專利名稱:一種剝離裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種剝離裝置，包括機(jī)架，以及安裝在機(jī)架上的傳動機(jī)構(gòu)和剝離機(jī)構(gòu)；剝離機(jī)構(gòu)包括基座、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)座、升降馬達(dá)、絲桿、鎖緊氣缸、夾具、壓緊滾輪和壓緊驅(qū)動裝置；旋轉(zhuǎn)馬達(dá)固定在基座上，并驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；旋轉(zhuǎn)座固定在旋轉(zhuǎn)軸上；升降馬達(dá)固定在旋轉(zhuǎn)座上，并驅(qū)動絲桿轉(zhuǎn)動；鎖緊氣缸的缸體與絲桿螺紋連接，并與旋轉(zhuǎn)軸滑動連接；夾具的一部分固定在鎖緊氣缸的缸體上，另一部分固定在鎖緊氣缸的活塞桿上；壓緊滾輪和夾具按照樣品的傳動方向依次設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)上方。本實用新型實現(xiàn)了大面積、大批量、連續(xù)化、自動化剝離石墨烯生長金屬襯底；同時本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低、工作效率高、污染小。
【專利說明】_種剝離裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種剝離裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯是碳原子按六角結(jié)構(gòu)緊密堆積成的單原子層二維晶體，載流子的本征迀移率可達(dá)到2X105cm/(V.S)，這種優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì)使其在高頻電子器件中有著巨大的應(yīng)用價值。為了制備石墨烯電子器件，首要的問題是制備出大尺寸、具有優(yōu)異電學(xué)性能的石墨烯薄膜，并轉(zhuǎn)移至合適的目標(biāo)基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制備方法主要有包括以下幾種:(1)碳化硅(SiC)外延生長法，雖可獲得高質(zhì)量大面積的單層石墨烯，但是所使用的SiC的價格昂貴，生長條件苛刻，且生產(chǎn)出的石墨烯難于轉(zhuǎn)移；(2)化學(xué)氣相沉積法(ChemicalVapor Deposit1n，CVD)可以在金屬襯底上生長大面積的單層或多層石墨稀薄膜，所得石墨烯質(zhì)量好、易于轉(zhuǎn)移，是目前制備石墨烯薄膜的常用方法，被廣泛用于制備石墨烯晶體管和透明導(dǎo)電薄膜。
[0003]CVD法制備的石墨烯需要經(jīng)過轉(zhuǎn)移才能從金屬襯底到目標(biāo)基體。現(xiàn)有石墨烯轉(zhuǎn)移方法大多數(shù)使用腐蝕方法去除基底，成本較高、耗時長，且基底回收難而且會對環(huán)境造成一定的污染。目前沒有可實現(xiàn)大面積、大批量、連續(xù)化剝離石墨烯生長金屬襯底的裝置。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的是提供一種成本低、工作效率高、污染小的剝離裝置，實現(xiàn)大面積、大批量、連續(xù)化、自動化剝離石墨烯生長金屬襯底。
[0005]實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是:一種剝離裝置，包括機(jī)架，以及安裝在機(jī)架上的傳動機(jī)構(gòu)和剝離機(jī)構(gòu)；所述剝離機(jī)構(gòu)包括基座、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)座、升降馬達(dá)、絲桿、鎖緊氣缸、夾具、壓緊滾輪和壓緊驅(qū)動裝置；所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)固定在基座上，并驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；所述旋轉(zhuǎn)座固定在旋轉(zhuǎn)軸上；所述升降馬達(dá)固定在旋轉(zhuǎn)座上，并驅(qū)動絲桿轉(zhuǎn)動；所述鎖緊氣缸的缸體與絲桿螺紋連接，并與旋轉(zhuǎn)軸滑動連接；所述夾具的一部分固定在鎖緊氣缸的缸體上，另一部分固定在鎖緊氣缸的活塞桿上；所述壓緊滾輪和夾具按照樣品的傳動方向依次設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)上方。
