本技術(shù)涉及真空鍍膜，特別是涉及一種真空鍍膜裝置。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。真空鍍膜裝置包括腔體、蓋板機(jī)構(gòu)以及拖車，拖車與蓋板機(jī)構(gòu)相連。其中，拖車用于安裝輔助真空鍍膜的輔助機(jī)構(gòu)，如電柜及制冷機(jī)等。

2、蓋板機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)拖車相對(duì)于腔體滑動(dòng)，以關(guān)閉或開啟腔體的開口。當(dāng)蓋板機(jī)構(gòu)關(guān)閉腔體的開口時(shí)，蓋板機(jī)構(gòu)與腔體之間共同形成用于真空鍍膜的真空腔；當(dāng)蓋板機(jī)構(gòu)開啟腔體的開口時(shí)，便于取放鍍件。

3、傳統(tǒng)的真空鍍膜裝置，拖車與蓋板機(jī)構(gòu)固定連接。當(dāng)腔體與蓋板機(jī)構(gòu)存在安裝誤差時(shí)，若要保證蓋板機(jī)構(gòu)密封開口，蓋板機(jī)構(gòu)需要與腔體保持相同的傾斜角度，而此時(shí)拖車會(huì)限制蓋板機(jī)構(gòu)的傾斜；而當(dāng)拖車與蓋板機(jī)構(gòu)一起傾斜時(shí)，拖車遠(yuǎn)離蓋板機(jī)構(gòu)的一側(cè)將會(huì)翹起，影響結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對(duì)上述問題，提供一種能夠改善上述問題的真空鍍膜裝置。

2、一種真空鍍膜裝置，包括：

3、腔體，在第一方向上的一端形成開口；

4、均在第二方向上支撐設(shè)于支撐面上且相互連接的蓋板機(jī)構(gòu)及拖車，所述蓋板機(jī)構(gòu)在所述第一方向上設(shè)于所述腔體具有所述開口的一端，所述拖車在所述第一方向上設(shè)于所述蓋板機(jī)構(gòu)背離所述腔體的一端；所述蓋板機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)所述拖車沿所述第一方向在所述支撐面上運(yùn)動(dòng)，以啟閉所述開口；當(dāng)所述蓋板機(jī)構(gòu)關(guān)閉所述開口時(shí)，所述蓋板機(jī)構(gòu)與所述腔體共同形成真空腔；

5、所述拖車與所述蓋板機(jī)構(gòu)鉸接，以能夠繞沿第三方向延伸的第一軸線相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向兩兩相交。

6、上述真空鍍膜裝置，由于拖車與蓋板機(jī)構(gòu)鉸接，當(dāng)腔體與蓋板機(jī)構(gòu)存在安裝誤差時(shí)，由于蓋板機(jī)構(gòu)需要密封開口，則蓋板機(jī)構(gòu)與腔體需要保持相同的傾斜角度，此時(shí)拖車能夠與蓋板機(jī)構(gòu)之間產(chǎn)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，因而不會(huì)限制蓋板機(jī)構(gòu)的傾斜，保證了蓋板機(jī)構(gòu)與腔體的密封效果，從而保證真空腔的密封性。同時(shí)，當(dāng)蓋板機(jī)構(gòu)與腔體傾斜角度相同時(shí)，由于拖車與蓋板機(jī)構(gòu)之間能夠發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，因此拖車遠(yuǎn)離蓋板機(jī)構(gòu)的一端不會(huì)翹起，保證了安裝于拖車上各結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空鍍膜裝置包括銷軸及關(guān)節(jié)軸承，所述銷軸安裝于所述蓋板機(jī)構(gòu)與所述拖車中一者上，所述蓋板機(jī)構(gòu)與所述拖車中另一者通過所述關(guān)節(jié)軸承與所述銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空鍍膜裝置還包括彈性機(jī)構(gòu)，所述彈性機(jī)構(gòu)用于緩沖所述蓋板機(jī)構(gòu)與所述拖車之間的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空鍍膜裝置還包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述蓋板機(jī)構(gòu)通過所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與所述腔體滑動(dòng)配合，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用于在所述第一方向上導(dǎo)向所述蓋板機(jī)構(gòu)并在所述第二方向上支撐所述蓋板機(jī)構(gòu)。

10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述腔體與所述蓋板機(jī)構(gòu)中一者上的導(dǎo)向軸，及設(shè)于另一者上的滾輪；

11、所述導(dǎo)向軸沿所述第一方向延伸，所述滾輪與所述導(dǎo)向軸配合，以用于在所述第一方向上導(dǎo)向所述蓋板機(jī)構(gòu)。

12、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述滾輪的外周面內(nèi)凹形成周向槽，所述導(dǎo)向軸設(shè)于所述周向槽內(nèi)；所述滾輪在軸向上與其連接的結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，所述滾輪的軸向與所述第三方向平行；和/或

