本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種鉬鈦靶坯的制造方法。

背景技術(shù)：

濺射技術(shù)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的常用工藝之一，隨著濺射技術(shù)的日益發(fā)展，濺射靶材在濺射技術(shù)中起到了越來越重要的作用。濺射靶材主要由靶坯和背板組成，其中，靶坯的質(zhì)量直接影響到了濺射靶材的成膜質(zhì)量。

鉬鈦合金是一種比較典型的靶坯材料。由于鈦具有較強(qiáng)的耐腐蝕性，而鉬具有良好的熱穩(wěn)定性，現(xiàn)已被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中。為了保證濺射靶材的成膜質(zhì)量，鉬鈦靶坯不僅對(duì)致密性、硬度和可加工型有很高的要求，同時(shí)對(duì)鉬鈦合金的內(nèi)部組織均勻性也有著很高的要求。

靶坯的制造方法有很多，目前主要采用粉末冶金的方法實(shí)現(xiàn)鉬鈦靶坯的制造，所述粉末冶金是通過制取金屬粉末(添加或不添加非金屬粉末)，實(shí)施成型和燒結(jié)，制成材料或制品的加工方法。粉末冶金具有獨(dú)特的化學(xué)組成和機(jī)械、物理性能，且成型溫度較低，從而可以制成多孔、半致密或全致密的，微觀組織均勻的鉬鈦靶坯。

在具體的粉末冶金工藝中，一般采用熱壓燒結(jié)工藝。所述熱壓燒結(jié)工藝具體為將準(zhǔn)備好的粉末裝在特定模具中，然后置于真空熱壓爐中，在真空或者惰性氣體條件下，使用壓力機(jī)，通過上下兩個(gè)壓頭作用于模具上，邊升溫邊加壓，直至壓力和溫度均達(dá)到設(shè)定值，在設(shè)定的壓力和溫度條件下保持一段時(shí)間后隨爐冷卻，出爐。

然而，采用熱壓燒結(jié)工藝制成的鉬鈦靶坯的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)的均勻性和致密度無(wú)法滿足要求越來越高的濺射工藝。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的問題是提供一種新的鉬鈦靶坯的制作方法，從而提高半導(dǎo)體用鉬鈦靶坯的致密度和組織結(jié)構(gòu)均勻性。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種鉬鈦靶坯的制作方法。包括如下步驟：

提供鉬、鈦混合粉末；

對(duì)所述鉬、鈦混合粉末進(jìn)行冷等靜壓工藝，形成鉬、鈦混合粉末坯料；

將所述鉬、鈦混合粉末坯料裝入包套并對(duì)所述包套抽真空以形成真空包套后后，對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓工藝，形成鉬鈦合金；

去除所述真空包套，獲得鉬鈦靶坯。

可選的，所述冷等靜壓工藝的工藝溫度為25℃至200℃，環(huán)境壓強(qiáng)為150MPa至180MPa，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下的工藝時(shí)間為10分鐘至30分鐘。

可選的，所述熱等靜壓工藝包括加熱工藝和熱等靜壓燒結(jié)工藝。

可選的，所述加熱工藝的工藝溫度為250℃至500℃，在所述溫度下保溫3小時(shí)至4小時(shí)。

可選的，所述熱等靜壓燒結(jié)工藝的工藝溫度為1000℃至1350℃，環(huán)境壓強(qiáng)為120MPa至180MPa，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下的工藝時(shí)間為3小時(shí)至6小時(shí)。

可選的，對(duì)所述真空包套抽真空的步驟包括：將所述鉬、鈦混合粉末坯料放置于包套后，對(duì)所述包套進(jìn)行抽真空，抽真空后所述包套內(nèi)的真空度至少為2E-3Pa，且在所述熱等靜壓工藝過程中使所述真空包套保持密封狀態(tài)。

可選的，將所述冷等靜壓后的鉬、鈦混合粉末坯料裝入真空包套后，對(duì)所述真空包套抽真空之前，所述制造方法還包括：采用氬弧焊接的方式封死所述真空包套；在所述真空包套引出一脫氣管；

