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一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具的制作方法

文檔序號:12550090閱讀:754來源:國知局
一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具的制作方法與工藝

本實用新型涉及一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具,屬于釹鐵硼加工設備技術領域。



背景技術:

釹鐵硼永磁材料以其優(yōu)異的磁性能在工業(yè)化生產過程中獲得了廣泛的應用,但是由于其自身的多相結構以及稀土元素釹(Nd)的電化學活性較高,導致其自身耐腐蝕性能極差。由于腐蝕失效可導致磁路間隙的增加和磁性能的下降,嚴重時甚至可使磁體碎裂,而且表面銹蝕產物的脫落則會危及精密儀器的安全和使用性能,降低產品的穩(wěn)定性和可靠性。釹鐵硼合金的腐蝕己成為限制其在高科技領域中的應用,因此,采取一定的措施來減緩甚至消除其腐蝕己成為刻不容緩的問題。當前釹鐵硼行業(yè)主要采用電鍍金屬鍍層來延緩磁體的腐蝕,增加磁體的使用壽命,但是由于電鍍對環(huán)境的污染較大,因此,開發(fā)環(huán)境友好型的新型涂鍍方式成為當務之急。

隨著技術的發(fā)展和環(huán)保的要求,物理氣相沉積表面處理技術是一種很有前途的替代電鍍用于釹鐵硼防護的技術。物理氣相沉積主要依靠磁控濺射以及真空蒸鍍兩種方式實現(xiàn),但是因為物理氣相沉積鍍膜過程中,濺射或蒸鍍粒子仍然具有一定的方向性,因而無論是磁控濺射還是真空蒸鍍技術,其應用于磁體表面防護產業(yè)化技術的難點是如何實現(xiàn)對磁體表面的均勻涂覆。

傳統(tǒng)工藝在磁體表面物理氣相沉積過程中大都采用夾具對釹鐵硼磁體進行夾持固定后,再進行磁控濺射以及真空蒸鍍。一般使用的夾具包括網籠固定或直接采用兩點懸掛,這兩種固定方式都存在沉積過程中難以均勻涂覆得問題,而且網籠的設計在轉動過程中磁體之間會有相互遮掩,同樣會產生釹鐵硼磁體表面鍍層的涂覆的不均勻。



技術實現(xiàn)要素:

為解決現(xiàn)有技術中存在的問題,本實用新型提供了一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具,具體技術方案如下:

一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具,包括磁體夾具,所述磁體夾具內具有兩組夾具齒輪組,所述夾具齒輪組包括夾具齒輪組大齒輪和與其嚙合的三個夾具齒輪組小齒輪,所述對應的夾具齒輪組小齒輪之間連接有鋼桿,所述鋼桿上設置有多個傾斜設置的掛鉤。

作為上述技術方案的改進,所述鋼桿和掛鉤均采用不銹鋼制成。

作為上述技術方案的改進,所述掛鉤上具有夾持釹鐵硼磁體的掛點,所述掛點數目為三個,所述釹鐵硼磁體上具有四個側面:A、B、C、D,且側面A與側面C相互平行,側面B與側面D相互平行,所述三個掛點與任意兩個平行的側面接觸固定。

作為上述技術方案的改進,所述掛鉤在夾持釹鐵硼磁體后,釹鐵硼磁體上A、B、C、D四個側面中至少有兩相鄰的側面與水平面呈45°夾角。

作為上述技術方案的改進,所述磁體夾具由兩組主傳動齒輪組進行驅動,所述主傳動齒輪組包括主傳動齒輪組大齒輪和八個與其嚙合的二次自轉盤架齒輪,所述二次自轉盤架齒輪上固定連接有二次自轉盤架,所述磁體夾具上具有卡槽,所述磁體夾具通過卡槽與二次自轉盤架卡合連接。

