一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)及其操作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜機(jī)領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的操作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
[0003]蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)一島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，最終形成薄膜。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中的濺射類(lèi)鍍膜機(jī)多為人工操控，智能化較低，在機(jī)器工作過(guò)程中無(wú)法檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量，和各項(xiàng)生產(chǎn)過(guò)程中的工作狀態(tài)，精確度較低，人為操作易產(chǎn)生指標(biāo)誤差，效率較低，人工成本高，生產(chǎn)質(zhì)量無(wú)法把控，易出現(xiàn)不合格產(chǎn)品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的操作方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)致的上述現(xiàn)有技術(shù)中的濺射類(lèi)鍍膜機(jī)多為人工操控，智能化較低，在機(jī)器工作過(guò)程中無(wú)法檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量，和各項(xiàng)生產(chǎn)過(guò)程中的工作狀態(tài)，精確度較低，人為操作易產(chǎn)生指標(biāo)誤差，效率較低，人工成本高，生產(chǎn)質(zhì)量無(wú)法把控，易出現(xiàn)不合格產(chǎn)品的缺陷。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供以下的技術(shù)方案:一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)，包括抽氣系統(tǒng)、鍍膜電源、控制部分和真空室體，所述鍍膜電源和抽氣系統(tǒng)均與真空室體相連接，控制部分和抽氣系統(tǒng)均與鍍膜電源相連接，且抽氣系統(tǒng)、鍍膜電源和真空室體均受控制部分的控制，控制部分包括控制系統(tǒng)、存儲(chǔ)器、控制面板，且控制系統(tǒng)與控制面板相連接且控制面板與存儲(chǔ)器相連接，抽氣系統(tǒng)包括擴(kuò)散栗、維持栗、羅茨栗、第一粗抽栗和第二粗抽栗，真空室體與擴(kuò)散栗相連接，真空室體與擴(kuò)散栗的連接處設(shè)有放氣閥，擴(kuò)散栗的頂部設(shè)有精抽閥，擴(kuò)散栗的頂部與羅茨栗相連接，擴(kuò)散栗與羅茨栗的連接處設(shè)有粗抽閥，擴(kuò)散栗的底部與維持栗相連接，維持栗上部設(shè)有維持閥，且羅茨栗與維持栗相連接，羅茨栗與維持栗的連接處設(shè)有前置閥，羅茲栗分別與第一粗抽栗和第二粗抽栗相連接。
[0007]優(yōu)選的，所述控制面板包括控制按鈕、系統(tǒng)縮略圖和參數(shù)顯示控制界面，其中控制按鈕包括自動(dòng)抽氣按鈕、自動(dòng)鍍膜按鈕、自動(dòng)放氣按鈕、自動(dòng)關(guān)機(jī)按鈕、開(kāi)機(jī)預(yù)熱按鈕和放氣結(jié)束按鈕。
[0008]優(yōu)選的，所述系統(tǒng)縮略圖上設(shè)有故障顯示部分。
[0009]—種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的操作方法，其步驟主要有:
[0010](I)開(kāi)機(jī)預(yù)熱，開(kāi)啟鍍膜電源，在控制面板選擇開(kāi)機(jī)預(yù)熱按鈕，為抽氣系統(tǒng)、控制部分和真空室體提供電能，控制系統(tǒng)自動(dòng)檢測(cè)真空室體內(nèi)部氣壓和水壓，控制系統(tǒng)控制維持栗開(kāi)啟，并打開(kāi)維持閥，當(dāng)真空室內(nèi)的真空度達(dá)到啟動(dòng)擴(kuò)散栗真空度時(shí)，控制系統(tǒng)自動(dòng)控制擴(kuò)散栗啟動(dòng)，進(jìn)行開(kāi)機(jī)預(yù)熱；
[0011](2)自動(dòng)抽氣，在控制面板選擇自動(dòng)抽氣按鈕，關(guān)閉真空室體的門(mén)后，控制系統(tǒng)延遲3秒控制第一粗抽栗和第二粗抽栗啟動(dòng)，并打開(kāi)粗抽閥，當(dāng)真空室內(nèi)的真空度達(dá)到羅茨真空度時(shí)，控制系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)羅茨栗，真空度達(dá)到精抽真空度時(shí)，控制系統(tǒng)自動(dòng)控制第一粗抽栗和第二粗抽栗關(guān)閉，打開(kāi)前置閥和精抽閥，進(jìn)行自動(dòng)抽氣；
[0012](3)自動(dòng)鍍膜，在控制面板選擇自動(dòng)鍍膜按鈕，在自動(dòng)抽氣完成后，真空度達(dá)到啟動(dòng)鍍膜真空度時(shí)，會(huì)自動(dòng)按照工藝界面里預(yù)先設(shè)定的工藝步驟自動(dòng)運(yùn)行，如果不選取將不會(huì)運(yùn)行；