所述抽真空步驟通過所述脫氣管對(duì)真空包套進(jìn)行抽真空。

可選的，去除所述真空包套前，還包括：對(duì)所述真空包套進(jìn)行去壓冷卻。

可選的，提供鉬、鈦混合粉末的步驟包括：提供鉬粉和鈦粉；采用混粉機(jī)對(duì)鉬、鈦粉末進(jìn)行機(jī)械混合。

可選的，所述鉬粉和鈦粉的質(zhì)量比為8.95:1至9.05:1。。

可選的，提供鉬、鈦混合粉末的步驟還包括：在用混粉機(jī)進(jìn)行機(jī)械混合前，向混粉機(jī)內(nèi)充入惰性氣體使混粉機(jī)內(nèi)達(dá)到正壓。

可選的，將鉬粉和鈦粉用混粉機(jī)進(jìn)行機(jī)械混合的過程中，向混粉機(jī)中加入介質(zhì)球，所述介質(zhì)球?yàn)殁伹蚧蜚f球。

可選的，所述介質(zhì)球和所述鉬、鈦混合粉末的質(zhì)量比為2.5：1至3.5：1。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：先采用冷等靜壓工藝對(duì)鉬、鈦混合粉末進(jìn)行首次致密化和預(yù)成型，形成致密度在60％左右的鉬、鈦混合粉末坯料，使后續(xù)的熱等靜壓工藝對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料可以進(jìn)行更好的致密；然后對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓工藝，所述熱等靜壓工藝包括：先將所述鉬、鈦混合粉末坯料裝入包套中并將所述包套抽真空以形成真空包套后，再通過向所述真空包套施加各向均等且全方位的氣體壓力以對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)工藝。通過所述熱等靜壓工藝，最終獲得致密度高的、內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻的，且滿足尺寸規(guī)格的鉬鈦靶坯。

進(jìn)一步，采用上述方法形成鉬鈦靶坯的過程中，采用真空包套而非模具，且所述包套大小無(wú)限制，避免了靶坯尺寸受到模具尺寸和強(qiáng)度限制的問題。

更進(jìn)一步，在冷等靜壓工藝前采用混粉機(jī)對(duì)鉬粉和鈦粉進(jìn)行機(jī)械混合，使所述鉬粉和鈦粉更均勻地混合在一起，制備出成分均勻且無(wú)偏析的鉬、鈦混合粉末，有效解決了鉬、鈦混合粉末因鉬粉和鈦粉的密度相差較大而引起的偏析分層現(xiàn)象，提高了鉬鈦靶坯的工藝性能和機(jī)械性能。

附圖說明

圖1是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例的流程示意圖；

圖2是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例中粉末混合工藝的工藝原理圖；

圖3是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例中冷等靜壓工藝的工藝原理圖；

圖4是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例中真空包套模具的組裝示意 圖；

圖5是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例中熱等靜壓工藝的工藝原理圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)有技術(shù)主要采用熱壓燒結(jié)的方法實(shí)現(xiàn)鉬鈦靶坯的制造，所述方法需要根據(jù)鉬鈦靶坯的尺寸設(shè)計(jì)相配套的模具，因此所述鉬鈦靶坯尺寸受到所述模具尺寸和強(qiáng)度的限制，此模具比較昂貴且較易損耗。此外，熱壓燒結(jié)過程中單軸向加壓，其作用方向僅為單一方向，采用所述方法制成的鉬鈦靶坯的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)的均勻性較差、致密度較低，無(wú)法滿足要求越來越高的濺射工藝。

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種鉬鈦靶坯的制作方法，所述方法包括：提供鉬、鈦混合粉末；對(duì)所述鉬、鈦混合粉末進(jìn)行冷等靜壓工藝，形成鉬、鈦混合粉末坯料；將所述鉬、鈦混合粉末坯料裝入包套并對(duì)所述包套抽真空以形成真空包套后，對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓工藝，形成鉬鈦合金；去除所述真空包套，獲得鉬鈦靶坯。