13、所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括擺動(dòng)件，所述擺動(dòng)件與所述腔體或所述蓋板機(jī)構(gòu)相連，所述滾輪安裝于所述擺動(dòng)件上，所述擺動(dòng)件能夠繞沿所述第三方向延伸的第二軸線相對(duì)于與其連接的結(jié)構(gòu)擺動(dòng)。

14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括第一調(diào)節(jié)組件，所述第一調(diào)節(jié)組件包括第一安裝件及第一調(diào)節(jié)件，所述第一安裝件與所述腔體或所述蓋板機(jī)構(gòu)相連，所述滾輪安裝于所述第一安裝件上，所述第一調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述第一安裝件相對(duì)于所述腔體或所述蓋板機(jī)構(gòu)在所述第二方向上的位置。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空鍍膜裝置還包括主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)及從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)，所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)與所述蓋板機(jī)構(gòu)相連，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)與所述拖車相連；

16、所述真空鍍膜裝置還包括設(shè)于所述支撐面上的軌道，所述軌道沿所述第一方向延伸，以用于沿所述第一方向?qū)蛩鲋鲃?dòng)輪機(jī)構(gòu)及所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)；所述蓋板機(jī)構(gòu)及所述拖車通過所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)、所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)及所述軌道支撐于所述支撐面上。

17、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)軸、主動(dòng)輪及第一擋邊，所述主動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述蓋板機(jī)構(gòu)上，所述主動(dòng)輪套裝于所述主動(dòng)軸外并與所述軌道配合，所述第一擋邊與所述主動(dòng)輪相連；

18、所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)還包括第二調(diào)節(jié)組件，所述第二調(diào)節(jié)組件安裝于所述主動(dòng)軸上，以用于調(diào)節(jié)所述主動(dòng)輪在所述主動(dòng)軸的軸向上的位置，使得所述第一擋邊與所述軌道之間的間隙處于第一預(yù)設(shè)范圍內(nèi)。

19、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二調(diào)節(jié)組件包括第二安裝件及第二調(diào)節(jié)件，所述第二安裝件安裝于所述主動(dòng)軸上，所述第二調(diào)節(jié)件安裝于所述第二安裝件上，以用于調(diào)節(jié)所述主動(dòng)輪在所述主動(dòng)軸的軸向上的位置。

20、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)包括從動(dòng)軸、偏心套、從動(dòng)輪及第二擋邊，所述從動(dòng)軸與所述拖車相連，所述偏心套套設(shè)于所述從動(dòng)軸外，所述從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地套接于所述偏心套外并與所述軌道配合，所述第二擋邊與所述從動(dòng)輪相連；所述從動(dòng)軸與所述拖車在周向上的位置可調(diào)，以調(diào)節(jié)所述偏心套的位置，從而調(diào)節(jié)所述從動(dòng)輪在所述第二方向上的位置；

21、所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)還包括第三調(diào)節(jié)組件，所述第三調(diào)節(jié)組件安裝于所述從動(dòng)軸上，以用于調(diào)節(jié)所述從動(dòng)輪在所述從動(dòng)軸的軸向上的位置，使得所述第二擋邊與所述軌道之間的間隙處于第二預(yù)設(shè)范圍內(nèi)。

22、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)還包括限位組件，所述限位組件與所述拖車相連，所述從動(dòng)軸通過所述限位組件安裝于所述拖車上，所述限位組件用于在所述從動(dòng)軸的軸向、徑向及周向限位所述從動(dòng)軸。

23、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第三調(diào)節(jié)組件包括第三安裝件及第三調(diào)節(jié)件，所述第三安裝件安裝于所述從動(dòng)軸上，所述第三調(diào)節(jié)件安裝于所述第三安裝件，以用于調(diào)節(jié)所述偏心套在所述從動(dòng)軸的軸向上的位置，從而調(diào)節(jié)所述從動(dòng)輪在所述從動(dòng)軸的軸向上的位置。

技術(shù)特征：

1.一種真空鍍膜裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述真空鍍膜裝置包括銷軸(40)及關(guān)節(jié)軸承(51)，所述銷軸(40)安裝于所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)與所述拖車(30)中一者上，所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)與所述拖車(30)中另一者通過所述關(guān)節(jié)軸承(51)與所述銷軸(40)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述真空鍍膜裝置還包括彈性機(jī)構(gòu)，所述彈性機(jī)構(gòu)用于緩沖所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)與所述拖車(30)之間的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述真空鍍膜裝置還包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(60)，所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)通過所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(60)與所述腔體(10)滑動(dòng)配合，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(60)用于在所述第一方向上導(dǎo)向所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)并在所述第二方向上支撐所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(60)包括設(shè)于所述腔體(10)與所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)中一者上的導(dǎo)向軸(61)，及設(shè)于另一者上的滾輪(62)；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述滾輪(62)的外周面內(nèi)凹形成周向槽(621)，所述導(dǎo)向軸(61)設(shè)于所述周向槽(621)內(nèi)；所述滾輪(62)在軸向上與其連接的結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，所述滾輪(62)的軸向與所述第三方向平行；和/或