[0013](4)自動(dòng)放氣，在控制面板選擇自動(dòng)放氣按鈕，當(dāng)工藝運(yùn)行結(jié)束后會(huì)自動(dòng)關(guān)閉精抽閥、前置閥、羅茨栗、第一粗抽栗和第二粗抽栗，然后打開(kāi)放氣閥；
[0014](5)自動(dòng)關(guān)機(jī)，在控制面板選擇自動(dòng)關(guān)機(jī)按鈕，當(dāng)放氣結(jié)束后會(huì)自動(dòng)關(guān)閉擴(kuò)散栗，然后按照參數(shù)設(shè)置里的自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間等待，當(dāng)時(shí)間自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間結(jié)束，自動(dòng)關(guān)閉維持閥，然后關(guān)閉維持栗，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)斷電。
[0015]優(yōu)選的，所述啟動(dòng)擴(kuò)散栗真空度、羅茨真空度、精抽真空度、工藝步驟和自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間均可以通過(guò)參數(shù)顯示控制界面進(jìn)行預(yù)先設(shè)置。
[0016]優(yōu)選的，所述參數(shù)顯示控制界面與存儲(chǔ)器相連接。
[0017]優(yōu)選的，所述步驟(3)的鍍膜過(guò)程中可以隨時(shí)在任意情況下在控制面板上選擇放氣結(jié)束按鈕，這時(shí)會(huì)控制系統(tǒng)自動(dòng)控制放氣閥打開(kāi)，即進(jìn)入步驟(4)。
[0018]優(yōu)選的，所述步驟(4)之后，按照需要重復(fù)步驟(2)、步驟(3)和步驟(4)。
[0019]采用以上技術(shù)方案的有益效果是:本發(fā)明方便增加可編輯工藝，可進(jìn)行全自動(dòng)運(yùn)行，進(jìn)行各項(xiàng)流程的單獨(dú)或多項(xiàng)，可調(diào)換操作，多項(xiàng)指標(biāo)數(shù)值可進(jìn)行設(shè)定，在工作過(guò)程中，如出現(xiàn)機(jī)器故障或錯(cuò)誤操作，系統(tǒng)會(huì)及時(shí)報(bào)警并指示正確方案部分問(wèn)題系統(tǒng)會(huì)智能解決，提供重要部件的自我保護(hù)，且增加記憶存儲(chǔ)修改的功能，存儲(chǔ)后可一鍵操作。智能操作，智能保護(hù)與維護(hù)檢測(cè)，提高產(chǎn)品質(zhì)量，節(jié)約人工成本，增加工作效率，提供系統(tǒng)報(bào)警異常，可及時(shí)修復(fù)與維護(hù)可多種工藝編輯儲(chǔ)存及修改，可單獨(dú)操做或自動(dòng)操作。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本發(fā)明中一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖2是本發(fā)明中操作方法的操作流程圖；
[0022]圖3是本發(fā)明中抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4是本發(fā)明中控制面板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]其中，1-真空室體、2-放氣閥、3-精抽閥、4-前置閥、5-粗抽閥、6-擴(kuò)散栗、7-羅茨栗、8-維持栗、9-第一粗抽栗、10-第二粗抽栗、11-維持閥、12-參數(shù)顯示控制界面、13-控制按鈕、14-故障顯示部分、15-系統(tǒng)縮略圖、131-自動(dòng)抽氣按鈕、132-自動(dòng)鍍膜按鈕、133-自動(dòng)放氣按鈕、134-自動(dòng)關(guān)機(jī)按鈕、135-開(kāi)機(jī)預(yù)熱按鈕、136-放氣結(jié)束按鈕。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0026]圖1至圖4出示本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】:一種真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)，包括抽氣系統(tǒng)、鍍膜電源、控制部分和真空室體I，所述鍍膜電源和抽氣系統(tǒng)均與真空室體I相連接，控制部分和抽氣系統(tǒng)均與鍍膜電源相連接，且抽氣系統(tǒng)、鍍膜電源和真空室體I均受控制部分的控制，控制部分包括控制系統(tǒng)、存儲(chǔ)器、控制面板，且控制系統(tǒng)與控制面板相連接且控制面板與存儲(chǔ)器相連接，抽氣系統(tǒng)包括擴(kuò)散栗6、維持栗8、羅茨栗7、第一粗抽栗9和第二粗抽栗10，真空室體I與擴(kuò)散栗6相連接，真空室體I與擴(kuò)散栗6的連接處設(shè)有放氣閥2，擴(kuò)散栗6的頂部設(shè)有精抽閥3，擴(kuò)散栗6的頂部與羅茨栗7相連接，擴(kuò)散栗6與羅茨栗7的連接處設(shè)有粗抽閥5，擴(kuò)散栗6的底部與維持栗8相連接，維持栗8上部設(shè)有維持閥11，且羅茨栗7與維持栗8相連接，羅茨栗7與維持栗8的連接處設(shè)有前置閥4，羅茲栗分別與第一粗抽栗9和第二粗抽栗10相連接。
[0027]在本發(fā)明中，所述控制面板包括控制按鈕13、系統(tǒng)縮略圖15和參數(shù)顯示控制界面12，其中控制按鈕13包括自動(dòng)抽氣按鈕131、自動(dòng)鍍膜按鈕132、自動(dòng)放氣按鈕133、自動(dòng)關(guān)機(jī)按鈕134、開(kāi)機(jī)預(yù)熱按鈕135和放氣結(jié)束按鈕136。