一種熱解氮化硼用的沉積爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉一種熱解氮化硼用的沉積爐，包括圓柱體形爐體，爐體的上端和下端分別設(shè)有頂蓋和底板，爐體為密封結(jié)構(gòu)，爐體的內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱結(jié)構(gòu)，爐體中部放置有加工部件；爐體的側(cè)壁上設(shè)有若干個(gè)進(jìn)氣管，爐體外側(cè)的每個(gè)進(jìn)氣管上設(shè)有加熱器；加熱器與爐體之間的進(jìn)氣管上設(shè)有氣流溫度感應(yīng)器；爐體的內(nèi)壁和底板上側(cè)分別設(shè)置有爐體溫度感應(yīng)器；爐體外側(cè)設(shè)有電控箱。本實(shí)用新型能夠通過加熱器對進(jìn)氣管中的氣流進(jìn)行加熱，確保輸入的氣流與爐體內(nèi)的溫度一致，從而使沉積作業(yè)均勻穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量；同時(shí)，能夠高效監(jiān)測和調(diào)控爐體內(nèi)的溫度，確保最佳的作業(yè)效率和作業(yè)質(zhì)量。
【專利說明】
一種熱解氮化硼用的沉積爐
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及工業(yè)設(shè)備，具體涉及一種熱解氮化硼用的沉積爐。
【背景技術(shù)】
[0002]氣相沉積爐，是熱解氮化硼生產(chǎn)用的常用設(shè)備;現(xiàn)有的設(shè)備，在輸入氣流時(shí)，往往是直接輸入溫度較低的氣流，造成在爐體內(nèi)的氣流溫度分布不均，爐體內(nèi)的工作溫度產(chǎn)生波動，對氣相沉積的作業(yè)過程和產(chǎn)品質(zhì)量帶來較大不利影響；并且，現(xiàn)有的沉積爐，對輸入氣流和爐體內(nèi)的溫度監(jiān)測性能薄弱，使得作業(yè)質(zhì)量降低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，設(shè)計(jì)一種熱解氮化硼用的沉積爐，能夠通過加熱器對進(jìn)氣管中的氣流進(jìn)行加熱，確保輸入的氣流與爐體內(nèi)的溫度一致，從而使沉積作業(yè)均勻穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量;同時(shí)，能夠高效監(jiān)測和調(diào)控爐體內(nèi)的溫度，確保最佳的作業(yè)效率和作業(yè)質(zhì)量。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種熱解氮化硼用的沉積爐，包括圓柱體形爐體，爐體的上端和下端分別設(shè)有頂蓋和底板，爐體為密封結(jié)構(gòu)，爐體的內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱結(jié)構(gòu)，爐體中部放置有加工部件;爐體的側(cè)壁上設(shè)有若干個(gè)進(jìn)氣管，爐體外側(cè)的每個(gè)進(jìn)氣管上設(shè)有加熱器;加熱器與爐體之間的進(jìn)氣管上設(shè)有氣流溫度感應(yīng)器;爐體的內(nèi)壁和底板上側(cè)分別設(shè)置有爐體溫度感應(yīng)器;爐體外側(cè)設(shè)有電控箱，氣流溫度感應(yīng)器、爐體溫度感應(yīng)器、加熱器、加熱結(jié)構(gòu)均與電控箱電連接；
[0005]爐體的內(nèi)壁上設(shè)有隔熱層；
[0006]進(jìn)氣管的外壁上設(shè)有保溫層。
[0007]優(yōu)選的，隔熱層為陶瓷隔熱層;保溫層為巖棉保溫層。
[0008]優(yōu)選的，底板上設(shè)有支架，加熱結(jié)構(gòu)安裝在支架上側(cè)。
[0009]優(yōu)選的，支架為陶瓷絕緣支架。
[0010]優(yōu)選的，爐體的側(cè)壁上設(shè)有排氣口，排氣口通過管路與真空栗連通。
[0011]優(yōu)選的，加熱器為電加熱器;加熱結(jié)構(gòu)為石墨電加熱結(jié)構(gòu)。
[0012]優(yōu)選的，頂蓋的下側(cè)面和底板的上側(cè)面設(shè)有陶瓷隔熱層。
[0013]優(yōu)選的，爐體內(nèi)設(shè)有真空傳感器。
