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氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置及其方法

文檔序號:3445799閱讀:315來源:國知局
專利名稱:氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置及其方法
技術領域
本發(fā)明涉及一種液氨的提純設備及其方法,特別是涉及一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置及其方法。
背景技術
公知的吸附——蒸餾純化后的液氨純度達到5.5N,雜質含量達不到GaN生長工藝要求的指標,純度大于6.4N的高純氨是GaN生長工藝的N2源,對氨中的雜質含量要求很低。如O2100ppb,H2O200ppb,CH450ppb,CO2100ppb,CO50ppb,H2100ppb,Ar200ppb。把這種液氨稱作“藍氨”。有關藍氨的制備裝置及工藝方法報導甚少。美國采用精餾方法制備藍氨,無詳細資料。如果采用精餾除去液氨中如此微量的雜質,精餾塔的濃度分布,溫度分布相差很小,液體負荷很大,這就使原本耗能較大的精餾過程變得更加不合理。在缺少汽——液平衡數(shù)據(jù)的情況下很難設計出一套合理的精餾裝置及工藝方法。

發(fā)明內容
為了克服現(xiàn)有制備高純度液氨的設備和工藝存在的不足,本發(fā)明提供一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置及其方法,用高純氫氣干燥氣提液氨,除去H2O、O2、N2、CH4等微量雜質,提高液氨的純度本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,包括氫氣入口及與其依次相連接的緩沖罐、預熱器、鈀膜分離器、冷交換器、氫氣出口和干燥-氣提塔,緩沖罐、預熱器、鈀膜分離器和冷交換器與熱交換器相連接,緩沖罐與冷交換器之間設有循環(huán)膜壓機,干燥-氣提塔由塔頂、中心進氣管、塔體和塔底組成,塔頂上設有原料氨入口、高純氫氣入口;塔體上設有冷媒入口、冷媒出口,塔體內設有的冷卻盤管與塔體內設置的固定板相連接;中心進氣管的上端設有高純氫氣入口,其置于塔體內的部分設有多層篩板,其下端與噴頭相連接;塔體和塔頂之間設有支承板,塔底設有產品氨出口,篩板每層之間由定距管相連接。支承板的上面設有除沫絲網,鈀膜分離器的廢氣出口處設有氨回收罐,塔體和塔頂之間由法蘭盤相連接,中心進氣管的上端與中心管法蘭盤固定連接,冷交換器與熱交換器之間連接有出料膜壓機。
使用一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置的方法,具體工藝步驟是(一)在未投料之前,先用高純氫氣置換系統(tǒng)將壓力為1.2Mpa-1.5Mpa(表壓)的工業(yè)用氫氣由氫氣入口經緩沖罐、熱交換器進入到預熱器,升溫到300-350℃,進入鈀膜分離器,其出口氫氣壓力降至0.13Mpa-0.15Mpa(表壓),經過熱交換器,降溫至100℃-150℃,經冷交換器進入空的干燥-氣提塔內的中心進氣管,由噴頭噴出,再經多層篩板再分布,使氣—液充分接觸后從塔頂?shù)臍錃獬隹谂懦?,進入循環(huán)模壓機,增壓至1.3(表壓)-1.5Mpa(表壓),再進入緩沖罐,送入系統(tǒng)中,進行循環(huán),使氫氣循環(huán)使用;在氫氣出口處檢測露點,當其接近鈀膜分離器出口的高純氫氣露點時,停止氫氣置換。