作為上述技術方案的改進,所述主傳動齒輪組大齒輪由動力電機進行驅動,所述主傳動齒輪組大齒輪之間固定連接有支撐桿。

作為上述技術方案的改進,所述主傳動齒輪組中軸線處橫置有中間柱靶,所述磁體夾具及主傳動齒輪組外密封設置有真空殼體。

上述技術方案通過夾具齒輪組中的夾具齒輪組大齒輪轉動,帶動夾具齒輪組小齒輪進行轉動,進而帶動鋼桿產生自轉,從而確保傾斜設置掛鉤上固定的釹鐵硼磁體能夠沿鋼桿為軸進行轉動,使得釹鐵硼磁體各個側面上鍍膜的一致性,有益效果顯著。

附圖說明

圖1為本實用新型一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具的結構示意圖;

圖2為本實用新型中磁體夾具的結構示意圖;

圖3為本實用新型中夾具齒輪組的結構示意圖;

圖4為本實用新型中掛鉤的結構示意圖;

圖5為本實用新型的夾具夾持釹鐵硼磁體時的側面分布圖;

圖6為本實用新型中主傳動齒輪組的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合圖1至圖6對本實用新型進行具體結構。

一種用于燒結釹鐵硼磁體表面物理氣相沉積的夾具,包括磁體夾具2,所述磁體夾具2內具有兩組夾具齒輪組12,所述夾具齒輪組12包括夾具齒輪組大齒輪121和與其嚙合的三個夾具齒輪組小齒輪122,所述對應的夾具齒輪組小齒輪122之間連接有鋼桿3,所述鋼桿3上設置有多個傾斜設置的掛鉤4。上述技術方案通過夾具齒輪組12中的夾具齒輪組大齒輪121轉動,帶動夾具齒輪組小齒輪122進行轉動,進而帶動鋼桿3產生自轉,從而確保傾斜設置掛鉤4上固定的釹鐵硼磁體17能夠沿鋼桿3為軸進行轉動,使得釹鐵硼磁體17各個側面上鍍膜的一致性。

進一步的,所述鋼桿3和掛鉤4均采用不銹鋼制成,利用不銹鋼材質的高強度、高韌性的特點,確保在夾具使用過程中始終保持結構的牢固。

進一步的,所述掛鉤4上具有夾持釹鐵硼磁體17的掛點41,所述掛點41數目為三個,所述釹鐵硼磁體17上具有四個側面:A、B、C、D,且側面A與側面C相互平行,側面B與側面D相互平行,所述三個掛點41與任意兩個平行的側面接觸固定。該結構利用三個掛點41對釹鐵硼磁體17的有效夾持固定。

進一步的,所述掛鉤4在夾持釹鐵硼磁體17后,釹鐵硼磁體17上A、B、C、D四個側面中至少有兩相鄰的側面與水平面呈45°夾角,該結構是為了確保鐵硼磁體17在物理氣相沉積過程中鍍膜的均勻一致性。

進一步的,所述磁體夾具2由兩組主傳動齒輪組7進行驅動,所述主傳動齒輪組7包括主傳動齒輪組大齒輪14和八個與其嚙合的二次自轉盤架齒輪13,所述二次自轉盤架齒輪13上固定連接有二次自轉盤架11,所述磁體夾具2上具有卡槽5,所述磁體夾具2通過卡槽5與二次自轉盤架11卡合連接,該結構提供了一種多級齒輪傳動方式,使用過程中,只要驅動主傳動齒輪組大齒輪14,即可實現(xiàn)接連帶動夾具齒輪組小齒輪122,實現(xiàn)鋼桿3的自轉。

進一步的,所述主傳動齒輪組大齒輪14由動力電機9進行驅動,所述主傳動齒輪組大齒輪14之間固定連接有支撐桿16,其中支撐桿16的作用是實現(xiàn)齒輪組大齒輪14的聯(lián)動效果。

進一步的,所述主傳動齒輪組7中軸線處橫置有中間柱靶15,所述磁體夾具2及主傳動齒輪組7外密封設置有真空殼體1,該結構提供了一種磁控濺射的具體結構,通過設置在主傳動齒輪組7中軸線處的中間柱靶15,實現(xiàn)對各個方向上的磁體夾具2進行無差別濺射,并且由于磁體夾具2上鋼桿3不斷的自轉,釹鐵硼磁體17各個側面均能夠接觸到沉積粒子,鍍層的均勻性好。

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