本發(fā)明是一種表面加工用拋光液循環(huán)設(shè)備，屬于實驗分析。

背景技術(shù)：

1、為了分析光學(xué)元件等半導(dǎo)體的失效現(xiàn)象，一般在進行失效分析時必須解決半導(dǎo)體本身的多層結(jié)構(gòu)的可觀察性和可測試性，一般采用拋光去層處理用于輔助失效分析作業(yè)，一般采用拋光設(shè)備和拋光液配合使用來進行去層作業(yè)，目前拋光設(shè)備在使用時，一般采用泵送方式將拋光液輸送到拋光位置，但是泵送方式使拋光液輸送速度較快，致使拋光液與拋光位置之間易出現(xiàn)較大的撞擊力度，導(dǎo)致拋光液發(fā)生隨意飛濺等現(xiàn)象概率較大，并飛濺的拋光液易污染工作環(huán)境，且造成拋光液浪費，傳統(tǒng)采用外罩來對飛濺的拋光液阻擋，這種方式雖然阻礙飛濺的拋光液，但是飛濺拋光液易附著在外罩內(nèi)壁上，致使飛濺拋光液無法進行拋光作業(yè)，仍造成拋光液浪費，會影響拋光效果，且拋光液利用率差。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本發(fā)明提供了一種表面加工用拋光液循環(huán)設(shè)備。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種表面加工用拋光液循環(huán)設(shè)備，包括實驗儀器主體，所述實驗儀器主體上端設(shè)置平臺，所述平臺上端面中部位置向下凹陷形成功能槽，所述功能槽內(nèi)壁設(shè)置上液件，所述平臺右端安裝u形架，且u形架呈豎向布置，所述u形架上端設(shè)置上液罐，且上液罐位于平臺上側(cè)，所述上液罐下部左端連通安裝上液管，且上液管另一端與上液件連通布置，所述u形架內(nèi)部頂端設(shè)置功能筒，所述功能筒上端中部連通安裝出液管，且出液管上裝配有第一單向閥，所述出液管另一端與上液罐下端連通布置，所述功能筒內(nèi)滑動連接活塞，所述功能筒后端連通安裝吸液管，且吸液管與功能筒連通位置位于活塞上側(cè)；

3、所述吸液管另一端連通設(shè)置儲液件，且吸液管上裝配有第二單向閥，所述儲液件安裝在實驗儀器主體右端，且儲液件位于u形架后側(cè)，所述功能筒后端連通設(shè)置回收件，且回收件與功能筒連通位置位于活塞下側(cè)，所述回收件另一端與儲液件連通布置，所述實驗儀器主體右端安裝回液件，且回液件位于u形架前側(cè)，所述回液件與功能槽連通布置，所述回液件另一端與功能筒前端連通布置，且回液件與功能筒連通位置位于活塞下側(cè)，所述活塞下端中間位置安裝直桿，且直桿延伸出功能筒下側(cè)，所述直桿下端安裝驅(qū)動件，所述u形架下端設(shè)置升降設(shè)備，且升降設(shè)備的活動部與驅(qū)動件下端連接。

4、進一步地，所述回液件包括回收箱，所述回收箱安裝在實驗儀器主體右端，且回收箱位于u形架前側(cè)，所述回收箱右部上端連通安裝回收管，所述回收管另一端延伸至功能槽內(nèi)部底端上，所述回收箱內(nèi)部安裝濾網(wǎng)，且濾網(wǎng)呈左低右高傾斜布置，所述回收箱右端連通設(shè)置回液管，且回液管與回收箱連通位置位于濾網(wǎng)下側(cè)，所述回液管另一端與功能筒連通布置，且回液管與功能筒連通位置位于活塞下側(cè)，所述回液管上裝配有第三單向閥。

5、進一步地，所述儲液件包括放置箱，所述放置箱安裝在實驗儀器主體右端，且放置箱位于u形架后側(cè)，所述放置箱內(nèi)部底端轉(zhuǎn)動連接定位筒，所述定位筒內(nèi)部底端安裝彈性件，所述彈性件上端設(shè)置頂板，且頂板滑動連接在定位筒內(nèi)，所述頂板上端貼合拋光液桶，且拋光液桶延伸出定位筒上側(cè)；

6、所述拋光液桶上端螺紋連接端蓋，且拋光液桶延伸入端蓋內(nèi)，所述吸液管另一端穿過放置箱以及端蓋并延伸入拋光液桶內(nèi)，所述吸液管另一端連通安裝輔助管，且輔助管位于拋光液桶內(nèi)。

7、進一步地，所述回收件包括功能管，所述功能管設(shè)置在放置箱上端，且功能管位于平臺下側(cè)，所述拋光液桶內(nèi)壁安裝錐形筒，且錐形筒呈上窄下寬布置，所述錐形筒位于輔助管外側(cè)，所述功能管下端穿過放置箱以及端蓋并延伸入拋光液桶內(nèi)，且功能管位于吸液管外側(cè)，所述功能管下端開口部延伸入錐形筒外端與拋光液桶內(nèi)壁之間；