通過先采用冷等靜壓工藝對(duì)鉬、鈦混合粉末進(jìn)行首次致密化和預(yù)成型，形成致密度在60％左右的鉬、鈦混合粉末坯料，使后續(xù)的熱等靜壓工藝對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料可以進(jìn)行更好的致密；然后對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓工藝，所述熱等靜壓工藝包括：先將所述鉬、鈦混合粉末坯料裝入包套中并將所述包套抽真空以形成真空包套后，再通過向所述真空包套施加各向均等且全方位的氣體壓力以對(duì)所述鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)工藝。通過所述熱等靜壓工藝，最終獲得致密度高的、內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻的，且滿足尺寸規(guī)格的鉬鈦靶坯

進(jìn)一步，采用上述方法形成鉬鈦靶坯的過程中，采用真空包套而非模具，且所述包套大小無(wú)限制，避免了所述鉬鈦靶坯尺寸受到模具尺寸和強(qiáng)度限制的問題。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。

請(qǐng)參考圖1，圖1是本發(fā)明鉬鈦靶坯的制作方法一實(shí)施例的流程示意圖， 本實(shí)施例鉬鈦靶坯的制作方法包括以下基本步驟：

步驟S1：提供鉬粉和鈦粉；

步驟S2：將鉬粉和鈦粉進(jìn)行混合，形成鉬、鈦混合粉末；

步驟S3：對(duì)鉬、鈦混合粉末進(jìn)行冷等靜壓工藝，形成鉬、鈦混合粉末坯料；

步驟S4：將冷等靜壓后的鉬、鈦混合粉末坯料裝入真空包套內(nèi)，然后對(duì)所述真空包套進(jìn)行抽真空；

步驟S5：對(duì)抽真空后的真空包套進(jìn)行加熱并保溫，完成再次致密化；

步驟S6：對(duì)完成再次致密化的鉬、鈦混合粉末坯料進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)工藝，形成鉬鈦合金；

步驟S7：對(duì)真空包套進(jìn)行去壓冷卻；

步驟S8：去除真空包套，獲得鉬鈦靶坯。

為了更好地說明本發(fā)明實(shí)施例的鉬鈦靶坯的制作方法，下面將結(jié)合參考圖2至圖5，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做進(jìn)一步的描述。

首先步驟S1，提供鉬粉101和鈦粉102(如圖2所示)。

本實(shí)施例中，所述鉬粉101和鈦粉102均為純度99.9％以上的高純粉末，且所述鉬粉101和鈦粉102的質(zhì)量比為8.95:1至9.05:1。所述鉬粉101的粒度為4μm至5μm，所述鈦粉102的粒度為40μm至45μm。

需要說明的是，由于在制備所述鉬粉101和鈦粉102時(shí)采用的篩網(wǎng)的篩眼大小為45μm，因此通過該篩目的粉末其粒度均小于45μm。

接著執(zhí)行步驟S2，將鉬粉101和鈦粉102進(jìn)行混合，形成鉬、鈦混合粉末103(如圖2所示)。

本實(shí)施例中，形成所述鉬、鈦混合粉末103的具體工藝為：將鉬粉101和鈦粉102按照質(zhì)量比為8.95:1至9.05:1的比例用混粉機(jī)進(jìn)行機(jī)械混合，具體質(zhì)量比根據(jù)鉬鈦靶坯的實(shí)際尺寸而定。

當(dāng)所述機(jī)械混合的混合時(shí)間過少時(shí)，由于所述鉬粉101和鈦粉102的混 合還不夠均勻，容易引起所述鉬、鈦混合粉末103因鉬粉101和鈦粉102的密度相差較大而引起的偏析分層現(xiàn)象，進(jìn)而降低鉬鈦靶坯的工藝性能和機(jī)械性能；當(dāng)所述機(jī)械混合的混合時(shí)間過多時(shí)，由于所述鉬粉101和鈦粉102已經(jīng)充分且均勻混合，不會(huì)再產(chǎn)生作用，只會(huì)浪費(fèi)工藝時(shí)間、增加工藝成本。為此，本實(shí)施例中，所述機(jī)械混合的混合時(shí)間為23小時(shí)至25小時(shí)。

