技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供一種平臺搬運臺車，其用以搬運從研磨裝置卸除的平臺、或要安裝至前述研磨裝置上的前述平臺，所述平臺搬運臺車的特征在于，具備：平臺保持部，用以保持前述平臺；支持臺，從下側來支持該平臺保持部；升降機構，實行前述平臺保持部的升降；以及，傾斜機構，使保持有前述平臺的前述平臺保持部傾斜；并且，能夠在利用前述傾斜機構來使保持有前述平臺的前述平臺保持部傾斜的狀態(tài)下，搬運前述平臺。由此，提供一種平臺搬運臺車，其能夠縮小搬運平臺時所需的寬度，因而能夠縮小用以搬運平臺的通路的寬度。

技術研發(fā)人員：佐藤三千登;金井洋介
受保護的技術使用者：信越半導體股份有限公司;不二越機械工業(yè)株式會社
技術研發(fā)日：2015.10.02
技術公布日：2017.08.18