在循環(huán)過程中,鈀膜分離器中的廢氣減壓到0.12Mpa-0.15Mpa(表壓),進入氨回收罐,在氨回收罐中由冰機制冷,經冷媒入口、冷媒出口,被冷到-33℃以下,經廢氣出口放空,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口處補充氫氣。
在置換過程中,如果氫氣溫度高于室溫時,可適度開啟冰機,打開冷媒入口、冷媒出口使其降至室溫為止;(二)、冰機制冷,開啟冰機,通過冷媒入口、冷媒出口使干燥-氣提塔內的溫度降低到-10℃--25℃,將純度大于5N的的液氨由計量罐一次性加入干燥-氣提塔內,繼續(xù)降溫到-50℃--70℃;將壓力為1.3-1.5Mpa(表壓)的工業(yè)用氫氣由氫氣入口進入緩沖罐,經熱交換器回收熱量后,溫度達到200℃-250℃,再進入預熱器,使溫度達到300-350℃,在預熱器內填充的鈀催化劑的作用下除去氧氣后,進入鈀膜分離器,其出口處氫氣純度達到8N-9N,壓力降至0.13-0.15Mpa,進入熱交換器,降溫至100℃-150℃,經過冷交換器降溫至20℃-50℃,之后進入干燥-氣提塔內的中心進氣管,由噴頭噴出,再經多層篩板再分布,使氣—液充分接觸后,從塔頂?shù)臍錃獬隹谂懦觯浝浣粨Q器回收冷量后,進入循環(huán)模壓機,增壓至1.3-1.5Mpa(表壓)再送入系統(tǒng)中,重復上述過程,使氫氣循環(huán)使用;在循環(huán)過程中,鈀膜分離器中的廢氣減壓到0.12Mpa-0.15Mpa(表壓),進入氨回收罐,在氨回收罐中由冰機制冷,經冷媒入口、冷媒出口,被冷到-33℃以下,回收氨后經廢氣出口放空。
由于在循環(huán)過程中有廢氣放掉,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口處補充氫氣。
(三)、在氫氣出口處進行取樣分析,當氫氣中雜質含量保持衡定時,停止循環(huán)模壓機,關閉氫氣出口,關閉閥門,開啟出料模壓機,使干燥-氣提塔內的壓力增至1-1.3Mpa(表壓),將出料膜壓機停機,關閉氫氣入口,在塔底的產品氨出口處排出產品氨,本發(fā)明是選擇大于8N的高純H2氣干燥、氣提液氨,使氨中雜質含量降低到ppb級。利用鈀膜分離技術使氫氣純度達到8N以上,氫氣通過鈀膜分離可達到9N,即雜質總量為10-9(1ppb),直接通入液氨,干燥—氣提其中的H2O及O2、CH4等所有雜質。由于液氨中的雜質總量是高純氫氣中的雜質總量的幾百倍,所以有很大的推動力,具有很高的傳質速率。
選擇-50℃--70℃的低溫條件下進行干燥——氣提。因為溫度越低,氨氣的飽和蒸汽壓越低。所以可減少氨的損失。
為保護鈀膜,在預熱器中填充鈀催化劑,使氧氣與氫氣反應生成水,避免在鈀膜表面反應放熱燒壞鈀膜。投料前,將所有的設備、管道、閥門及包裝容器等用高純氫氣置換,分析氣提塔出口氫氣的純度,當達到8N時,再投原料。這樣可保證產品不被污染。
本發(fā)明的有益效果是,可使液氨的純度及其雜質含量達到GaN生長工藝要求的指標?;厥諝馓崴U氣中的氫氣、氨氣,對大規(guī)模生產可降低成本。預熱器中填充鈀催化劑除氧可避免鈀管受損,保證氫氣質量平穩(wěn),效率高,成本降低。


下面結合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。
圖1是本發(fā)明的氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化流程示意圖。
圖2是本發(fā)明的氫氣干燥-氣提塔結構示意圖。
圖中,1.干燥-氣提塔,2.出料膜壓機,3.鈀膜分離器,4.預熱器,5.緩沖罐,6.熱交換器,7.有冷交換器,8.循環(huán)膜壓機,9.氨回收罐,10.原料氨計量罐,11.原料氨入口,12.氨產品出口,13.高純氫氣入口,14.氫氣出口15.廢氣出口,16.回收氨出口,17.氫氣入口,18.近路閥,19.冷媒入口,20.冷媒出口,21.塔頂,22.除沫絲網,23.支承板,24.冷卻盤管,25.多層篩板,26.中心進氣管,27.塔體,28.噴頭,29.塔底,30.固定板,31.定距管,32.法蘭盤,33.中心管法蘭盤。