[0014]優(yōu)選的，加熱結(jié)構(gòu)為圓柱體形。
[0015]本實(shí)用新型的工作過程為:將加工部件放置在爐體內(nèi)，通過進(jìn)氣管向爐體內(nèi)輸入氣流，電控箱調(diào)控加熱器和加熱結(jié)構(gòu)的工作狀態(tài)，對爐體和氣流進(jìn)行加熱，達(dá)到工作溫度后開始沉積作業(yè);氣流溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測進(jìn)氣管中的氣流溫度，爐體溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測爐體內(nèi)的溫度，電控箱根據(jù)監(jiān)測溫度實(shí)時(shí)調(diào)控加熱器和加熱結(jié)構(gòu)的工作狀態(tài)，使溫度保持在合適區(qū)間；排氣口通過與真空栗連通，能夠調(diào)控爐體內(nèi)的真空度;保溫層為進(jìn)氣管保溫隔熱，隔熱層為爐體保溫隔熱，降低能耗。
[0016]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:
[0017]熱解氮化硼用的沉積爐，能夠通過加熱器對進(jìn)氣管中的氣流進(jìn)行加熱，確保輸入的氣流與爐體內(nèi)的溫度一致，從而使沉積作業(yè)均勻穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量；同時(shí)，能夠高效監(jiān)測和調(diào)控爐體內(nèi)的溫度，確保最佳的作業(yè)效率和作業(yè)質(zhì)量。
【附圖說明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型熱解氮化硼用的沉積爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:1、電控箱;2、氣流溫度感應(yīng)器;3、進(jìn)氣管;4、爐體溫度感應(yīng)器;5、加熱結(jié)構(gòu)；
6、頂蓋;7、加工部件;8、排氣口；9、加熱器;10、爐體;11、支架;12、底板。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合實(shí)施例，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0021]實(shí)施例1
[0022]如圖1所示:一種熱解氮化硼用的沉積爐，包括圓柱體形爐體10，爐體10的上端和下端分別設(shè)有頂蓋6和底板12，爐體10為密封結(jié)構(gòu)，爐體10的內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱結(jié)構(gòu)5，爐體10中部放置有加工部件7 ；爐體10的側(cè)壁上設(shè)有2個(gè)進(jìn)氣管3，爐體10外側(cè)的每個(gè)進(jìn)氣管3上設(shè)有加熱器9 ；加熱器9與爐體10之間的進(jìn)氣管3上設(shè)有氣流溫度感應(yīng)器2 ；爐體10的內(nèi)壁和底板12上側(cè)分別設(shè)置有爐體10溫度感應(yīng)器4;爐體10外側(cè)設(shè)有電控箱I，氣流溫度感應(yīng)器2、爐體1溫度感應(yīng)器4、加熱器9、加熱結(jié)構(gòu)5均與電控箱I電連接;爐體1的內(nèi)壁上設(shè)有隔熱層;進(jìn)氣管3的外壁上設(shè)有保溫層。
[0023]隔熱層為陶瓷隔熱層;保溫層為巖棉保溫層。
[0024]底板12上設(shè)有支架11，加熱結(jié)構(gòu)5安裝在支架11上側(cè)。支架11為陶瓷絕緣支架11。爐體10的側(cè)壁上設(shè)有排氣口 8，排氣口 8通過管路與真空栗連通。
[0025]加熱器9為電加熱器9;加熱結(jié)構(gòu)5為石墨電加熱結(jié)構(gòu)5。頂蓋6的下側(cè)面和底板12的上側(cè)面設(shè)有陶瓷隔熱層。爐體10內(nèi)設(shè)有真空傳感器，真空傳感器通過線路與電控箱I電連接。加熱結(jié)構(gòu)5為圓柱體形。
