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納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法與流程

文檔序號:12714537閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法,其特征在于,包括如下步驟:

a.納米金剛石粉末的預處理:

用質量百分比濃度不低于98%的濃硫酸和質量百分比濃度不低于60%的濃硝酸混合溶液,按照濃硫酸和濃硝酸的體積比為1:1~5:1的比例配制強酸混合液,然后將粒度為1~30nm的納米金剛石粉末加入到強酸混合液中充分混合,并在100~300℃下對金剛石粉末和強酸的混合液加熱處理1-5h,得到粉末,然后在粉末蒸干后,再加入去離子水,然后進行過濾,使得到的粉末直至呈中性后,再干燥箱烘干粉末,得到ND預處理粉末;

b.聚合甘油嫁接的納米金剛石粉末的制備:

取20~90mg在所述步驟a中制備的ND預處理粉末溶入3~10mL環(huán)氧丙醇溶劑中,將得到的懸濁液在不低于室溫下超聲處理1~3h,再在100~200℃下進行磁性攪拌1~10h,得到改性ND-PG凝膠,然后將改性ND-PG凝膠冷卻至不高于室溫后,再用30~100mL甲醇超聲2~8h稀釋改性ND-PG凝膠,并過濾去除多余沉淀,得到改性納米金剛石籽晶分散液;

c.襯底預處理:

將襯底用丙酮、乙醇進行清洗,然后利用勻膠機,將在所述步驟b中制備的改性納米金剛石籽晶分散液以3000~8000r/min的速度在襯底上旋涂3~10次,再使涂覆于襯底上的改性納米金剛石籽晶分散液的液膜干燥固化后,即得到具有改性納米金剛石籽晶表面層的復合襯底,用于在改性納米金剛石籽晶表面層上繼續(xù)生長制備納米金剛石薄膜。

2.根據(jù)權利要求1所述納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法,其特征在于:在所述步驟c中,所述襯底為金剛石材料的異質襯底。

3.根據(jù)權利要求1所述納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法,其特征在于:在所述步驟c中,所述襯底的材料為硅、玻璃或石英。

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