所述混粉工藝采用干混法。需要說明的是，在進(jìn)行所述鉬粉101和鈦粉102的混合前，還向混粉機(jī)內(nèi)充入惰性氣體從而使混粉機(jī)內(nèi)達(dá)到正壓，以排除混粉機(jī)腔體內(nèi)的空氣，這樣可以防止混粉過程中所述鉬粉101和鈦粉102發(fā)生氧化。本實(shí)施例中采用的惰性氣體為氬氣，在混合過程中保證氬氣充滿混粉機(jī)腔體，且所述氬氣的壓力大于大氣壓，以免空氣滲入所述混粉機(jī)腔體內(nèi)。

為了更好的將所述鉬粉101和鈦粉102混合均勻，在進(jìn)行所述鉬粉101和鈦粉102的混合過程中，向混粉機(jī)中加入介質(zhì)球(未標(biāo)注)，混粉均勻后，將所述介質(zhì)球取出。本實(shí)施例中，為了防止引入其他雜質(zhì)，所述介質(zhì)球的材料與所述鉬粉101和鈦粉102的材質(zhì)相同，即所述介質(zhì)球?yàn)殁伹蚧蜚f球。當(dāng)所述介質(zhì)球?yàn)殁伹驎r(shí)，所述鈦球和所述鉬、鈦混合粉末103的質(zhì)量比為2.5：1至3.5：1；當(dāng)所述介質(zhì)球?yàn)殂f球時(shí)，所述鉬球和所述鉬、鈦混合粉末103的質(zhì)量比為2.5：1至3.5：1。

結(jié)合參考圖3，執(zhí)行步驟S3，對(duì)鉬、鈦混合粉末103(如圖2所示)進(jìn)行冷等靜壓工藝，形成鉬、鈦混合粉末坯料303。

具體地，將所述鉬、鈦混合粉末103裝入空心模具300內(nèi)，然后將所述空心模具300置入冷等靜壓機(jī)內(nèi)，通過向所述空心模具300施加來自各個(gè)方向的壓力，對(duì)所述鉬、鈦混合粉末103進(jìn)行冷等靜壓工藝，完成首次致密化，形成鉬、鈦混合粉末坯料303。

本實(shí)施例中，所述冷等靜壓工藝的工藝溫度為常溫25℃至200℃，環(huán)境壓強(qiáng)為150MPa至180MPa，也就是說，向所述空心模具300施加來自各個(gè)方向的壓力大小為150MPa至180MPa，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下的工藝時(shí)間為10分鐘至30分鐘，由于所述冷等靜壓工藝各方向的溫度、壓力均相同，通過所述工藝預(yù)先成型，得到致密度約為60％左右的半致密的鉬、鈦混合粉 末坯料303，同時(shí)使后續(xù)成型工藝可以更好的致密。

當(dāng)環(huán)境壓強(qiáng)低于150MPa或工藝時(shí)間少于10分鐘時(shí)，由于向所述空心模具300施加的壓力不夠或施加壓力的時(shí)間不夠長(zhǎng)，無(wú)法達(dá)到半致密的鉬、鈦混合粉末坯料303。由于冷等靜壓工藝的工藝溫度為室溫，在該溫度下冷等靜壓產(chǎn)品達(dá)到一定致密度后增加壓力或增加工藝時(shí)間難以進(jìn)一步致密，因此壓力高于180MPa或工藝時(shí)間多于30分鐘已經(jīng)不產(chǎn)生作用，反而使成本變大，且浪費(fèi)工藝時(shí)間。

結(jié)合參考圖4，執(zhí)行步驟S4，將冷等靜壓后的鉬、鈦混合粉末坯料303裝入包套內(nèi)，然后對(duì)所述包套進(jìn)行抽真空以形成真空包套401。