具體實施例方式
實施例選定計量罐每次加入量為50公斤純度>5N的液氨,氫氣循環(huán)膜壓機8選擇流量為5m3/h的單級膜式壓縮機,,壓力為0-1.5Mpa(表),并配有相應的緩沖罐5,依據(jù)這兩個參數(shù),選擇空塔氣速為0.05-0.1米/秒,設計塔徑為220mm,壁厚為8mm,干燥-氣體塔1高為3200mm,容積約為100立升,內有懸吊式十塊篩板25,間矩為250mm,塔頂21內,支承板23的上面設有除沫絲網22,高150mm。為減小氣體阻力篩板25厚度為2mm,直徑為190mm,小孔直徑為3mm,同心圓分布,開孔率為14%和10%兩種,即1,3,5,7,9五塊板全部開孔,2,4,6,8,10五塊板在φ100內不開孔。這使氣體折流,塔內螺旋式冷卻盤管用φ12×2的管子纏繞,外徑約為215mm。傳熱面約為2.5m2。噴頭為球面直徑為Φ80mm,小孔直徑為2mm。出料膜壓機2選擇2m3/h,壓力為0-1.5Mpa(表)的膜式壓縮機。
鈀膜分離器3選用5m3/h流量,入口壓力為1.5Mpa(表),出口壓力為0.18Mpa(表),并配有相應的預熱器4。再配上冷交換器7,熱交換器4及氨回收罐9等輔助設備及相應的溫度、壓力測量顯示儀表。即組成現(xiàn)有流程。在膜分離器出口的氫氣管線上裝有露點儀,檢測氫氣中水含量,氫氣出口14有采樣口可檢測露點,用色譜法檢測其中雜質含量。
操作步驟大致為如下一、在未投料之前,先用高純氫氣置換系統(tǒng)將壓力為1.5Mpa(表壓)的工業(yè)用氫氣由氫氣入口17經緩沖罐5、熱交換器6進入到預熱器4,升溫到340℃,進入鈀膜分離器3,其出口氫氣壓力降至0.15Mpa(表壓),經過熱交換器6,降溫至150℃,經冷交換器7進入空的干燥-氣提塔1內的中心進氣管26,由噴頭28噴出,再經多層篩板25再分布,使氣—液充分接觸后從塔頂21的氫氣出口14排出,進入循環(huán)模壓機8,增壓至1.5Mpa(表壓),再進入緩沖罐5,送入系統(tǒng)中,進行循環(huán),使氫氣循環(huán)使用;在氫氣出口14處檢測露點,當其接近鈀膜分離器3出口的高純氫氣露點(-100℃)時,停止氫氣置換。
在置換過程中,鈀膜分離器3中的廢氣由1.5Mpa(表壓)減壓到0.12Mpa(表壓),在氨回收罐9中被冷卻到-33℃以下,經廢氣出口15放空,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口17處補充氫氣,如果氫氣溫度高于室溫時,可適度開啟冰機,打開冷媒入口19、冷媒出口20使其降至室溫為止;二、開啟冰機,使冷媒由入口19進入氣提塔冷卻盤管降溫達到-20℃時,把5N的原料液氨由計量罐10一次進入氣提塔內50Kg,繼續(xù)降溫,當溫度達到-50℃時,氫氣由12Mpa經減壓器達到1.5Mpa(表壓),由氫氣入口17處進緩沖罐5,再經熱交換器6回收部分熱量后進預熱器4,使溫度升至340℃,進入鈀膜分離器3,壓力降到0.15Mpa(表壓),提純后的高純氫氣進入到熱交換器6,使溫度降低到150℃,然后經冷交換器7,被氣提塔氫氣出口14的低溫氣體冷卻,溫度降至40℃,再進入氣提塔1氣提液氨,解吸液氨中的水、氧氣、甲烷等各種雜質,在氣提雜質的同時,氨氣也被帶出,所以氣提塔1的氫氣出口14的氫氣中除了有液氨中的各種雜質外還有5%--10%的氨氣,這種低壓氣體經冷交換器7回收冷量后,進循環(huán)膜壓機8,增壓至1.5MPa(表壓)重新進入緩沖罐5,循環(huán)使用。鈀膜分離器3中的廢氣由1.5Mpa(表壓)減壓到0.12Mpa(表壓),在氨回收罐9中被冷卻到-33℃以下,回收氨后經廢氣出口15放空。由于在循環(huán)過程中有廢氣放空,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口17處補充氫氣。
