一種效能偵測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及電子領(lǐng)域，特別涉及一種效能偵測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]集成電路芯片的制造工藝及技術(shù)，由于電路線幅設(shè)計細小化需求，技術(shù)越朝高集成密度而日新月異，針對芯片表面當一系列的薄膜被沉積與蝕刻后，微細銅電路或是鎢電路、氧化膜介質(zhì)電層等出現(xiàn)不平坦現(xiàn)象，因此利用平坦化工藝以拋光達到芯片平坦后，有利于下一個工藝進行，解決電路微影工藝因平坦度差使曝光聚焦困難的問題。因此以拋光工藝平坦化技術(shù)相形重要；
[0003]然而目前使用的拋光墊整修器只有在對拋光墊整修完成后，才能夠發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及整修裝備是否有缺陷，而無法從拋光墊整修器在對拋光墊的整修過程中及時發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及拋光墊整修設(shè)備自身的缺陷及故障；因此經(jīng)常會由于拋光墊整修器及整修裝備的自身缺陷及故障而對生產(chǎn)者造成損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述問題，本實用新型提供一種效能偵測裝置。本技術(shù)方案通過利用速率偵測裝置和位移偵測裝置，實現(xiàn)了立即發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及整修裝備的故障或失效，減少拋光墊整修器作虛功，提高生產(chǎn)效率的效果；以及起到了精確掌控拋光墊整修器運轉(zhuǎn)情況及效能，和提早偵錯及時發(fā)現(xiàn)問題及了解效能衰退幅度，減少停機檢查維修的頻率，提高生產(chǎn)效率的作用。
[0005]本實用新型中的一種效能偵測裝置，應(yīng)用于拋光墊整修裝備和拋光墊整修器上，所述拋光墊整修器用于對拋光墊進行整修，所述拋光墊整修裝備包括固定盤和電動機，所述拋光墊整修器位于所述固定盤的下方，并與所述固定盤連接；
[0006]所述效能偵測裝置包括速率偵測裝置和位移偵測裝置，所述速率偵測裝置包括速率傳感器和發(fā)光二極管，所述位移偵測裝置包括第一位移傳感器和第二位移傳感器；所述速率偵測裝置位于所述固定盤和所述拋光墊整修器的側(cè)面，并對準所述拋光墊整修器；所述位移偵測裝置位于所述固定盤的上方，并對準所述固定盤和所述拋光墊。
[0007]上述方案中，所述速率偵測裝置位于所述拋光墊整修器的側(cè)面，所述發(fā)光二極管向所述拋光墊整修器發(fā)送光源信號，所述光源信號經(jīng)所述拋光墊整修器的側(cè)面，反射到所述速率傳感器上。
[0008]上述方案中，所述位移偵測裝置位于所述固定盤的上方；所述第一位移傳感器位于所述位移偵測裝置背向所述固定盤的一側(cè)，并對準所述拋光墊；所述第二位移傳感器位于所述位移偵測裝置朝向所述固定盤的一側(cè)，并對準所述固定盤。
[0009]上述方案中，所述效能偵測裝置還包括處理器，所述拋光墊整修裝備還包括電動機；所述處理器分別與所述速率傳感器和所述電動機連接。
[0010]上述方案中，所述處理器還與所述位移偵測裝置連接；所述處理器分別與所述第一位移傳感器和所述第二位移傳感器連接。
[0011]本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于:本實用新型提供一種效能偵測裝置，實現(xiàn)了及時發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及整修裝備的故障或失效，減少拋光墊整修器作虛功，提高生產(chǎn)效率的效果；以及起到了精確掌控拋光墊整修器運轉(zhuǎn)情況及效能，和提早偵錯并及時發(fā)現(xiàn)問題及了解效能衰退幅度，減少停機檢查維修的頻率，提高生產(chǎn)效率的作用。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為本實用新型一種效能偵測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:1、拋光墊整修器 2、拋光墊整修裝備 3、拋光墊
[0015]4、速率偵測裝置 5、位移偵測裝置 6、處理器
[0016]21、電動機22、固定盤23、調(diào)節(jié)器
[0017]24a、第一輪盤24b、第二輪盤25、調(diào)節(jié)連動臂
[0018]26、活動軸27、傳動軸28、傳動組件
[0019]41、速率傳感器 42、發(fā)光二極管 51、第一位移傳感器
[0020]52、第二位移傳感器
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0022]如圖1所示，本實用新型是一種效能偵測裝置，應(yīng)用于拋光墊整修裝備2和拋光墊整修器1上，拋光墊整修器1用于對拋光墊3進行整修，拋光墊整修裝備2包括固定盤22和電動機21，拋光墊整修器1位于固定盤22的下方，并與固定盤22連接；
[0023]效能偵測裝置包括速率偵測裝置4和位移偵測裝置5，速率偵測裝置4包括速率傳感器41和發(fā)光二極管42，位移偵測裝置5包括第一位移傳感器51和第二位移傳感器52 ;速率偵測裝置4位于固定盤22和拋光墊整修器的側(cè)面，并對準拋光墊整修器；位移偵測裝置5位于固定盤22的上方，并對準固定盤22和拋光墊3。
[0024]優(yōu)選的，速率偵測裝置4位于拋光墊整修器1的側(cè)面，發(fā)光二極管42向拋光墊整修器1發(fā)送光源信號，光源信號經(jīng)拋光墊整修器1的側(cè)面，反射到速率傳感器41上，速率傳感器41對接收到的光源信號進行運算，計算出拋光墊整修器1的運行速率率值。
[0025]優(yōu)選的，位移偵測裝置5位于固定盤22的上方；第一位移傳感器51位于位移偵測裝置5背向固定盤22的一側(cè)，并對準拋光墊3 ;第二位移傳感器52位于位移偵測裝置5朝向固定盤22的一側(cè)，并對準固定盤22 ;第一位移傳感器51用于探測拋光墊3在被拋光墊整修器1整修前后的高度差，以測算出拋光墊整修器1對拋光墊3的切削率；第二位移傳感器52用于探測拋光墊整修器1上下運動的位移量，以判斷拋光墊整修器1的上下運動是否正常。
[0026]優(yōu)選的，效能偵測裝置還包括處理器6，拋光墊整修裝備2還包括電動機21 ;處理器6分別與速率傳感器41和電動機21連接