專利名稱：新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種生產(chǎn)多晶硅的還原爐，尤其是涉及一種新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡。屬多晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集成電路等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。隨著世界半導(dǎo)體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大規(guī)格集成電路的大量應(yīng)用、光伏電池的大量需求，整個(gè)世界對(duì)多晶硅的需求量在大幅增加。
生產(chǎn)多晶硅的方法有多種，氫還原法是最常見的一種方法。該方法是把提純的硅鹵化物和凈化好的氫氣作為原料通入還原爐，在高溫環(huán)境中，硅鹵化物與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成多晶硅，并沉積在發(fā)熱體(小直徑的硅棒)上。化學(xué)反應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行，沉積在發(fā)熱體上的多晶硅越來越多，硅棒漸漸變粗，最后生成了有效高度約為2. 8m、直徑約為150mm的多晶硅硅棒。
多晶硅還原爐是多晶硅硅棒的最終生成設(shè)備，在硅鹵化物被氫氣還原生成多晶硅硅棒的過程中，會(huì)放出大量的熱,還原爐內(nèi)的工作溫度超過1OOO ℃，還原爐的冷卻直接關(guān)系還原爐的安全使用和還原爐的使用壽命。
多晶硅還原爐，國內(nèi)已有相關(guān)研究，下面分別予以說明。
專利號(hào)ZL 200420060144.8也公開了一種多晶硅氫還原爐，該還原爐 包括帶有冷卻水腔的封頭和爐體，底盤，底盤下的進(jìn)氣管和排氣管，底盤 上的電極，所述電極為12對(duì)、即24個(gè)電極，且在底盤上沿兩個(gè)圓周均布 設(shè)置；所述進(jìn)氣管主要由一個(gè)水平環(huán)管和9個(gè)噴嘴連通構(gòu)成，其中8個(gè)噴 嘴位于兩圈電極之間、且沿同一圓周均布設(shè)置在底盤上， 一個(gè)噴嘴設(shè)置在 底盤中心位置。8對(duì)電極中設(shè)置在外圓周上，其余4對(duì)電極設(shè)置在內(nèi)圓周 上。電極中，正、負(fù)電極在底盤上逐一間隔設(shè)置。底盤是水冷式結(jié)構(gòu)，其 上設(shè)置冷卻水進(jìn)口和出口。爐體上設(shè)置有雙層玻璃結(jié)構(gòu)的視窗。封頭頂部 設(shè)置有連接法蘭。該專利的主要不足之處在于視鏡未采用水冷結(jié)構(gòu)，不能 保證在還原爐內(nèi)超過IOO(TC高溫條件下長期穩(wěn)定使用。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種帶有水冷結(jié)構(gòu)的新型 多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種新型多晶硅還原爐之水冷雙層
玻璃視鏡，包括內(nèi)筒、外筒、法蘭III、法蘭II、法蘭I、內(nèi)層玻璃、外層 玻璃、冷卻水進(jìn)口I、冷卻水進(jìn)口II、冷卻水出口II和冷卻水出口I，所 述內(nèi)筒與外筒同軸設(shè)置，內(nèi)筒插置在法蘭III內(nèi)孔內(nèi)，外筒設(shè)置在法蘭III內(nèi) 端，法蘭II和法蘭I依次疊層布置在法蘭III外側(cè)，內(nèi)層玻璃設(shè)置在法蘭III與法蘭II之間，外層玻璃設(shè)置在法蘭II與法蘭I之間，內(nèi)層玻璃、外層玻 璃和法蘭II之間圍成一封閉容腔，法蘭II上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口 II和冷卻水 出口II，外筒上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口I和冷卻水出口I。冷卻水對(duì)外層玻璃、
內(nèi)層玻璃、內(nèi)筒、外筒進(jìn)行冷卻。
與現(xiàn)有多晶硅還原爐用視鏡相比，本實(shí)用新型能保證視鏡的長期、可 靠工作，以實(shí)現(xiàn)還原爐的長期、安全、高效的運(yùn)行。


圖1為本實(shí)用新型新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中冷卻水進(jìn)口 I 1、冷卻水進(jìn)口I12、螺栓3、螺母4、外層玻璃5、 內(nèi)層玻璃6、法蘭17、法蘭H8、冷卻水出口I19、法蘭IIIIO、冷卻水出口 I 11、內(nèi)筒12、外筒13。