三、記錄循環(huán)的時間及氫氣用量,利用色譜法在氫氣出口14處檢測氫氣中的雜質含量,當雜質含量趨于不變時,即可停止循環(huán)。停止循環(huán)膜壓機8,氫氣入口17處繼續(xù)補充氫氣,開啟近路閥18,開啟出料膜壓機2使氣提塔1內的壓力增至1.2Mpa(表壓),在產品氨出口12處放料,包裝。
由于色譜法檢測靈敏度只能檢測到100ppb,經檢測,完全可使液氨雜質含量降到100ppb以下。
權利要求
1.一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,包括氫氣入口(17)及與其依次相連接的緩沖罐(5)、預熱器(4)、鈀膜分離器(3)、冷交換器(7)、氫氣出口(14)和干燥-氣提塔(1),緩沖罐(5)、預熱器(4)、鈀膜分離器(3)和冷交換器(7)與熱交換器(6)相連接,緩沖罐(5)與冷交換器(7)之間設有循環(huán)膜壓機(8),干燥-氣提塔(1)由塔頂(21)、中心進氣管(26)、塔體(27)和塔底(29)組成,塔頂(21)上設有原料氨入口(11)、高純氫氣入口(13);塔體(27)上設有冷媒入口(19)、冷媒出口(20),塔體(27)內設有的冷卻盤管(24)與其內設置的固定板(30)相連接;中心進氣管(26)的上端設有高純氫氣入口(13),其置于塔體(27)內的部分設有多層篩板(25),下端與噴頭(28)相連接;塔體(27)和塔頂(21)之間設有支承板(23),塔底(29)設有產品氨出口(12)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的篩板(25)每層之間由定距管(31)相連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的干燥-氣提塔(1)的塔頂(21)內,支承板(23)的上面設有除沫絲網(22)。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的鈀膜分離器(3)的廢氣出口(15)處設有氨回收罐(9)。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的塔體(27)和塔頂(21)之間由法蘭盤(32)相連接。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的中心進氣管(26)的上端與中心管法蘭盤(33)固定連接。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置,其特征在于,所述的冷交換器(7)與熱交換器(6)之間連接有出料膜壓機(2)。
8.使用權力要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置的方法,其特征在于,工藝步驟是(一)在未投料之前,先用高純氫氣置換系統(tǒng)將壓力為1.2-1.5Mpa(表壓)的工業(yè)用氫氣由氫氣入口(17)經緩沖罐(5)、熱交換器(6)進入到預熱器(4),升溫到300-350℃,進入鈀膜分離器(3),其出口氫氣壓力降至0.13Mpa-0.15Mpa(表壓),經過熱交換器(6),降溫至100℃-150℃,經冷交換器(7)進入空的干燥-氣提塔(1)內的中心進氣管(26),由噴頭(28)噴出,再經多層篩板(25)再分布,使氣—液充分接觸后從塔頂(21)的氫氣出口(14)排出,進入循環(huán)模壓機(8),增壓至1.3-1.5Mpa(表壓),再進入緩沖罐(5),送入系統(tǒng)中,進行循環(huán),使氫氣循環(huán)使用;在氫氣出口(14)處檢測露點,當其接近鈀膜分離器(3)出口的高純氫氣露點時,停止氫氣置換,在置換過程中,鈀膜分離器(3)中的廢氣由1.5Mpa(表壓)減壓到0.12Mpa(表),經氨回收罐(9),由廢氣出口(15)放空,由于在循環(huán)過程中有廢氣放空,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口(17)處不斷補充工業(yè)氫氣。