板式pecvd用特氣管路套環(huán)狀出氣孔的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是一種涉及PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)鍍膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前太陽能電池鍍膜設(shè)備平板PECVD，其鍍膜原理為A與B氣體從不同的管路的氣孔中噴出來，進(jìn)入真空腔體，利用微波管將氣體等離子體化，進(jìn)行反應(yīng)，在硅片表面形成薄膜，如圖1所示:
[0003]圖1中，硅片1的下表面需要鍍膜，微波管2位于硅片1下方；從A氣體管路3和B氣體管路4中分別噴出A氣體和B氣體，利用微波管2將氣體等離子體化，形成A氣體的等離子體和B氣體的等離子體，然后在硅片1下表面形成薄膜5。在垂直于圖1的紙面方向，A氣體管路3和B氣體管路4上均間隔分布有多個出氣孔。A氣體管路3和B氣體管路4均稱為特氣管路。
[0004]而目前的腔體內(nèi)的特氣管路的噴淋孔(出氣孔)直徑只有1_左右，非常小，此種設(shè)計容易在孔上沉積反應(yīng)生成物，導(dǎo)致出氣孔逐漸堵塞，從而氣體流量逐漸減少，最嚴(yán)重的結(jié)果為出氣孔完全堵住，氣體完全無法出來。堵孔處的鍍膜厚度將大大降低，從而導(dǎo)致整道的膜厚不均勻度增大，產(chǎn)品質(zhì)量降低，導(dǎo)致設(shè)備的維護(hù)周期大大縮短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，能夠解決板式PECVD中特氣管路的出氣孔堵孔問題。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0006]—種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體，其改進(jìn)之處在于:
[0007]在出氣孔本體周圍設(shè)一套環(huán)，套環(huán)位于出氣孔本體的外側(cè)。
[0008]進(jìn)一步地，套環(huán)與出氣孔本體同圓心。
[0009]進(jìn)一步地，套環(huán)的高度為4?7mm，內(nèi)徑為3?6mm，套環(huán)的壁厚為1?1.2mm。
[0010]更進(jìn)一步地，套環(huán)的高度為5?6_，內(nèi)徑為4?5_。
[0011]進(jìn)一步地，出氣孔本體的直徑為1?1.2mm。
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0013]1)可有效防止PECVD的特氣管路出氣孔堵塞；使得特氣管道各處的鍍膜厚度均勻。
[0014]2)結(jié)構(gòu)簡單，制作方便，套環(huán)選用不銹鋼材質(zhì)，使用壽命長，與特氣管路焊接固定，對現(xiàn)有鍍膜設(shè)備改造方便。
【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有PECVD設(shè)備鍍膜示意圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)組成示意圖。
[0017]圖3為本實(shí)用新型的俯視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0019]本實(shí)用新型提出的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，如圖2所示，包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體10，所述出氣孔本體10的直徑優(yōu)選為1?1.2mm ;
[0020]在出氣孔本體10周圍設(shè)一套環(huán)20，套環(huán)20可采用焊接方式固定在特氣管路上，套環(huán)20位于出氣孔本體10的外側(cè)；套環(huán)20和特氣管路通常都采用不銹鋼材質(zhì)。
[0021]套環(huán)20與出氣孔本體10同圓心；套環(huán)20的高度優(yōu)選為4?7mm，內(nèi)徑優(yōu)選為3?6_，套環(huán)20的壁厚為1?1.2mm ;
[0022]在太陽能電池鍍膜PECVD過程中，實(shí)驗(yàn)證明，當(dāng)套環(huán)20的高度為5?6mm，內(nèi)徑為4?5mm時，防堵孔的效果最佳。
[0023]如圖2所示，此套環(huán)20間接增大了出氣孔口徑，且套環(huán)20內(nèi)為正壓區(qū)，反應(yīng)區(qū)域30在套環(huán)20上方，使得反應(yīng)生成物沉積在套環(huán)20周圍，而不會沉積在套環(huán)20內(nèi)的出氣孔本體10處，從而防止堵孔。
[0024]采用本實(shí)用新型后，太陽能電池鍍膜的膜厚均勻性優(yōu)，且穩(wěn)定。鍍膜設(shè)備的維護(hù)時間大大延長，維護(hù)周期從原來的3?4天延遲到8天以上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體(10)，其特征在于: 在出氣孔本體(10)周圍設(shè)一套環(huán)(20)，套環(huán)(20)位于出氣孔本體(10)的外側(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，其特征在于: 套環(huán)(20)與出氣孔本體(10)同圓心。3.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，其特征在于: 套環(huán)(20)的高度為4?7mm，內(nèi)徑為3?6mm，套環(huán)(20)的壁厚為1?1.2mm。4.如權(quán)利要求3所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，其特征在于: 套環(huán)(20)的高度為5?6_，內(nèi)徑為4?5_。5.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，其特征在于: 出氣孔本體(10)的直徑為1?1.2mm。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔，包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體，其改進(jìn)之處在于：在出氣孔本體周圍設(shè)一套環(huán)，套環(huán)位于出氣孔本體的外側(cè)。進(jìn)一步地，套環(huán)與出氣孔本體同圓心。進(jìn)一步地，套環(huán)的高度為4～7mm，內(nèi)徑為3～6mm，套環(huán)的壁厚為1～1.2mm。更進(jìn)一步地，套環(huán)的高度為5～6mm，內(nèi)徑為4～5mm。進(jìn)一步地，出氣孔本體的直徑為1～1.2mm。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：可有效防止PECVD的特氣管路出氣孔堵塞；使得特氣管道各處的鍍膜厚度均勻。
【IPC分類】C23C16/511, C23C16/513, C23C16/517, C23C16/455
【公開號】CN205011835
【申請?zhí)枴緾N201520776934
【發(fā)明人】魯科, 喬琦, 陸紅艷, 黃海濤, 陳如龍
【申請人】無錫尚德太陽能電力有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月8日