本實用新型涉及膜層制備領(lǐng)域，特別涉及一種基板夾具和濺射機。

背景技術(shù)：

濺射成膜是一種較為常見的金屬成膜工藝，在實際應(yīng)用中，通?？梢岳脼R射機來進行濺射成膜，濺射機包括一個腔體，腔體內(nèi)一般包括腔體基座、基板夾具、陽極板和陰極靶材等，其中，在枚葉型或X型濺射機中，陽極板和陰極靶材相對設(shè)置，基板夾具固定于腔體基座上，可以將基板夾持固定于陽極板上方。

在濺射成膜過程中，濺射機腔體中的粒子(例如氬離子)可以在陽極板和陰極靶材間的電場加速下轟擊陰極靶材，從而使陰極靶材表面的原子或分子獲得足夠大的能量而最終逸出陰極靶材，形成等離子體，該等離子體可以沉積在上述基板上，從而在基板上形成膜層。在實際應(yīng)用中，基板夾具通常是絕緣的，這是因為基板夾具需要分別與腔體基座和基板連接，在腔體基座與陽極板間的絕緣措施失效導致腔體基座帶電時，絕緣的基板夾具可以防止基板與帶電的腔體基座導通，從而防止基板表面異常放電燒毀基板表面的膜層。

然而，隨著濺射成膜的進行，基板夾具上也會沉積膜層，這會使得基板夾具的導電性增強，在基板夾具導電性增強到一定程度時，基板與帶電的腔體基座就會導通，從而導致基板表面異常放電而燒毀基板表面的膜層。因此，目前亟需一種能夠在濺射成膜過程中有效絕緣的基板夾具。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中基板夾具無法在濺射成膜過程中有效絕緣的問題，本實用新型實施例提供了一種基板夾具和濺射機。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供了一種基板夾具，所述基板夾具包括：夾持部和固定部；

所述固定部為柱狀結(jié)構(gòu)，所述固定部的兩端分別與所述夾持部和濺射機的腔體基座固定連接，所述夾持部用于夾持基板；

所述固定部的側(cè)面上設(shè)置有至少一個凹槽，每個所述凹槽的延伸方向呈環(huán)繞所述固定部的環(huán)形。

可選的，每個所述凹槽的側(cè)面與底面所成的角小于或等于90度。

可選的，所述凹槽為矩形槽、梯形槽或T型槽。

可選的，所述固定部的側(cè)面上設(shè)置有多個所述凹槽，所述多個凹槽沿所述固定部的長度方向陣列排布。

可選的，所述夾持部為由第一柱狀體和第二柱狀體組成的彎折結(jié)構(gòu)，所述第一柱狀體的一端設(shè)置有夾持結(jié)構(gòu)，所述第一柱狀體的另一端與所述第二柱狀體的一端連接，所述第二柱狀體的另一端與所述固定部的一端連接。

可選的，所述第一柱狀體的側(cè)面設(shè)置有至少一個通槽，每個所述通槽的延伸方向平行于所述第一柱狀體的長度方向。

可選的，所述基板夾具的材質(zhì)為絕緣抗高溫材質(zhì)。

可選的，所述基板夾具的材質(zhì)為聚苯并咪唑材質(zhì)、聚醚醚酮材質(zhì)或聚酰亞胺材質(zhì)。

可選的，所述固定部通過螺栓固定于所述腔體基座上。

第二方面，提供了一種濺射機，所述濺射機包括腔體，所述腔體內(nèi)設(shè)置有陽極板、陰極靶材、腔體基座和如上述第一方面所述的基板夾具；所述陽極板和所述陰極靶材相對設(shè)置；所述基板夾具的固定部與所述腔體基座連接，所述基板夾具的夾持部位于所述陽極板上方。

本實用新型實施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：

通過在基板夾具的固定部的側(cè)面上設(shè)置至少一個凹槽，且每個凹槽的延伸方向均呈環(huán)繞該固定部的環(huán)形，使得在濺射成膜的過程中，雖然基板夾具固定部的凹槽之間的部分可能會因為膜層沉積而導電性增強，但是由于凹槽內(nèi)難以沉積膜層，因此，凹槽兩側(cè)的固定部無法導通，從而使得基板夾具無法導通腔體基座和基板，保證了基板夾具的絕緣可靠性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1-1是本實用新型實施例提供的一種基板夾具應(yīng)用場景的示意圖。

