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一種鉻管靶材的綁定方法與流程

文檔序號(hào):11900430閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種鉻管靶材的綁定方法,其特征在于:包括以下步驟:

步驟一:綁定層的制備

將包套背管(3)清洗后進(jìn)行預(yù)鍍鎳處理,然后通過(guò)電鍍工藝制備金屬涂層作為綁定層2;

步驟二:真空除氣

將鉻粉或鉻管坯料填充至綁定層(2)外表面與包套外管(1)內(nèi)表面形成的空間中,然后進(jìn)行真空除氣;

步驟三:熱等靜壓

將步驟二真空除氣后的包套外管(1)進(jìn)行熱等靜壓,使綁定層(2)與包套背管(3)實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合;

步驟四:機(jī)械加工

將步驟三熱等靜壓后的包套(1)采用機(jī)械加工的方法去除包套外管(1),即獲得與包套背管(3)綁定的鉻管靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉻管靶材的綁定方法,其特征在于:所述金屬涂層為鎳、鉻或銅,厚度為0.1~0.5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉻管靶材的綁定方法,其特征在于:所述真空除氣在室溫或者高溫下進(jìn)行,真空度大于1×10-3Pa后封焊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉻管靶材的綁定方法,其特征在于:所述熱等靜壓工藝參數(shù)為溫度600~1000℃,壓力80~150MPa,保溫時(shí)間1~5h。

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