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一種OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置的制作方法

文檔序號:12099282閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明公開了一種OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置,包括用于放置有機物的坩堝,坩堝通過坩堝固定裝置安裝在腔體底部,坩堝固定裝置穿設于腔體的底部;坩堝內(nèi)設有攪拌軸,攪拌軸的下端固定在坩堝底部,坩堝的下端通過連接部與在腔體外部的旋轉機構相連。本發(fā)明所提供的OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置,在坩堝內(nèi)安裝攪拌軸,將坩堝連接在真空腔體外部的旋轉機構上,為了防止有機物凝固,在等待蒸鍍的一段時間內(nèi),旋轉坩堝,旋轉機構使坩堝在蒸鍍有機薄膜的過程中也一直保持旋轉,從而在基板上形成均勻厚度的有機膜。

技術研發(fā)人員:郎豐偉;田朝勇
受保護的技術使用者:四川虹視顯示技術有限公司
文檔號碼:201510574072
技術研發(fā)日:2015.09.10
技術公布日:2017.03.22

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