具體實(shí)施方式
參見圖l，新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡主要由內(nèi)筒12、外 筒13、法蘭IIIIO、法蘭118、法蘭17、內(nèi)層玻璃6、外層玻璃5、冷卻水 進(jìn)口12、冷卻水進(jìn)口IIl、冷卻水出口II9和冷卻水出口 I ll組成。所述 內(nèi)筒12與外筒13同軸設(shè)置，內(nèi)筒12插置在法蘭III10內(nèi)孔內(nèi)，外筒13設(shè)
置在法蘭mio內(nèi)端，法蘭iis和法蘭17依次疊層布置在法蘭mio外側(cè)，并用螺栓3和螺母4固定。內(nèi)層玻璃6設(shè)置在法蘭IIIIO與法蘭I18之間。 外層玻璃5設(shè)置在法蘭II8與法蘭I7之間。內(nèi)層玻璃6、外層玻璃5和法 蘭118之間圍成一封閉容腔。法蘭118上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口 112和冷卻水出 口 119。外筒12上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口 I 1和冷卻水出口 I 11。 一路冷卻水 從冷卻水進(jìn)口II2進(jìn)入、流過外層玻璃5與內(nèi)層玻璃6之間的間隙，對(duì)外 層玻璃5與內(nèi)層玻璃6進(jìn)行冷卻，從冷卻水出口II9排出。另一路冷卻水從冷卻水進(jìn)口I1進(jìn)入，對(duì)內(nèi)筒12、外筒13進(jìn)行冷卻，從冷卻水出口Ill 排出。
權(quán)利要求1、一種新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡，其特征在于所述視鏡包括內(nèi)筒(12)、外筒(13)、法蘭III(10)、法蘭II(8)、法蘭I(7)、內(nèi)層玻璃(6)、外層玻璃(5)、冷卻水進(jìn)口I(2)、冷卻水進(jìn)口II(1)、冷卻水出口II(9)和冷卻水出口I(11)，所述內(nèi)筒(12)與外筒(13)同軸設(shè)置，內(nèi)筒(12)插置在法蘭III(10)內(nèi)孔內(nèi)，外筒(13)設(shè)置在法蘭III(10)內(nèi)端，法蘭II(8)和法蘭I(7)依次疊層布置在法蘭III(10)外側(cè)，內(nèi)層玻璃(6)設(shè)置在法蘭III(10)與法蘭II(8)之間，外層玻璃(5)設(shè)置在法蘭II(8)與法蘭I(7)之間，內(nèi)層玻璃(6)、外層玻璃(5)和法蘭II(8)之間圍成一封閉容腔，法蘭II(8)上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口II(2)和冷卻水出口II(9)，外筒(12)上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口I(1)和冷卻水出口I(11)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種新型多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡，包括內(nèi)筒(12)、外筒(13)、法蘭III(10)、法蘭II(8)、法蘭I(7)、內(nèi)層玻璃(6)、外層玻璃(5)、冷卻水進(jìn)口I(2)、冷卻水進(jìn)口II(1)、冷卻水出口II(9)和冷卻水出口I(11)，所述內(nèi)筒(12)插置在法蘭III(10)內(nèi)孔內(nèi)，外筒(13)設(shè)置在法蘭III(10)內(nèi)端，法蘭II(8)和法蘭I(7)依次疊層布置在法蘭III(10)外側(cè)，內(nèi)層玻璃(6)設(shè)置在法蘭III(10)與法蘭II(8)之間，外層玻璃(5)設(shè)置在法蘭II(8)與法蘭I(7)之間，內(nèi)層玻璃(6)、外層玻璃(5)和法蘭II(8)之間圍成一封閉容腔，法蘭II(8)上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口II(2)和冷卻水出口II(9)，外筒(12)上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口I(1)和冷卻水出口I(11)。冷卻水對(duì)外層玻璃、內(nèi)層玻璃、內(nèi)筒、外筒進(jìn)行冷卻。本實(shí)用新型冷卻效果好。
文檔編號(hào)C01B33/00GK201180089SQ200820032049
公開日2009年1月14日 申請(qǐng)日期2008年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月12日
發(fā)明者孫惺惺, 田永剛, 董黎明, 建 趙, 陳冠斌 申請(qǐng)人:江蘇雙良鍋爐有限公司