本技術涉及晶圓磨削，更具體地說，涉及一種晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置。

背景技術：

1、在晶圓磨削過程中，需要實時對晶圓進行真空吸附，并對真空值進行檢測，主要是因為在晶圓磨削過程中會受到主軸磨削的徑向力，將會不斷對晶圓進行切削動作，此時如發(fā)生緊急斷電的話真空泵將會停止運行。我們目前大多數方案采用ups（英文全稱為uninterruptible?power?system?，即不間斷電源）完成真空泵供電來保證真空的保持。

2、通過ups電源不間斷提供電力，保證在設備斷電時真空泵不斷電、真空不丟失，防止晶圓在加工過程中丟片、碎片，以及真空度不足時將會造成晶圓微動也會影響晶圓磨削質量。現(xiàn)有的技術方案較為依賴ups電源，但是，ups電源價格昂貴且占用空間大。

3、因此，如何解決現(xiàn)有設備成本高且占用空間大的問題，是目前本領域技術人員亟待解決的問題。

技術實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實用新型的目的是提供一種晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，通過自身的自動切換，可以保證晶圓在通電和斷電的情況下均能夠被真空吸附，不會掉落，而且相較于現(xiàn)有的ups電源提供電力的方式，可以減小設備的成本和占用空間。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

3、一種晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，包括：

4、吸盤，吸盤用于吸附晶圓；

5、第一真空通道，與吸盤連通，第一真空通道用于在通電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓；

6、第二真空通道，與第一真空通道并聯(lián)設置，并連通于第一真空通道的真空泵，第二真空通道用于在斷電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓，第一真空通道和第二真空通道通過與控制器連接的閥體組件實現(xiàn)自動切換，以使吸盤在通電和斷電狀態(tài)下均能夠穩(wěn)定的吸附晶圓。

7、優(yōu)選的，閥體組件包括：

8、第一電磁閥，設于第一真空通道，第一電磁閥用于控制第一真空通道的連通與斷開，第一電磁閥與控制器連接；

9、真空電磁閥，設于第二真空通道，真空電磁閥用于控制第二真空通道的連通與斷開，真空電磁閥與控制器連接。

10、優(yōu)選的，真空泵的一端通過真空管道與吸盤連通，真空泵的另一端與電源連接，第一電磁閥設于真空管道，第二真空通道包括真空發(fā)生器，真空發(fā)生器設于真空管道，真空發(fā)生器設于真空泵與第一電磁閥之間，真空電磁閥并聯(lián)于真空管道上，真空電磁閥的一端與真空發(fā)生器連接，真空電磁閥的另一端連接于控氣電磁閥與吸盤之間的真空管道上。

11、優(yōu)選的，真空管道上設有壓力表，壓力表靠近吸盤設置。

12、優(yōu)選的，真空管道與氣源連接，氣源為真空管道提供正壓氣體。

13、優(yōu)選的，真空管道上還設有控氣電磁閥、氣源三聯(lián)件和供氣電磁閥，氣源三聯(lián)件的輸入端與氣源的輸出端連接，氣源三聯(lián)件的輸出端與供氣電磁閥的輸入端連接，供氣電磁閥的輸出端與控氣電磁閥的輸入端連接，控氣電磁閥的輸出端與壓力表連接，氣源和氣源三聯(lián)件均與控制器連接。

14、優(yōu)選的，氣源三聯(lián)件包括過濾器、調壓閥和微霧處理器，過濾器用于對氣源輸出的氣體進行除塵，調壓閥用于調整氣源輸出氣體的壓力，微霧處理器用于對氣源輸出的氣體進行除油。

15、優(yōu)選的，壓力表內部具有彈簧膜片，彈簧膜片用于感應壓力并將感應到的壓力轉換為模擬電流輸出至控制器。

16、優(yōu)選的，供氣電磁閥、第一電磁閥和真空電磁閥均為常開電磁閥，控氣電磁閥為常閉電磁閥，控氣電磁閥、供氣電磁閥、第一電磁閥和真空電磁閥均與控制器連接。

17、優(yōu)選的，吸盤上設置有用于連接真空管道的真空接頭。

18、本實用新型提供的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置包括吸盤、第一真空通道、第二真空通道和閥體組件，具體來說，吸盤用于吸附晶圓，第一真空通道與吸盤連通，第一真空通道用于在通電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓，當設備正常上電時，第一真空通道形成真空通路，對晶圓進行吸附，以便于進行下一動作；第二真空通道與第一真空通道并聯(lián)設置，并連通于第一真空通道的真空泵，第二真空通道用于在斷電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓，第一真空通道和第二真空通道通過閥體組件自動切換，當設備斷電時，通過閥體組件的自動切換使第一真空通道斷開，使第二真空通道形成真空通路，對晶圓繼續(xù)進行吸附，通過與控制器連接的閥體組件實現(xiàn)第一真空通道和第二真空通道的自動切換，以保證晶圓在設備通電和斷電的情況下均能夠被穩(wěn)定的吸附，不會發(fā)生掉落的情況。

