技術(shù)總結(jié)
室溫下紫外光輔助濺射制備AZO薄膜的方法，采用紫外光在線輻照的情況下，利用磁控濺射室溫沉積AZO薄膜，其步驟為：(1)?襯底清洗；(2)?預(yù)濺射；(3)?紫外光輻照；(4)?AZO薄膜制備。通過紫外光輔助室溫磁控濺射方法制備的AZO薄膜無需再進(jìn)行后續(xù)的處理環(huán)節(jié)，降低了生產(chǎn)成本，工藝操作相對(duì)簡單，適于工業(yè)生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王新昌;郭松昌;閆震;李光輝;丁萬勇;萬志剛;蔣振偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河南安彩高科股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610666204
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.15
技術(shù)公布日：2016.11.16