一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池中，薄膜電池具有更強(qiáng)的弱光效應(yīng)，廉價(jià)的制備材料，更佳的視覺效果及易于大規(guī)模連續(xù)化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在光伏建筑一體化(BIPV)中具有廣闊的發(fā)展前景。對于Si基薄膜電池來說，背電極的導(dǎo)電性能及膜層結(jié)構(gòu)在整個(gè)電池的工藝中處于一個(gè)非常重要的地位，Si基薄膜電池背電極利用磁控派射技術(shù)(magnetron sputtering，簡稱PVD)制備，在濺射過程中，芯片通過多室連續(xù)濺射從而才能達(dá)到需要的膜層精度及工藝。
[0003]但是，因?yàn)楣に囆枰獮R射AZO靶材時(shí)，由于AZO的特殊屬性，造成腔室內(nèi)的AZO粉塵較多，進(jìn)而造成此工藝腔室內(nèi)的光電傳感器表面臟污，導(dǎo)致生產(chǎn)中止，而清潔光電傳感器需破真空清潔，需要耗費(fèi)大量的時(shí)間及人力，且存在后續(xù)的AZO靶材預(yù)濺射損耗等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置。
[0005]本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本一種磁控派射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，包括伺服電機(jī)、光電傳感器的激光發(fā)射器、反射板和兩個(gè)葫蘆形防塵罩，其中一個(gè)葫蘆形防塵罩安裝于激光發(fā)射器的出光口上，另一個(gè)葫蘆形防塵罩倒置安裝于反射板的下方；
[0007]安裝于激光發(fā)射器出光口上的葫蘆形防塵罩頂部設(shè)有灰塵小入口 ；倒置安裝于反射板下方的葫蘆形防塵罩底部設(shè)有灰塵小入口。
[0008]作為優(yōu)化，倒置安裝于反射板下方的葫蘆形防塵罩頂部采用密封可旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。
[0009]作為優(yōu)化，所述葫蘆形防塵罩內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)積塵片。
[0010]作為優(yōu)化，所述積塵片呈半圓形。
[0011 ] 作為優(yōu)化，所述葫蘆形防塵罩內(nèi)部設(shè)有靜電涂層。
[0012]作為優(yōu)化，所述葫蘆形防塵罩和激光發(fā)射器、反射板均采用活扣裝置連接。
[0013]作為優(yōu)化，所述葫蘆形防塵罩，采用一側(cè)活扣可分開式結(jié)構(gòu)。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0015]本實(shí)用新型，設(shè)計(jì)科學(xué)、成本低、使用很方便，通過采用入口小、壁室大、兩級過濾吸附的葫蘆形防塵罩，對激光發(fā)射器及反射板進(jìn)行防塵，不會造成后續(xù)的AZO靶材預(yù)濺射損耗，不需要破真空清潔，省時(shí)省力，提高防塵效率，有效延長光電傳感器的使用時(shí)間。具有較好的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值和推廣價(jià)值。
【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖對本一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置作進(jìn)一步說明:
[0017]圖1是本一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中:1為激光發(fā)射器、2為葫蘆形防塵罩、3為反射板、4為灰塵小入口、5為積塵片。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0020]如圖1所示，本一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，包括伺服電機(jī)、光電傳感器的激光發(fā)射器1、反射板3和兩個(gè)葫蘆形防塵罩2，其中一個(gè)葫蘆形防塵罩2安裝于激光發(fā)射器I的出光口上，該葫蘆形防塵罩2上方50-100mm處反射板3的下方，倒置安裝另一個(gè)葫蘆形防塵罩2 ;
[0021]安裝于激光發(fā)射器I出光口上的葫蘆形防塵罩2頂部設(shè)有灰塵小入口 4 ;倒置安裝于反射板3下方的葫蘆形防塵罩2底部設(shè)有灰塵小入口 4。
[0022]如此設(shè)計(jì)，通過采用入口小、壁室大、兩級過濾吸附的葫蘆形防塵罩，對激光發(fā)射器及反射板進(jìn)行防塵，不會造成后續(xù)的AZO靶材預(yù)濺射損耗，不需要破真空清潔，省時(shí)省力，提高防塵效率，有效延長光電傳感器的使用時(shí)間。
[0023]具體的，倒置安裝于反射板3下方的葫蘆形防塵罩2頂部采用密封可旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。如此設(shè)計(jì)，針對腔室開口不平而造成的光偏移，使光斑始終處于反射板中央位置。
