一種破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶圓表面平坦化的CMP工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，集成電路的關(guān)鍵尺寸越來越小的同時(shí)，晶圓的尺寸越來越大，單片晶圓的價(jià)值也越來越高，因此，在晶圓的加工的化學(xué)機(jī)械平坦化過程中，固定環(huán)厚度對研磨速率及穩(wěn)定性有很大影響。其中，固定環(huán)是晶圓制作中常用的設(shè)備部件，其主要作用為:固定晶圓，防止晶圓的研磨過程中出現(xiàn)滑片；使得晶圓邊緣的壓力可調(diào)，對晶圓邊緣的研磨量可調(diào)；固定環(huán)的溝槽可引導(dǎo)研磨液的流進(jìn)流出，使研磨液更均勻的接觸晶圓。
[0003]而在晶圓的加工過程中一旦發(fā)生破片，對工廠帶來的經(jīng)濟(jì)損失也越來越大。而引發(fā)晶圓在加工過程中發(fā)生破片有諸多因素，拋光頭上的固定環(huán)在拋光過程中發(fā)生破裂而引起晶圓的破片是其中的因素之一，如果不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并停止拋光機(jī)的運(yùn)行，不僅會引起晶圓破片，甚至可能導(dǎo)致拋光頭及拋光墊等其他部件的嚴(yán)重?fù)p壞，導(dǎo)致更高的經(jīng)濟(jì)損失。
[0004]因此，通訊工業(yè)晶圓生產(chǎn)中需求一種發(fā)生破裂時(shí)可自動報(bào)警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動的固定環(huán)，以降低因固定環(huán)的破裂帶來的潛在風(fēng)險(xiǎn)和經(jīng)濟(jì)損失。
[0005]鑒于上述缺陷，本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本創(chuàng)作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，現(xiàn)提供一種旨在能夠在發(fā)生破裂時(shí)可自動報(bào)警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動的固定環(huán)，用以克服上述技術(shù)缺陷。
[0007]具體技術(shù)方案如下:
[0008]—種破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)，包括整體呈薄片型圓環(huán)狀且下表面開設(shè)有多個(gè)溝槽的固定環(huán)本體，
[0009]所述固定環(huán)本體內(nèi)嵌入安裝有一環(huán)形細(xì)導(dǎo)線，所述環(huán)形細(xì)導(dǎo)線的兩端連接有一電阻監(jiān)測裝置，所述電阻監(jiān)測裝置實(shí)時(shí)檢測所述環(huán)形細(xì)導(dǎo)線的電阻信息，且所述電阻檢測裝置與外部拋光機(jī)的電腦控制端相電連，所述電阻檢測裝置檢測到的所述電阻信息實(shí)時(shí)傳輸至所述電腦控制端內(nèi)；或者，
[0010]所述固定環(huán)本體內(nèi)部鑲嵌安裝有多道環(huán)形導(dǎo)線，每一個(gè)所述環(huán)形導(dǎo)線的兩端均接入有固定點(diǎn)電壓，且每一個(gè)所述環(huán)形導(dǎo)線還分別連接有一電流信號監(jiān)測裝置，所述電流信號監(jiān)測裝置實(shí)時(shí)檢測環(huán)形導(dǎo)線的電流信息，并與所述外部拋光機(jī)的所述電腦控制端相電連，所述電流信號監(jiān)測裝置檢測到的所述電流信息實(shí)時(shí)傳輸至所述電腦控制端內(nèi)。
[0011]每一個(gè)所述環(huán)形導(dǎo)線所在的平面平行于所述固定環(huán)本體上表面所在的平面。
[0012]所述電阻監(jiān)測裝置還連接有一報(bào)警裝置，且所述固定環(huán)本體發(fā)生破損時(shí)，所述電阻監(jiān)測裝置同時(shí)將發(fā)生變化的所述電阻信息傳輸至所述報(bào)警裝置中，所述報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息。
[0013]所述環(huán)形細(xì)導(dǎo)線環(huán)形分布于圓環(huán)狀的所述固定環(huán)本體內(nèi)，且所述環(huán)形細(xì)導(dǎo)線所在的平面與所述固定環(huán)本體上表面所在的平面相平行。
[0014]所述固定環(huán)本體內(nèi)具有四條所述環(huán)形導(dǎo)線，且所述環(huán)形導(dǎo)線自下而上進(jìn)行編號為1號、2號、3號、4號，所述電流信號出現(xiàn)異常的對應(yīng)的所述環(huán)形導(dǎo)線編號越大，所述固定環(huán)本體的損壞程度越高。
[0015]較佳的，四條所述環(huán)形導(dǎo)線等間距設(shè)置。
[0016]較佳的，所述電流信號監(jiān)測裝置還連接有一報(bào)警器，且所述固定環(huán)本體發(fā)生破損時(shí)，所述電流信號監(jiān)測裝置同時(shí)將變化的所述電流信息傳輸至所述報(bào)警器中，所述報(bào)警器發(fā)出報(bào)警信息。
[0017]較佳的，所述電流信號監(jiān)測裝置連接入所述環(huán)形導(dǎo)線的兩端內(nèi)。
[0018]較佳的，所述報(bào)警裝置為一聲音警報(bào)器。
[0019]較佳的，所述報(bào)警器為一聲音警報(bào)器。
[0020]上述技術(shù)方案的有益效果在于:
[0021](1)本發(fā)明通過向固定環(huán)本體內(nèi)嵌入安裝環(huán)形細(xì)導(dǎo)線或多條環(huán)形導(dǎo)線的方式，可實(shí)現(xiàn)當(dāng)固定環(huán)本體發(fā)生破損時(shí)可自動報(bào)警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動可有效的降低因固定環(huán)的破裂帶來的潛在風(fēng)險(xiǎn)和經(jīng)濟(jì)損失；
[0022](2)多條環(huán)形導(dǎo)線的設(shè)置，使得還可以自動識別出固定環(huán)的破損程度，方便工程師更快速的對故障等級定位。
【附圖說明】
[0023]圖la為現(xiàn)有技術(shù)下固定環(huán)的立體示意圖；
[0024]圖lb為現(xiàn)有技術(shù)下固定環(huán)的側(cè)面示意圖；
[0025]圖2a為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例一固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；
[0026]圖2b為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)連接示意圖；
[0027]圖3a為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例二固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；
[0028]圖3b為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，將會參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施方式。在實(shí)施方式中，相同構(gòu)造的部分使用相同的附圖標(biāo)記并且省略描述。
[0030]參閱圖la和圖lb可知，現(xiàn)有技術(shù)下的固定環(huán)整體呈薄片型圓環(huán)狀，且下表面開設(shè)有多個(gè)溝槽2，用以一方面固定晶圓，另一方面溝槽2可引導(dǎo)研磨液的流進(jìn)流出，使得研磨液更均勻的接觸晶圓。
[0031]實(shí)施例一:
[0032]參閱圖2a，為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例一固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；結(jié)合圖2b，為本發(fā)明破損時(shí)可自動報(bào)警的固定環(huán)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
[0033]如圖中所示，本實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)下的固定環(huán)相比，包括與現(xiàn)有技術(shù)相同結(jié)構(gòu)功能的固定環(huán)本體1，即固定環(huán)本體1整體呈薄片型圓環(huán)狀，且下表面開設(shè)有多個(gè)溝槽2 ;同時(shí)，所述固定環(huán)本體1內(nèi)嵌入安裝有環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3，環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3的兩端連接有一電阻監(jiān)測裝置4，電阻監(jiān)測裝置4實(shí)時(shí)檢測環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3的電阻信息，且電阻檢測裝置與外部拋光機(jī)10的電腦控制端9相電連，其檢測到的環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3的電阻信息實(shí)時(shí)傳輸至電腦控制端9內(nèi)。
[0034]從而在固定環(huán)本體發(fā)生破損狀況時(shí)，因環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3的電阻發(fā)生變化，電阻監(jiān)測裝置4檢測到電阻發(fā)生變化的信息并傳輸至電腦控制端9內(nèi)，電腦控制端9控制調(diào)整拋光機(jī)10的運(yùn)行狀態(tài)至停止?fàn)顟B(tài)，同時(shí)電腦控制端9向工程師在電腦上或是網(wǎng)絡(luò)相連的監(jiān)控設(shè)備中發(fā)出報(bào)警信息。
[0035]在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，電阻監(jiān)測裝置4還連接有一報(bào)警裝置7，當(dāng)固定環(huán)本體1發(fā)生破損狀況時(shí)，電阻監(jiān)測裝置4同時(shí)將變化的所述電阻信息(即所述固定環(huán)本體1的破損信息)傳輸至報(bào)警裝置7中，報(bào)警裝置7發(fā)出報(bào)警信息，通知工作人員固定環(huán)破狀況，從而實(shí)現(xiàn)當(dāng)固定環(huán)破裂時(shí)可自動報(bào)警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動。
[0036]且值得指出的是，在本實(shí)施例中，所述報(bào)警裝置7為一聲音警報(bào)器，當(dāng)觸發(fā)時(shí)發(fā)出聲音警報(bào)。但所述報(bào)警信息也可以是閃光燈方式實(shí)現(xiàn)，且不局限于此。
[0037]進(jìn)一步的優(yōu)選實(shí)施方式中，環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3環(huán)形分布于圓環(huán)狀的固定環(huán)本體1內(nèi)，且環(huán)形細(xì)導(dǎo)線3所在的平面與固定環(huán)本體上表面所在的平面相平行。
[0038]在上述技術(shù)方案中，通過在固定環(huán)本體1中嵌入安裝環(huán)