本實(shí)用新型涉及光學(xué)加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光中拋光磨料的分級過濾裝置。

背景技術(shù)：

隨著現(xiàn)代光學(xué)(光電)技術(shù)的發(fā)展，對系統(tǒng)中的光學(xué)元件表面及亞表面提出了越來越高的要求，表面質(zhì)量甚至趨于“零缺陷”。特別是強(qiáng)激光裝置運(yùn)行在高能量通量環(huán)境下，對光學(xué)材料有極高的抗激光損傷能力的要求，光學(xué)元器件表面及亞表面的缺陷已成為限制強(qiáng)激光裝置損傷閾值的瓶頸，同時還有可能影響強(qiáng)光的傳輸。

化學(xué)機(jī)械拋光廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件的超精密加工，是目前公認(rèn)的唯一納米級全局平面化技術(shù)。在拋光過程中需要嚴(yán)格控制劃痕及表面缺陷的產(chǎn)生，而拋光過程中的大顆粒，即比磨料平均粒度大很多的顆粒是劃痕和缺陷產(chǎn)生的主要原因，大顆粒的來源通常有：環(huán)境污染、研磨殘留、拋光液初始粒度的不均勻分布、顆粒團(tuán)聚、拋光磨料干燥結(jié)塊等。

為抑制大顆粒的不利影響，通常會采用拋光液出口過濾或回流過濾等手段，回流過濾控制水平較低，對拋光液中已經(jīng)存在的顆粒及團(tuán)聚物沒有效果；而常規(guī)的出口過濾是在拋光液循環(huán)泵上增加一個過濾器，該過濾器尺寸較大，只有一級過濾，過濾水平較低，且拋光液通常需要經(jīng)過長管路運(yùn)輸至拋光盤上，在運(yùn)輸過程中拋光磨料也會產(chǎn)生可見的沉積和團(tuán)聚，不利于缺陷的控制。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種化學(xué)機(jī)械拋光中的分級過濾裝置。

本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：分級過濾裝置，包括固定架、連接板、第一殼體、第二殼體、第一密封圈和第一過濾網(wǎng)，所述連接板與固定架連接，所述第一殼體與連接板連接，所述第一殼體頂部設(shè)置有拋光液流入口，所述第一殼體的內(nèi)腔底部設(shè)置有環(huán)形臺階，所述第一密封圈安裝在所述環(huán)形臺階上，所述第二殼體通過卡扣與第一殼體連接，所述第二殼體內(nèi)腔上部設(shè)置有環(huán)形槽，第一過濾網(wǎng)安裝在環(huán)形槽中，所述第一殼體、第二殼體和第一過濾網(wǎng)構(gòu)成一級過濾裝置。

進(jìn)一步的，所述卡扣相互配合的兩個部件分別安裝在第一殼體和第二殼體上。

進(jìn)一步的，所述第二殼體的內(nèi)徑與所述第一殼體的外徑相匹配。

進(jìn)一步的，還包括第三殼體、第二密封圈和第二過濾網(wǎng)，所述第二殼體內(nèi)腔底部設(shè)置有環(huán)形臺階，所述第二密封圈安裝在所述環(huán)形臺階上，所述第三殼體通過卡扣與第二殼體連接，所述第三殼體內(nèi)腔上部設(shè)置有環(huán)形槽，所述第二過濾網(wǎng)安裝在所述環(huán)形槽中，所述第二殼體、第三殼體和第二過濾網(wǎng)構(gòu)成二級過濾裝置。

進(jìn)一步的，所述卡扣相互配合的兩個部件分別安裝在第二殼體和第三殼體上。

進(jìn)一步的，所述第二殼體的內(nèi)徑與所述第三殼體的外徑相匹配。

進(jìn)一步的，所述固定架上開有一字型槽。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型采用層級設(shè)置，可根據(jù)過濾精度來增加、減少層級，不同層級間使用卡扣連接，便于拆卸和更換，能承受較大液壓而不外溢。對拋光磨料過濾時，可根據(jù)使用需求選擇相應(yīng)等級的過濾網(wǎng)及過濾層級，能有效控制雜質(zhì)及大顆粒的產(chǎn)生，對拋光后的劃痕和缺陷有明顯的改善效果。本實(shí)用新型具有較好通用性，可在單軸機(jī)、二軸機(jī)、環(huán)拋機(jī)等多種設(shè)備上使用，對不同的拋光設(shè)備，可根據(jù)需要調(diào)整固定架的尺寸和結(jié)構(gòu)，安裝在機(jī)床后，可對其空間位置和姿態(tài)進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)加工需求。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。

圖3是本實(shí)用新型的連接板的示意圖。

圖4是本實(shí)用新型的第一殼體的示意圖。

圖5是本實(shí)用新型的第二殼體的示意圖。

圖6是本實(shí)用新型的第三殼體的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1-6所示，本實(shí)用新型的分級過濾裝置包括固定架1、連接板3、第一殼體5、第二殼體7、第一密封圈6和第一過濾網(wǎng)8。所述連接板3通過螺釘2與固定架1連接，連接板3可以調(diào)整其在水平面的位置。第一殼體5通過螺釘2與連接板3連接，第一殼體5頂部設(shè)置有流入口9，拋光液從第一殼體5頂部的流入口9引入。第一殼體5的內(nèi)腔底部設(shè)置有環(huán)形臺階，第一密封圈6安裝在環(huán)形臺階上。第二殼體7通過兩個卡扣12與第一殼體5連接，卡扣12相互配合的兩個部件分別安裝在第一殼體5和第二殼體7上，第二殼體7的內(nèi)徑與第一殼體5的外徑相匹配，當(dāng)鎖緊卡扣12后，第一殼體5與第二殼體7間形成一定壓力作用在第一密封圈6上，第一密封圈6對拋光液起防溢流作用。第二殼體7內(nèi)腔上部設(shè)置有環(huán)形槽，第一過濾網(wǎng)8安裝在環(huán)形槽中。第一殼體5、第二殼體7和第一過濾網(wǎng)8構(gòu)成了拋光液循環(huán)系統(tǒng)的一級(粗)過濾裝置。

為了提高過濾精度，本實(shí)用新型還包括第三殼體10、第二密封圈11和第二過濾網(wǎng)4，第二殼體7內(nèi)腔底部設(shè)置有環(huán)形臺階，第二密封圈11安裝在環(huán)形臺階上。第三殼體10通過兩個卡扣12與第二殼體7連接，卡扣12相互配合的兩個部件分別安裝在第二殼體7和第三殼體10上，第二殼體7的內(nèi)徑與第三殼體10的外徑相匹配，當(dāng)鎖緊卡扣12后，第二殼體7與第三殼體10之間形成一定壓力作用在第二殼體7內(nèi)腔底部的第二密封圈11上，第二密封圈11對拋光液起防溢流作用。第三殼體10內(nèi)腔上部設(shè)置有環(huán)形槽，第二過濾網(wǎng)4安裝在環(huán)形槽中，第二殼體7、第三殼體10和第二過濾網(wǎng)4構(gòu)成了拋光液循環(huán)系統(tǒng)的二級(細(xì))過濾裝置。

上述過濾層級可按照過濾精度需求增加或減少。工作時，固定架1采用螺釘固定到拋光設(shè)備13上，固定架1上開有一字型槽，可以調(diào)節(jié)安裝高度。