[0026]本實(shí)施例的工作過程為:將加工部件7放置在爐體10內(nèi)，通過進(jìn)氣管3向爐體10內(nèi)輸入氣流，電控箱I調(diào)控加熱器9和加熱結(jié)構(gòu)5的工作狀態(tài)，對爐體10和氣流進(jìn)行加熱，達(dá)到工作溫度后開始沉積作業(yè);氣流溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測進(jìn)氣管3中的氣流溫度，爐體10溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測爐體10內(nèi)的溫度，電控箱I根據(jù)監(jiān)測溫度實(shí)時(shí)調(diào)控加熱器9和加熱結(jié)構(gòu)5的工作狀態(tài)，使溫度保持在合適區(qū)間;排氣口 8通過與真空栗連通，能夠調(diào)控爐體10內(nèi)的真空度；保溫層為進(jìn)氣管3保溫隔熱，隔熱層為爐體10保溫隔熱，降低能耗。
[0027]本實(shí)施例的有益效果在于:熱解氮化硼用的沉積爐，能夠通過加熱器對進(jìn)氣管中的氣流進(jìn)行加熱，確保輸入的氣流與爐體內(nèi)的溫度一致，從而使沉積作業(yè)均勻穩(wěn)定，提高沉積作業(yè)的質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量;同時(shí)，能夠高效監(jiān)測和調(diào)控爐體內(nèi)的溫度，確保最佳的作業(yè)效率和作業(yè)質(zhì)量。
[0028]本實(shí)施例中電控箱檢測溫度和真空度，并調(diào)控電熱器和加熱結(jié)構(gòu)工作狀態(tài)和功率的技術(shù)為現(xiàn)有公知技術(shù)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員完全能夠?qū)崿F(xiàn)。
[0029]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種熱解氮化硼用的沉積爐，包括圓柱體形爐體，爐體的上端和下端分別設(shè)有頂蓋和底板，爐體為密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，爐體的內(nèi)側(cè)設(shè)有加熱結(jié)構(gòu)，爐體中部放置有加工部件;爐體的側(cè)壁上設(shè)有若干個(gè)進(jìn)氣管，爐體外側(cè)的每個(gè)進(jìn)氣管上設(shè)有加熱器;加熱器與爐體之間的進(jìn)氣管上設(shè)有氣流溫度感應(yīng)器；爐體的內(nèi)壁和底板上側(cè)分別設(shè)置有爐體溫度感應(yīng)器;爐體外側(cè)設(shè)有電控箱，氣流溫度感應(yīng)器、爐體溫度感應(yīng)器、加熱器、加熱結(jié)構(gòu)均與電控箱電連接； 爐體的內(nèi)壁上設(shè)有隔熱層； 進(jìn)氣管的外壁上設(shè)有保溫層。2.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，隔熱層為陶瓷隔熱層;保溫層為巖棉保溫層。3.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，底板上設(shè)有支架，加熱結(jié)構(gòu)安裝在支架上側(cè)。4.如權(quán)利要求3所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，支架為陶瓷絕緣支架。5.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，爐體的側(cè)壁上設(shè)有排氣口，排氣口通過管路與真空栗連通。6.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，加熱器為電加熱器;加熱結(jié)構(gòu)為石墨電加熱結(jié)構(gòu)。7.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，頂蓋的下側(cè)面和底板的上側(cè)面設(shè)有陶瓷隔熱層。8.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，爐體內(nèi)設(shè)有真空傳感器。9.如權(quán)利要求1所述的熱解氮化硼用的沉積爐，其特征在于，加熱結(jié)構(gòu)為圓柱體形。
【文檔編號】C23C16/34GK205556773SQ201620348636
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年4月25日
【發(fā)明人】董家海, 曹新華, 周孟忠
【申請人】常熟東星電子材料有限公司