圖1-2是一種傳統(tǒng)的基板夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型實施例提供的一種基板夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型實施例提供的一種基板夾具的部分放大示意圖。

圖4是本實用新型實施例提供的一種凹槽的示意圖。

圖5是本實用新型實施例提供的另一種凹槽的示意圖。

圖6是本實用新型實施例提供的一種第一柱狀體上的通槽的示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型實施方式作進一步地詳細描述。

圖1-1為一種基板夾具的應(yīng)用場景的俯視圖，如圖1-1所示，基板夾具Y設(shè)置于濺射機的腔體內(nèi)，其中，基板夾具Y的一端可以與濺射機腔體內(nèi)的腔體基座M相連，另一端可以位于濺射機腔體內(nèi)的陽極板(圖1-1中未示出)上方，用于將基板N夾持于陽極板上方。需要說明的是，雖然圖1-1中繪出了多個基板夾具，但是實際應(yīng)用中，濺射機中可以僅設(shè)置1個基板夾具，或者，可以僅在基板N的一側(cè)設(shè)置基板夾具，本實用新型對此不做具體限定。

在實際應(yīng)用中，濺射機通常會通過一定的絕緣措施來保證腔體基座M和陽極板之間相互絕緣，然而，在實際生產(chǎn)過程中，腔體基座M與陽極板之間的絕緣措施很可能會出現(xiàn)失效的狀況，此時腔體基座M會與陽極板導通從而帶電。在這種情況下，如果基板夾具Y不能保證絕緣就會使得基板N通過基板夾具Y與帶電的腔體基座M導通，會導致基板N表面異常放電燒毀基板N表面沉積的膜層。為了避免上述狀況的發(fā)生，在實際應(yīng)用中需要保證基板夾具Y的絕緣可靠性。

圖1-2是一種傳統(tǒng)的基板夾具的結(jié)構(gòu)示意圖，傳統(tǒng)的基板夾具Y由絕緣材料制成，從而能夠在一定程度上保證基板夾具Y的絕緣。然而，隨著濺射機腔體內(nèi)濺射成膜的進行，設(shè)置于濺射機腔體內(nèi)的基板夾具Y上也會沉積膜層，這會使得基板夾具Y的導電性增強，在基板夾具Y導電性增強到一定程度時，基板夾具Y就會出現(xiàn)絕緣失效的狀況。此時，基板N與帶電的腔體基座M就會通過基板夾具Y而導通，從而導致基板N表面異常放電而燒毀基板N表面的膜層。

為了解決上述問題，本實用新型實施例提供了一種基板夾具，如圖2所示，該基板夾具可以包括：夾持部101和固定部102。

固定部102為柱狀結(jié)構(gòu)，固定部102的兩端分別與夾持部101和濺射機的腔體基座(圖2中未示出)固定連接，在本實用新型的一個實施例中，固定部102可以設(shè)置有螺紋通孔T，固定部102可以通過穿過該螺紋通孔T的螺栓固定于腔體基座上。固定部102的側(cè)面上設(shè)置有至少一個凹槽1021，每個凹槽1021的延伸方向呈環(huán)繞該固定部102的環(huán)形。夾持部101可以用于夾持基板。

需要說明的是，夾持部101可以位于濺射機腔體內(nèi)的陽極板上方，并將基板夾持于該陽極板上方。在本實用新型的一個實施例中，該基板與陽極板之間可以設(shè)置有石英板，以避免基板與陽極板直接接觸使基板帶電。

還需要說明的是，如圖2所示，每個凹槽1021的延伸方向呈封閉的環(huán)繞該固定部102的環(huán)形，也即是每個凹槽1021均環(huán)繞該固定部102一周。

綜上所述，本實用新型實施例提供的基板夾具，通過在基板夾具的固定部的側(cè)面上設(shè)置至少一個凹槽，且每個凹槽的延伸方向均呈環(huán)繞該固定部的環(huán)形，使得在濺射成膜的過程中，雖然基板夾具固定部的凹槽之間的部分可能會因為膜層沉積而導電性增強，但是由于凹槽內(nèi)難以沉積膜層，因此，凹槽兩側(cè)的固定部無法導通，從而使得基板夾具無法導通腔體基座和基板，保證了基板夾具的絕緣可靠性。

