1.一種鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，包括如下步驟：在金屬鉭的表面通過甲烷離化的碳離子束轟擊引入碳元素，以離子束轟擊產(chǎn)生的能量作為熱源輔助碳元素向金屬鉭內(nèi)部擴(kuò)散，在金屬鉭表面形成碳化物改性層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)預(yù)處理
將清洗干凈后的金屬鉭放入真空室內(nèi)，并將真空室抽真空，再將真空室整體烘干以除去吸附氣體，然后用氬離子轟擊金屬鉭表面進(jìn)行離子清洗；
(2)待步驟(1)金屬鉭用氬離子轟擊清洗完成后，向真空室內(nèi)充高純甲烷至20～100Pa，通過施加偏壓離化甲烷，在金屬鉭表面形成能量為500～2000V，束流強度為200～4000mA/cm2的碳離子流轟擊金屬鉭表面，從而在金屬鉭表面引入碳元素，至反應(yīng)完成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，還包括步驟(3)調(diào)節(jié)金屬鉭溫度調(diào)制改性層厚度：以離子束轟擊時產(chǎn)生的熱量作為加熱源，通過控制電壓、離子束流密度改變溫度，并結(jié)合改變甲烷氣體分壓，調(diào)節(jié)碳化改性層厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，所述步驟(3)中，以離子束轟擊時產(chǎn)生的熱量作為加熱源，在制備片狀樣品的滲碳改性層時采用了外熱源輔助加熱法進(jìn)行輔助加熱，或在制備筒狀樣品的滲碳改性層時采用單純空心陰極加熱法進(jìn)行輔助加熱。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，所述步驟(1)中，用酒精、丙酮、壓縮氮氣對金屬鉭表面進(jìn)行清洗。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-5任一項所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，所述步驟(1)中，將清洗干凈后的金屬鉭放入真空室內(nèi)，并用渦輪分子泵將真空室抽真空至8×10-4Pa以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求2-6任一項所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，所述步驟(1)中，將真空室整體烘干以除去吸附氣體，烘烤溫度為80～200℃，烘烤時間為1～2h。
8.根據(jù)權(quán)利要求2-7任一項所述鉭表面碳化改性的方法，其特征在于，所述步驟(1)中，用氬離子轟擊金屬鉭表面進(jìn)行離子清洗5-10min。
9.采用前述權(quán)利要求1-8任一項所述方法制備的產(chǎn)品，其特征在于，其基體為金屬鉭，碳化物改性層從內(nèi)至外分別為Ta2C層和TaC層。
10.根據(jù)權(quán)利要求10所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述碳化物改性層的厚度為200nm～15.0μm。