技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種磁控濺射鍍膜用鉻管靶材的綁定方法。該方法包括在鉻管靶材的背管外表面采用電鍍工藝制備金屬涂層作為綁定層；利用熱等靜壓工藝使鉻管靶材層通過綁定層與背管達(dá)到冶金結(jié)合，實(shí)現(xiàn)鉻管靶材的綁定。本發(fā)明所述的鉻管靶材的綁定方法可以使鉻管靶材層通過綁定層與背管實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合，把鉻管靶材層在濺射鍍膜過程中產(chǎn)生的熱量及時(shí)傳遞到背管內(nèi)冷卻，防止鉻管靶材層出現(xiàn)開裂，保證濺射鍍膜順利進(jìn)行。

技術(shù)研發(fā)人員：石剛;謝飛;崔子振;崔鵬;黃國基
受保護(hù)的技術(shù)使用者：航天長征睿特科技有限公司;航天材料及工藝研究所
文檔號(hào)碼：201510762127
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.10
技術(shù)公布日：2017.05.17