[0006]所述傳動機(jī)構(gòu)包括傳動馬達(dá)、傳動軸、錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪、傳動輥和支撐輥；所述傳動軸的一端固定在傳動馬達(dá)的輸出端上；所述錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪和傳動輥為一組傳動輸出組件，該輸出組件設(shè)有多組；所述每組輸出組件中的錐齒輪均固定在傳動軸上；所述組合齒輪的一端設(shè)有與錐齒輪嚙合的錐齒，另一端設(shè)有與直齒圓柱齒輪嚙合的直齒；所述直齒圓柱齒輪固定在傳動輥的一端；所述每組輸出組件中的傳動輥的正下方均設(shè)有一根支撐輥。
[0007]所述傳動機(jī)構(gòu)的入口部分和出口部分只設(shè)置支撐輥。
[0008]所述剝離機(jī)構(gòu)還包括感應(yīng)器；所述感應(yīng)器設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)下方。
[0009]采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有以下的有益效果:(1)本實用新型通過壓緊滾輪壓住金屬襯底，使其一端翹起，夾具夾住金屬襯底翹起的一端，然后勻速向上提拉，從而使金屬襯底的剝離，上料時一次可以上料多排、每排多個樣品，從而實現(xiàn)大面積、大批量、連續(xù)化、自動化剝離石墨烯生長金屬襯底；同時本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低、工作效率高、污染小。
[0010](2)本實用新型的傳動機(jī)構(gòu)通過一根傳動軸驅(qū)動所有傳動輥轉(zhuǎn)動，結(jié)構(gòu)簡單，傳動輥實現(xiàn)了同步傳動，使樣品傳送更加穩(wěn)定。
[0011](3)本實用新型的傳動機(jī)構(gòu)的上料段的入口部分以及下料段的出口部分只設(shè)置支撐輥，這種結(jié)構(gòu)既便于上料、下料，又節(jié)約了成本。
[0012](4)本實用新型的剝離機(jī)構(gòu)的感應(yīng)器能夠感應(yīng)樣品上的金屬襯底，使金屬襯底的剝離更加精確。

【附圖說明】

[0013]為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0014]圖1為本實用新型的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為本實用新型的實施例1的剝離機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中未示出壓緊滾輪、壓緊驅(qū)動裝置和感應(yīng)器。
[0016]圖3為本實用新型的實施例1的剝離機(jī)構(gòu)的感應(yīng)器安裝位置示意圖。
[0017]圖4為本實用新型的實施例2的傳動機(jī)構(gòu)的傳動輥和支撐輥的位置示意圖。
[0018]附圖中的標(biāo)號為:
[0019]樣品1、金屬襯底11、傳動機(jī)構(gòu)2、傳動輥21、支撐輥22、剝離機(jī)構(gòu)3、基座31、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)32、旋轉(zhuǎn)軸33、旋轉(zhuǎn)座34、升降馬達(dá)35、絲桿36、鎖緊氣缸37、夾具38、感應(yīng)器39。

【具體實施方式】
[0020](實施例1)
[0021]見圖1至圖3，本實施例的剝離裝置包括機(jī)架，以及安裝在機(jī)架上的傳動機(jī)構(gòu)2和剝離機(jī)構(gòu)3。
[0022]傳動機(jī)構(gòu)2包括傳動馬達(dá)、傳動軸、錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪、傳動輥21和支撐輥22。傳動軸的一端固定在傳動馬達(dá)的輸出端上。錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪和傳動輥21為一組傳動輸出組件，該輸出組件設(shè)有多組。每組輸出組件中的錐齒輪均固定在傳動軸上。組合齒輪的一端設(shè)有與錐齒輪嚙合的錐齒，另一端設(shè)有與直齒圓柱齒輪嚙合的直齒。直齒圓柱齒輪固定在傳動輥21的一端。每組輸出組件中的傳動輥21的正下方均設(shè)有一根支撐輥22。