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(60)還包括第一調(diào)節(jié)組件(65)，所述第一調(diào)節(jié)組件(65)包括第一安裝件(651)及第一調(diào)節(jié)件(652)，所述第一安裝件(651)與所述腔體(10)或所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)相連，所述滾輪(62)安裝于所述第一安裝件(651)上，所述第一調(diào)節(jié)件(652)用于調(diào)節(jié)所述第一安裝件(651)相對(duì)于所述腔體(10)或所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)在所述第二方向上的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述真空鍍膜裝置還包括主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(80)及從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(90)，所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(80)與所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)相連，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(90)與所述拖車(30)相連；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述主動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(80)包括主動(dòng)軸(81)、主動(dòng)輪(82)及第一擋邊(83)，所述主動(dòng)軸(81)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述蓋板機(jī)構(gòu)(20)上，所述主動(dòng)輪(82)套裝于所述主動(dòng)軸(81)外并與所述軌道(120)配合，所述第一擋邊(83)與所述主動(dòng)輪(82)相連；

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第二調(diào)節(jié)組件(84)包括第二安裝件(841)及第二調(diào)節(jié)件(842)，所述第二安裝件(841)安裝于所述主動(dòng)軸(81)上，所述第二調(diào)節(jié)件(842)安裝于所述第二安裝件(841)上，以用于調(diào)節(jié)所述主動(dòng)輪(82)在所述主動(dòng)軸(81)的軸向上的位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(90)包括從動(dòng)軸(91)、偏心套(92)、從動(dòng)輪(93)及第二擋邊(94)，所述從動(dòng)軸(91)與所述拖車(30)相連，所述偏心套(92)套設(shè)于所述從動(dòng)軸(91)外，所述從動(dòng)輪(93)可轉(zhuǎn)動(dòng)地套接于所述偏心套(92)外并與所述軌道(120)配合，所述第二擋邊(94)與所述從動(dòng)輪(93)相連；所述從動(dòng)軸(91)與所述拖車(30)在周向上的位置可調(diào)，以調(diào)節(jié)所述偏心套(92)的位置，從而調(diào)節(jié)所述從動(dòng)輪(93)在所述第二方向上的位置；

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述從動(dòng)輪機(jī)構(gòu)(90)還包括限位組件(96)，所述限位組件(96)與所述拖車(30)相連，所述從動(dòng)軸(91)通過所述限位組件(96)安裝于所述拖車(30)上，所述限位組件(96)用于在所述從動(dòng)軸(91)的軸向、徑向及周向限位所述從動(dòng)軸(91)。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第三調(diào)節(jié)組件(95)包括第三安裝件(951)及第三調(diào)節(jié)件(952)，所述第三安裝件(951)安裝于所述從動(dòng)軸(91)上，所述第三調(diào)節(jié)件(952)安裝于所述第三安裝件(951)，以用于調(diào)節(jié)所述偏心套(92)在所述從動(dòng)軸(91)的軸向上的位置，從而調(diào)節(jié)所述從動(dòng)輪(93)在所述從動(dòng)軸(91)的軸向上的位置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種真空鍍膜裝置，包括：腔體，一端形成開口；均在第二方向上支撐設(shè)于支撐面上且相互連接的蓋板機(jī)構(gòu)及拖車，蓋板機(jī)構(gòu)在第一方向上設(shè)于腔體具有開口的一端，拖車在第一方向上設(shè)于蓋板機(jī)構(gòu)背離腔體的一端；蓋板機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)拖車沿第一方向在支撐面上運(yùn)動(dòng)，以啟閉開口；當(dāng)蓋板機(jī)構(gòu)關(guān)閉開口時(shí)，蓋板機(jī)構(gòu)與腔體共同形成真空腔；拖車與蓋板機(jī)構(gòu)鉸接，以能夠繞沿第三方向延伸的第一軸線相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)腔體與蓋板機(jī)構(gòu)存在安裝誤差時(shí)，由于蓋板機(jī)構(gòu)需要密封開口，則蓋板機(jī)構(gòu)與腔體需要保持相同的傾斜角度，此時(shí)拖車能夠與蓋板機(jī)構(gòu)之間產(chǎn)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，因而不會(huì)限制蓋板機(jī)構(gòu)的傾斜，保證了蓋板機(jī)構(gòu)與腔體的密封效果，從而保證真空腔的密封性。

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受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240204
技術(shù)公布日：2025/1/6