可選的，為了進一步保證基板夾具的絕緣可靠性，如圖2所示，固定部102的側(cè)面上可以設(shè)置有多個凹槽1021，該多個凹槽1021可以沿固定部102的長度方向(也即是圖2所示的x方向)陣列排布。需要說明的是，該多個凹槽1021可以沿固定部102的長度方向等距排列，也可以不等距排列，該多個凹槽1021的類型、尺寸可以相同，也可以不相同，本實用新型實施例對此均不作具體限定。

圖3為圖2中Q區(qū)域的放大示意圖，請參考圖2和圖3，為了保證凹槽1021中難以沉積膜層，繼而保證基板夾具的絕緣可靠性，凹槽1021的側(cè)面與底面所成的角a和角b可以均設(shè)置為小于或等于90度。需要說明的是，在凹槽1021的側(cè)面或底面為曲面時，上述凹槽1021的側(cè)面與底面所成的角為凹槽1021側(cè)面的切面與底面的切面所成的角。在實際應(yīng)用中，該凹槽1021可以為矩形槽、梯形槽或T型槽，如圖3所示的凹槽1021即為矩形槽。圖4至圖5為本實用新型實施例提供的凹槽的截面圖，如圖4所示的凹槽1021為梯形槽，如圖5所示的凹槽1021為T型槽。當然，在實際應(yīng)用中，除了上述矩形槽、梯形槽、T型槽之外，凹槽1021還可以為其他類型的槽，本實用新型實施例在此就不一一舉例說明了。

請繼續(xù)參考圖2，可選的，在本實用新型的一個實施例中，夾持部101可以為由第一柱狀體1011和第二柱狀體1012組成的彎折結(jié)構(gòu)。其中，第一柱狀體1011的一端c可以設(shè)置有夾持結(jié)構(gòu)，第一柱狀體1011的另一端d與第二柱狀體1012的一端e連接，第二柱狀體1012的另一端f與固定部102的一端連接。需要說明的是，上述夾持結(jié)構(gòu)用于夾持基板N，該夾持結(jié)構(gòu)可以為鉗狀結(jié)構(gòu)等，本實用新型實施例對此不作具體限定。

在實際應(yīng)用中，由于夾持部101需要將基板夾持固定于陽極板上方，因此，在一些情況下，夾持部101可能還會與陽極板直接接觸。因此，若夾持部101的絕緣失效，可能會導致基板與陽極板直接導通，導致異常放電燒毀基板表面的膜層。

為了避免上述狀況，如圖6所示，在本實用新型的一個實施例中，第一柱狀體1011的側(cè)面可以設(shè)置有至少一個通槽g(圖6中僅示出了一個通槽g)，每個通槽g的延伸方向平行于該第一柱狀體1011的長度方向(也即是圖6中的y方向)。這樣，在濺射成膜過程中，由于通槽g內(nèi)難以沉積膜層，因此，第一柱狀體1011中通槽g兩側(cè)的部分無法導通，從而使得第一柱狀體1011無法導通陽極板和基板，進一步保證了基板夾具的絕緣可靠性。

可選的，由于基板夾具設(shè)置于濺射機腔體內(nèi)，而濺射機腔體內(nèi)溫度較高，因此基板夾具可以采用絕緣抗高溫材料制成，如PBI(聚苯并咪唑，polybenzimidazole)材料、PEEK(聚醚醚酮，polyetheretherketone)材料或PI(聚酰亞胺，polyimide)材料等。

本實用新型實施例還提供了一種濺射機，該濺射機包括腔體，該腔體內(nèi)設(shè)置有陽極板、陰極靶材、腔體基座和本實用新型實施例提供的基板夾具；該陽極板和該陰極靶材相對設(shè)置；該基板夾具的固定部與該腔體基座連接，該基板夾具的夾持部位于該陽極板上方。

本實用新型提供的基板夾具可設(shè)置于濺射機中，本實用新型將以圖2所示的基板夾具為例，對本實用新型提供的基板夾具安裝于濺射機內(nèi)的方法做簡要說明，具體地，該安裝方法為：對齊基板夾具固定部的螺紋通孔與濺射機腔體基座上設(shè)置的螺紋孔，將螺栓穿過上述螺紋通孔和螺紋孔并緊固該螺栓，保證緊固后的基板夾具的夾持部位于陽極板上方。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。