8、所述錐形筒外端面向內(nèi)凹陷形成多個通槽，且多個通槽均貼合在拋光液桶內(nèi)壁上，所述功能筒下部后端連通設(shè)置連接管，且連接管與功能筒連通位置位于活塞下側(cè)，所述連接管上裝配有第四單向閥，所述連接管另一端與功能管連通布置，且連接管與功能管連通位置位于放置箱上側(cè)。

9、進一步地，所述驅(qū)動件包括l形板，所述l形板的橫向部上端與直桿下端連接，且l形板的橫向部下端與升降設(shè)備的活動部連接，所述l形板的豎向部左端與u形架中位于上側(cè)的橫向部右端滑動連接，且l形板的豎向部位于功能筒右側(cè)；

10、所述l形板的豎向部前端安裝齒條，所述齒條前端嚙合第一齒輪，所述第一齒輪左端安裝轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)軸位于u形架前側(cè)，所述轉(zhuǎn)軸通過軸承座轉(zhuǎn)動連接在平臺上端，所述轉(zhuǎn)軸左端設(shè)置第二齒輪，所述第二齒輪下端嚙合環(huán)形齒輪，且環(huán)形齒輪處在平臺上側(cè)。

11、進一步地，所述上液件包括環(huán)形筒，所述環(huán)形筒轉(zhuǎn)動連接在功能槽內(nèi)壁上，且環(huán)形筒延伸出功能槽上側(cè)，所述環(huán)形筒外端與環(huán)形齒輪內(nèi)壁連接，所述環(huán)形筒內(nèi)壁設(shè)置環(huán)形管，所述環(huán)形管上端連通安裝上液管，所述上液管另一端與上液罐連通布置，所述環(huán)形管內(nèi)壁等距連通設(shè)置多個柔性管，多個所述柔性管另一端均連通安裝滴落頭。

12、進一步地，所述功能筒下端螺紋連接堵頭，且堵頭滑動連接在直桿外端上，所述堵頭內(nèi)壁面向外凹陷形成密封槽，所述密封槽上裝配密封件，且密封件位于直桿外端上。

13、本發(fā)明的有益效果：

14、1、通過第一電動推桿、l形板以及直桿，使活塞沿著功能筒上下循環(huán)移動，進而在功能筒內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，并在負(fù)壓作用下使拋光液桶內(nèi)的混合拋光液連續(xù)向上液罐內(nèi)進行輸送，而上液罐內(nèi)臨時存儲的混合拋光液會沿著上液管、環(huán)形管、多個柔性管以及多個滴落頭向拋光位置進行滴落上液，實現(xiàn)對拋光液進行滴落上液作業(yè)，有效降低拋光液因飛濺等因素而產(chǎn)生浪費概率，有效保證拋光效果，并有效保證拋光液利用率。

15、2、利用l形板、齒條、第一齒輪、轉(zhuǎn)軸以及第二齒輪，使環(huán)形齒輪在一定范圍進行循環(huán)運動，進而使環(huán)形筒在相應(yīng)范圍內(nèi)進行循環(huán)運動，進而使環(huán)形管、多個滴落頭以及多個柔性管在一定范圍進行循環(huán)運動，實現(xiàn)對拋光位置進行扇形運動式滴落上液作業(yè)，有效減少拋光液因滴落等因素而使拋光位置具有未上液局域的現(xiàn)象發(fā)生概率，有效保證拋光效果，并達到循環(huán)運動與上液運動之間產(chǎn)生聯(lián)動，有效降低設(shè)備成本。

16、3、通過功能槽、回收管、回收箱、濾網(wǎng)、活塞、回液管以及功能筒等部件，對回收的拋光液進行凈化回收，并利用錐形筒以及多個通槽，凈化回收的拋光液使沿著拋光液桶內(nèi)壁向下流動，同時通過功能管將混合的氣體及時排出時，實現(xiàn)對拋光液進行回收再利用，從而使拋光液進行循環(huán)使用，有效避免回收的拋光液與拋光液桶內(nèi)的拋光液之間發(fā)生撞擊現(xiàn)象，有效減少因回收等作業(yè)而使拋光液桶內(nèi)的拋光液出現(xiàn)氣泡概率，有效保證拋光效果。

17、4、通過多個第二電動推桿、多個弧形框架、多個t形柱、多個柔性管以及多個支臂，一方面使多個滴落頭向內(nèi)和向外循環(huán)運動，實現(xiàn)對拋光位置進行擴散運動和扇形運動結(jié)合式滴落上液作業(yè)，進一步有效減少拋光液因滴落等因素而使拋光位置具有未上液局域的現(xiàn)象發(fā)生概率，有效保證拋光效果，另一方面對運動的滴落頭進行限制，有效減少因運動作業(yè)等因素使滴落頭出現(xiàn)位置變動等現(xiàn)象發(fā)生概率，有效降低滴落的拋光液未滴落到拋光位置上的概率，有效保證拋光效果，并有效保證拋光液利用率。