[0023]剝離機(jī)構(gòu)3包括基座31、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)32、旋轉(zhuǎn)軸33、旋轉(zhuǎn)座34、升降馬達(dá)35、絲桿36、鎖緊氣缸37、夾具38、壓緊滾輪、壓緊驅(qū)動裝置和感應(yīng)器39。旋轉(zhuǎn)馬達(dá)32固定在基座31上，并驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸33轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)座34固定在旋轉(zhuǎn)軸33上。升降馬達(dá)35固定在旋轉(zhuǎn)座34上，并驅(qū)動絲桿36轉(zhuǎn)動。鎖緊氣缸37的缸體與絲桿36螺紋連接，并與旋轉(zhuǎn)軸33滑動連接。夾具38的一部分固定在鎖緊氣缸37的缸體上，另一部分固定在鎖緊氣缸37的活塞桿上。壓緊滾輪和夾具38按照樣品I的傳動方向依次設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)2上方。感應(yīng)器39設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)2下方。
[0024]本實施例的剝離裝置的工作過程是:將樣品I放在傳動機(jī)構(gòu)2的上料段，使之沿著送片方向運(yùn)動，可以放置多排，每排可以放多個。因金屬襯底11不透光，當(dāng)金屬襯底11到達(dá)感應(yīng)器39位置時，夾具38和壓緊滾輪落下，在壓緊滾輪的作用下，金屬襯底11的一端翹起，夾具38夾住金屬襯底11翹起的一端，然后勻速向上提拉，壓緊滾輪始終壓住金屬襯底11未被剝離的部分。當(dāng)金屬襯底11完全剝離后，夾具38旋轉(zhuǎn)180度，然后夾具38松開，使剝離下來的金屬襯底11落入回收盒，然后夾具回轉(zhuǎn)180度復(fù)位。剝離機(jī)構(gòu)3如此循環(huán)動作。
[0025](實施例2)
[0026]見圖4，本實施例與實施例1基本相同，不同之處在于:傳動機(jī)構(gòu)2的入口部分和出口部分只設(shè)置支撐輥22。
[0027]以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種剝離裝置，其特征在于:包括機(jī)架，以及安裝在機(jī)架上的傳動機(jī)構(gòu)⑵和剝離機(jī)構(gòu)(3);所述剝離機(jī)構(gòu)(3)包括基座(31)、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)(32)、旋轉(zhuǎn)軸(33)、旋轉(zhuǎn)座(34)、升降馬達(dá)(35)、絲桿(36)、鎖緊氣缸(37)、夾具(38)、壓緊滾輪和壓緊驅(qū)動裝置；所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)(32)固定在基座(31)上，并驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸(33)轉(zhuǎn)動；所述旋轉(zhuǎn)座(34)固定在旋轉(zhuǎn)軸(33)上；所述升降馬達(dá)(35)固定在旋轉(zhuǎn)座(34)上，并驅(qū)動絲桿(36)轉(zhuǎn)動；所述鎖緊氣缸(37)的缸體與絲桿(36)螺紋連接，并與旋轉(zhuǎn)軸(33)滑動連接；所述夾具(38)的一部分固定在鎖緊氣缸(37)的缸體上，另一部分固定在鎖緊氣缸(37)的活塞桿上；所述壓緊滾輪和夾具(38)按照樣品(I)的傳動方向依次設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)(2)上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述傳動機(jī)構(gòu)(2)包括傳動馬達(dá)、傳動軸、錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪、傳動輥(21)和支撐輥(22);所述傳動軸的一端固定在傳動馬達(dá)的輸出端上；所述錐齒輪、組合齒輪、直齒圓柱齒輪和傳動輥(21)為一組傳動輸出組件，該輸出組件設(shè)有多組；所述每組輸出組件中的錐齒輪均固定在傳動軸上；所述組合齒輪的一端設(shè)有與錐齒輪嚙合的錐齒，另一端設(shè)有與直齒圓柱齒輪嚙合的直齒；所述直齒圓柱齒輪固定在傳動輥(21)的一端；所述每組輸出組件中的傳動輥(21)的正下方均設(shè)有一根支撐輥(22)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述傳動機(jī)構(gòu)(2)的入口部分和出口部分只設(shè)置支撐輥(22)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述剝離機(jī)構(gòu)(3)還包括感應(yīng)器(39);所述感應(yīng)器(39)設(shè)置在傳動機(jī)構(gòu)(2)下方。
【文檔編號】C01B31-04GK204281322SQ201420618824
【發(fā)明者】周振義, 武文鑫, 徐振飛, 龔健, 孫洪波, 婁曉靜, 顧永強(qiáng) [申請人]常州二維碳素科技有限公司