19、采用上述方式設置的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，相較于上述背景技術的設計而言，可以不利用ups電源就可以保證在設備斷電時對晶圓的不間斷的吸附，可以減小設備的成本和占用空間。

技術特征：

1.一種晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述閥體組件(4)包括：

3.根據權利要求2所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述真空泵(21)的一端通過真空管道與所述吸盤(1)連通，所述真空泵(21)的另一端與電源連接，所述第一電磁閥(41)設于所述真空管道，所述第二真空通道(3)包括真空發(fā)生器(31)，所述真空發(fā)生器(31)設于所述真空管道，所述真空發(fā)生器(31)設于所述真空泵(21)與所述第一電磁閥(41)之間，所述真空電磁閥(42)并聯(lián)于所述真空管道上，所述真空電磁閥(42)的一端與所述真空發(fā)生器(31)連接，所述真空電磁閥(42)的另一端連接于控氣電磁閥(7)與所述吸盤(1)之間的所述真空管道上。

4.根據權利要求3所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述真空管道上設有壓力表(5)，所述壓力表(5)靠近所述吸盤(1)設置。

5.根據權利要求4所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述真空管道與氣源(6)連接，所述氣源(6)為所述真空管道提供正壓氣體。

6.根據權利要求5所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述真空管道上還設有所述控氣電磁閥(7)、氣源三聯(lián)件(8)和供氣電磁閥(9)，所述氣源三聯(lián)件(8)的輸入端與所述氣源(6)的輸出端連接，所述氣源三聯(lián)件(8)的輸出端與所述供氣電磁閥(9)的輸入端連接，所述供氣電磁閥(9)的輸出端與所述控氣電磁閥(7)的輸入端連接，所述控氣電磁閥(7)的輸出端與壓力表(5)連接，所述氣源(6)和所述氣源三聯(lián)件(8)均與所述控制器連接。

7.根據權利要求6所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述氣源三聯(lián)件(8)包括過濾器、調壓閥和微霧處理器，所述過濾器用于對所述氣源(6)輸出的氣體進行除塵，所述調壓閥用于調整所述氣源(6)輸出氣體的壓力，所述微霧處理器用于對所述氣源(6)輸出的氣體進行除油。

8.根據權利要求7所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述壓力表(5)內部具有彈簧膜片，所述彈簧膜片用于感應壓力并將感應到的壓力轉換為模擬電流輸出至所述控制器。

9.根據權利要求8所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述供氣電磁閥(9)、所述第一電磁閥(41)和所述真空電磁閥(42)均為常開電磁閥，所述控氣電磁閥(7)為常閉電磁閥，所述控氣電磁閥(7)、所述供氣電磁閥(9)、所述第一電磁閥(41)和所述真空電磁閥(42)均與所述控制器連接。

10.根據權利要求3-9任意一項所述的晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，其特征在于，所述吸盤(1)上設置有用于連接所述真空管道的真空接頭。

技術總結
本技術公開了一種晶圓磨削時真空斷電自動切換裝置，涉及晶圓磨削技術領域，為了解決現(xiàn)有設備成本高且占用空間大的問題，吸盤用于吸附晶圓，第一真空通道與吸盤連通，第一真空通道用于在通電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓，當設備正常上電時，第一真空通道形成真空通路，對晶圓進行吸附；第二真空通道與第一真空通道并聯(lián)設置，并連通于第一真空通道的真空泵，第二真空通道用于在斷電狀態(tài)下形成負壓以吸附晶圓，第一真空通道和第二真空通道通過閥體組件自動切換，當設備斷電時，通過閥體組件的自動切換使第一真空通道斷開，使第二真空通道形成真空通路，對晶圓繼續(xù)進行吸附，以使吸盤在通電和斷電狀態(tài)下均能夠穩(wěn)定的吸附晶圓。

技術研發(fā)人員：杜夢嘉,武永超,劉海明,史亞娜,王琦
受保護的技術使用者：光力瑞弘電子科技有限公司
技術研發(fā)日：20240428
技術公布日：2025/1/9