具體地，將所述冷等靜壓好的鉬、鈦混合粉末坯料303裝入包套后，對(duì)所述包套進(jìn)行抽真空之前，封死所述包套，所述包套引出一個(gè)脫氣管405并通過所述脫氣管405對(duì)所述包套抽真空，形成真空包套401。

本實(shí)施例中，所述包套包括包套薄壁402、包套下蓋板403和包套上蓋板404；所述包套采用的是厚度為2mm至3mm的不銹鋼焊接成型。由所述不銹鋼材料制成的包套強(qiáng)度較大，可以防止在后續(xù)工藝的受熱條件下所述包套發(fā)生形變或開裂。

本實(shí)施例中，通過氬弧焊接的方式先將所述包套薄壁402和包套下蓋板403進(jìn)行焊接，然后將冷等靜壓好的鉬、鈦混合粉末坯料303裝入未焊接所述包套上蓋板404的包套內(nèi)，蓋上包套上蓋板404后再通過氬弧焊接的方式將所述包套上蓋板404焊接至所述包套薄壁402的上表面，使所述包套被封死。

所述包套引出一個(gè)脫氣管405，將所述脫氣管405與真空設(shè)備相連，將裝有所述鉬、鈦混合粉末坯料303的所述包套放置在加熱爐中，開啟真空設(shè)備對(duì)所述包套抽真空以形成真空包套401，使所述真空包套401內(nèi)的真空度達(dá)到2E-3Pa。

繼續(xù)參考圖4，執(zhí)行步驟S5，對(duì)抽真空后的真空包套401進(jìn)行加熱并保溫，完成再次致密化。

本實(shí)施例中，當(dāng)所述真空包套401內(nèi)的真空度達(dá)到2E-3Pa時(shí)，啟動(dòng)加熱爐對(duì)所述真空包套401進(jìn)行加熱；將所述真空包套401由室溫加熱至250℃至 500℃后，并在所述溫度下保溫3小時(shí)至4小時(shí)，完成再次致密化，形成致密度更好的鉬、鈦混合粉末坯料303。

在加熱爐升溫及保溫過程中，真空設(shè)備一直處于開啟狀態(tài)，從而使所述真空包套401內(nèi)的真空度始終至少維持在2E-3Pa；保溫結(jié)束后，從加熱爐中取出所述真空包套401，在繼續(xù)保持其內(nèi)部真空的狀態(tài)下封閉所述脫氣管405，使所述真空包套401內(nèi)部形成一個(gè)密閉的真空環(huán)境。

結(jié)合參考圖5，執(zhí)行步驟S6，對(duì)完成再次致密化的鉬、鈦混合粉末坯料303進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)工藝，形成鉬鈦合金。

具體地，將裝有鉬、鈦混合粉末坯料303且內(nèi)部為密閉真空環(huán)境的真空包套401放置在熱等靜壓爐中，先進(jìn)行升溫升壓，使工藝溫度達(dá)到1000℃至1350℃、環(huán)境壓強(qiáng)達(dá)到120MPa至180MPa，也就是說，使所述真空包套401受到來自各向均等且全方位的150MPa至180MPa的氣體壓力；在升溫升壓步驟之后，在所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)下保溫3小時(shí)至6小時(shí)。

本實(shí)施例中，將工藝溫度、環(huán)境壓強(qiáng)和保溫時(shí)間做了最優(yōu)化的搭配。

當(dāng)所述工藝溫度低于1000℃時(shí)，由于溫度不夠，導(dǎo)致所述鉬、鈦混合粉末坯料303的各材料之間無(wú)法徹底地進(jìn)行擴(kuò)散，影響燒結(jié)成型后的鉬鈦靶坯質(zhì)量；當(dāng)所述工藝溫度高于1350℃時(shí)，過高的工藝溫度使所述真空包套401處于惡劣的環(huán)境中，容易引起所述真空包套401'發(fā)生形變或開裂，更甚者可能會(huì)使所述真空包套401熔化或者使所述真空包套401與所述鉬、鈦混合粉末坯料303發(fā)生反應(yīng)，引起鉬鈦靶坯的報(bào)廢。

