，主要由內(nèi)部設(shè)有爐腔(1)的爐體(2)組成，其特征在于在該爐腔(1)的內(nèi)部設(shè)有過(guò)濾裝置(3)，同時(shí)在該爐體(2)上還設(shè)有與該爐腔(1)相連通的反吹口(4)。本實(shí)用新型用過(guò)濾裝置取代了現(xiàn)有合成爐內(nèi)部的布袋除塵器，不僅有效的克服了傳統(tǒng)布袋除塵器的糊袋問(wèn)題，而且還能避免頻繁地更換布袋除塵器而消耗的大量財(cái)力和人力，從而極大的提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C01B33/107GK201785202SQ20102050972
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月30日
發(fā)明者吳 琳, 周樹(shù)云, 李柱全 申請(qǐng)人:吳 琳