[0024]具體的，所述葫蘆形防塵罩2內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)半圓形積塵片5。如此設(shè)計(jì)，灰塵下落到積塵片下，沿積塵片下滑到底，可以累積更多的灰塵，進(jìn)一步延長光電傳感器的使用時(shí)間。
[0025]具體的，所述葫蘆形防塵罩2內(nèi)部設(shè)有靜電涂層。如此設(shè)計(jì)，利用靜電吸附原理，大大提高了粉塵吸附的能力。
[0026]具體的，所述葫蘆形防塵罩2和激光發(fā)射器1、反射板3均采用活扣裝置連接。如此設(shè)計(jì)，便于清潔葫蘆形防塵罩，且可實(shí)現(xiàn)多次利用，有效提高使用率。
[0027]具體的，所述葫蘆形防塵罩2，采用一側(cè)活扣可分開式結(jié)構(gòu)。如此設(shè)計(jì)，便于安裝及清理積塵片上的灰塵，提高使用壽命。
[0028]工作原理；
[0029]兩個(gè)葫蘆形防塵罩分別安裝在激光發(fā)射器的出光口上方及反射板下方，當(dāng)灰塵進(jìn)入葫蘆形防塵罩后，首先通過一級器壁吸附，如果還有少量灰塵進(jìn)入二級器室，則進(jìn)行二級器壁吸附，以達(dá)到灰塵沒有或很少落在激光發(fā)射器及反射板上。從而有效延長光電傳感器在多塵空間內(nèi)的使用壽命。
[0030]本實(shí)用新型，設(shè)計(jì)科學(xué)、成本低、使用很方便，通過采用入口小、壁室大、兩級過濾吸附的葫蘆形防塵罩，對激光發(fā)射器及反射板進(jìn)行防塵，不會造成后續(xù)的AZO靶材預(yù)濺射損耗，不需要破真空清潔，省時(shí)省力，提高防塵效率，有效延長光電傳感器的使用時(shí)間。
[0031]上述【具體實(shí)施方式】僅是本實(shí)用新型的具體個(gè)案，并非是對本實(shí)用新型作其它形式的限制，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員可能利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容加以變更或改型為等同變化的等效實(shí)施方式。但是凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施方式所作的任何簡單修改、等同變化與改型，皆應(yīng)落入本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磁控派射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:包括伺服電機(jī)、光電傳感器的激光發(fā)射器、反射板和兩個(gè)葫蘆形防塵罩，其中一個(gè)葫蘆形防塵罩安裝于激光發(fā)射器的出光口上，另一個(gè)葫蘆形防塵罩倒置安裝于反射板的下方； 安裝于激光發(fā)射器出光口上的葫蘆形防塵罩頂部設(shè)有灰塵小入口 ；倒置安裝于反射板下方的葫蘆形防塵罩底部設(shè)有灰塵小入口。2.如權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:倒置安裝于反射板下方的葫蘆形防塵罩頂部采用密封可旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:所述葫蘆形防塵罩內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)積塵片。4.如權(quán)利要求3所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:所述積塵片呈半圓形。5.如權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:所述葫蘆形防塵罩內(nèi)部設(shè)有靜電涂層。6.如權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:所述葫蘆形防塵罩和激光發(fā)射器、反射板均采用活扣裝置連接。7.如權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，其特征在于:所述葫蘆形防塵罩，采用一側(cè)活扣可分開式結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置。本一種磁控濺射內(nèi)光電傳感器防塵裝置，包括伺服電機(jī)、光電傳感器的激光發(fā)射器、反射板和兩個(gè)葫蘆形防塵罩，其中一個(gè)葫蘆形防塵罩安裝于激光發(fā)射器的出光口上，另一個(gè)葫蘆形防塵罩倒置安裝于反射板的下方；安裝于激光發(fā)射器出光口上的葫蘆形防塵罩頂部設(shè)有灰塵小入口；倒置安裝于反射板下方的葫蘆形防塵罩底部設(shè)有灰塵小入口。本實(shí)用新型，設(shè)計(jì)科學(xué)、成本低、使用很方便，通過采用入口小、壁室大、兩級過濾吸附的葫蘆形防塵罩，對激光發(fā)射器及反射板進(jìn)行防塵，不會造成后續(xù)的AZO靶材預(yù)濺射損耗，不需要破真空清潔，省時(shí)省力，提高防塵效率，有效延長光電傳感器的使用時(shí)間。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN204779790
【申請?zhí)枴緾N201520517044
【發(fā)明人】劉林, 檀玉珩
【申請人】山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月17日