當(dāng)所述環(huán)境壓強(qiáng)小于120MPa時(shí)，由于在所述真空包套401上施加的力不夠大，導(dǎo)致所述鉬、鈦混合粉末坯料303無(wú)法徹底地?zé)Y(jié)成型，且最終獲得的鉬鈦靶坯的致密度較差；當(dāng)所述環(huán)境壓強(qiáng)大于180MPa時(shí)，對(duì)于已經(jīng)完成最好的燒結(jié)成型的所述鉬、鈦混合粉末坯料303，難以進(jìn)一步致密，再提高環(huán)境壓強(qiáng)對(duì)獲得致密度高、內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻的鉬鈦靶坯已經(jīng)沒有意義，反而浪費(fèi)能源，甚至過高的環(huán)境壓強(qiáng)可能使所述真空包套401發(fā)生形變或開裂。

當(dāng)所述保溫時(shí)間少于3小時(shí)時(shí)，由于在適當(dāng)溫度和壓強(qiáng)下，在所述真空包套401上施加壓力的時(shí)間不夠長(zhǎng)，導(dǎo)致所述鉬、鈦混合粉末坯料303無(wú)法 完全燒結(jié)成型，從而使獲得的鉬鈦靶坯的致密度較差；當(dāng)保溫時(shí)間多于6小時(shí)時(shí)，對(duì)于已經(jīng)完成最好的燒結(jié)成型的所述鉬、鈦混合粉末坯料303，難以進(jìn)一步致密，再增加保溫時(shí)間反而浪費(fèi)能源、降低所述鉬鈦靶坯的制造效率。

需要說明的是，為了提高所述鉬、鈦混合粉末坯料303的燒結(jié)成型效果，本實(shí)施例在升溫升壓過程中，升溫速率可以為250℃/H至350℃/H，升壓速率可以為20MPa/H至30MPa/H。

當(dāng)升溫速率高于350℃/H時(shí)，熱等靜壓爐內(nèi)的爐溫不容易擴(kuò)散，導(dǎo)致熱等靜壓爐內(nèi)的溫度不均勻，產(chǎn)生爐溫偏差，影響所述鉬、鈦混合粉末坯料303的燒結(jié)成型；當(dāng)升溫速率低于250℃時(shí)，升溫時(shí)間過長(zhǎng)，造成工藝時(shí)間加長(zhǎng)，從而使生產(chǎn)效率降低，生產(chǎn)成本變高。因此所述升溫速率優(yōu)選為250℃/H至350℃/H。為了配合所述升溫速率，所述升壓速率優(yōu)選為20MPa/H至30MPa/H，從而使所述工藝溫度和環(huán)境壓強(qiáng)幾乎在同一時(shí)間達(dá)到設(shè)定值。

執(zhí)行步驟S7，對(duì)所述真空包套401(如圖5所示)進(jìn)行去壓冷卻。

本實(shí)施例中，所述鉬、鈦混合粉末坯料303完成熱等靜壓成型后，關(guān)閉熱等靜壓爐，采用隨爐冷卻的方法使所述真空包套401自然去壓并冷卻至室溫25℃至200℃，所述方法避免了溫度的驟降，使得成型后的鉬鈦合金更加堅(jiān)實(shí)。

執(zhí)行步驟S8，去除真空包套401(如圖5所示)，獲得鉬鈦靶坯。

具體地，將所述真空包套401去壓冷卻后，通過車削加工等機(jī)械加工工藝將所述鉬鈦合金表面的包套材料去除，獲得鉬鈦靶坯。

所述鉬鈦靶坯作為制造鉬鈦合金靶材的材料，后續(xù)還需要與背板進(jìn)行焊接，形成鉬鈦合金靶材。

雖然本發(fā)明己以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。