如果氫氣溫度高于室溫時,可適度開啟冰機,打開冷媒入口(19)、冷媒出口(20)使其降至室溫為止;(二)、冰機制冷,開啟冰機,通過冷媒入口(19)、冷媒出口(20)使干燥-氣提塔(1)內的溫度降低到-10℃--25℃,將純度大于5N的的液氨由計量罐(10)一次性加入干燥-氣提塔(1)內,繼續(xù)降溫到-50℃--70℃;將壓力為1.3-1.5Mpa(表壓)的工業(yè)用氫氣由氫氣入口(17)進入緩沖罐(5),經熱交換器(6)回收熱量后,溫度達到200℃-250℃,再進入預熱器(4),使溫度達到300-350℃,在預熱器(4)內填充的脫氧劑的作用下除去氧氣后,進入鈀膜分離器(3),其出口處氫氣純度達到8N-9N,壓力降至0.13-0.15Mpa,進入熱交換器(6),降溫至100℃-150℃,經過冷交換器(7)降溫至20℃-50℃之后進入干燥-氣提塔(1)內的中心進氣管(26),由噴頭(28)噴出,再經多層篩板(25)再分布,使氣—液充分接觸后,從塔頂(21)的氫氣出口(14)排出,經冷交換器(7)回收冷量后,進入循環(huán)模壓機(8),增壓至1.3-1.5Mpa(表壓)再送入系統(tǒng)中,重復上述過程,使氫氣循環(huán)使用;在循環(huán)過程中,鈀膜分離器(3)中的廢氣減壓到0.12Mpa-0.15Mpa(表壓),進入氨回收罐(9),在氨回收罐(9)中由冰機制冷,經冷媒入口(19)、冷媒出口(20),被冷到-33℃以下,回收氨后經廢氣出口(15)放空。由于在循環(huán)過程中需有放掉廢氣,氫氣不能完全回收,應在氫氣入口(17)處補充氫氣。(三)、在氫氣出口(14)處進行取樣分析,當氫氣中雜質含量保持衡定時,停止循環(huán)模壓機(8),關閉氫氣出口(14),關閉閥門(18),開啟出料模壓機(2),使干燥-氣提塔(1)內的壓力增至1-1.3Mpa(表),將膜壓機(2)停機,關閉氫氣入口(17),在塔底(29)的產品氨出口(12)處排出產品氨,
9.根據(jù)權利要求7所述的使用權力要求1所述的一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化裝置的方法,其特征在于,所述的脫氧劑為鈀催化劑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種氫氣低溫干燥-氣提液氨的純化設備及其方法。設備主要包括氫氣入口及與其依次相連接的緩沖罐、預熱器、鈀膜分離器、冷交換器、氫氣出口和干燥-氣提塔,緩沖罐、預熱器、鈀膜分離器和冷交換器與熱交換器相連接,緩沖罐與冷交換器之間設有循環(huán)膜壓機,干燥-氣提塔由塔頂、中心進氣管、塔體和塔底組成,塔頂上設有原料氨入口、高純氫氣入口;塔體上設有冷媒入口、冷媒出口,方法是,氫氣通過鈀膜分離可達到9N,即雜質總量為10
文檔編號C01C1/02GK1562749SQ20041002043
公開日2005年1月12日 申請日期2004年4月18日 優(yōu)先權日2004年4月18日
發(fā)明者竇明洪 申請人:大連保稅區(qū)科利德化工科技開發(fā)有限公司
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