1.一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:將銀和鈦進(jìn)行澆鑄鑄錠,然后通過一道以上的熱軋工序軋制成型;其中第一道熱軋時(shí),退火溫度為200~800℃,保溫時(shí)間為1~3小時(shí),軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向,軋制變形量為10~30%;后道熱軋時(shí),退火溫度為200~800℃,保溫時(shí)間為0.5~3小時(shí),軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向,軋制變形量為10~30%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:所述銀鈦合金包含0.1~5wt%的鈦、0.5wt%以下的雜質(zhì)金屬和余量的銀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:所述第一道熱軋中,退火溫度為400~600℃,保溫時(shí)間為2~3小時(shí)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:所述第一道熱軋中,軋制變形量為10~25%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:后道熱軋中,退火溫度為300~500℃,保溫時(shí)間為0.5~2小時(shí)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝,其特征在于:所述后道熱軋中,軋制變形量為20~30%。