本發(fā)明涉及冶金工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板滲金屬設(shè)備。

背景技術(shù)：

隨著冶金工業(yè)的不斷發(fā)展，將金屬原子滲入到基板表面層的滲金屬技術(shù)得到了較為廣泛的應用。相關(guān)技術(shù)中，通過上下分層的爐體進行壓滲，上層金屬融化后，加正壓，并繼續(xù)加熱，直到把金屬塞融化，讓金屬液沿管道流下來，再融化密封材料，金屬液流到模具上面進行壓滲，這樣金屬液從上層流到下層的過程中，融進了金屬塞和密封材料，對金屬液有污染，會直接影響產(chǎn)品的性能，并且金屬熔化和鑄造模具都在爐體里加熱，時間長，效率低。

在另一些技術(shù)中，在本體上挖出一個大的圓柱通腔，本體上部有與通腔連通的金屬液注口，本體下部有與通腔連通的抽真空口，下沖頭上升到本體上表面，裝上有模具的骨架下降到金屬液注口注金屬液，接著繼續(xù)下到抽真空口，上沖頭同時下壓將金屬液注口封住，抽真空，抽好真空之后，下沖頭上升堵住抽真空口，形成密閉的空間，上沖頭下降給金屬液施加壓力，讓金屬液滲入骨架，這樣注金屬液通道在本體里，難以對其保溫，金屬液易凝固堵住注液通道，而且抽真空時易把金屬液抽進真空通道，嚴重時會堵住真空通道，性能不穩(wěn)定。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種基板滲金屬設(shè)備，該基板滲金屬設(shè)備不僅效率高，成本低，而且性能可靠，生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備，包括：基座；上板，所述上板設(shè)在所述基座上，所述上板上設(shè)有頂部敞開的容納腔，所述容納腔內(nèi)設(shè)有坩堝和用于對所述坩堝進行加熱的第一加熱裝置，所述坩堝的底壁設(shè)有開口；真空壓力倉，所述真空壓力倉設(shè)在所述上板的下表面上，所述真空壓力倉內(nèi)限定出倉室，所述倉室內(nèi)設(shè)有第二加熱裝置，所述倉室與所述容納腔連通；滑蓋驅(qū)動件和用于打開或關(guān)閉所述開口的滑蓋，所述滑蓋驅(qū)動件與所述滑蓋相連以驅(qū)動所述滑蓋水平移動地設(shè)在所述上板內(nèi)；蓋板，所述蓋板設(shè)在所述上板上以封 蓋所述容納腔，所述蓋板上設(shè)有進料通道和用于打開或關(guān)閉所述進料通道的進料閥；真空閥和充氣閥，所述真空閥設(shè)在所述蓋板或者所述上板上且與所述容納腔連通，所述充氣閥設(shè)在所述蓋板或者所述上板上且與所述容納腔連通；驅(qū)動器，所述驅(qū)動器設(shè)在所述基座上；移動組件，所述移動組件在第一位置和第二位置之間可上下移動地設(shè)在所述基座上且位于所述真空壓力倉的下方，所述移動組件與所述驅(qū)動器相連以由所述驅(qū)動器驅(qū)動移動；盛放有基板的模組套，所述模組套可拆卸地設(shè)在所述移動組件上，在第一位置，所述模組套位于所述倉室內(nèi)且所述移動組件與所述真空壓力倉接觸以密封所述倉室，在所述第二位置，所述模組套位于所述倉室的下方。

根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備，通過將模組套設(shè)在移動組件上，利用驅(qū)動器驅(qū)動移動組件在第一位置和第二位置之間上下移動，并通過滑蓋驅(qū)動件驅(qū)動滑蓋打開或關(guān)閉坩堝底壁上的開口，利用第一加熱裝置和第二加熱裝置分別對坩堝和倉室內(nèi)的模組套加熱，同時，通過進料閥控制蓋板上的進料通道，并利用真空閥和充氣閥對倉室內(nèi)的壓力進行控制，不僅效率高，成本低，而且性能可靠，生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

具體地，所述移動組件包括動板和下封板，所述下封板設(shè)在所述動板的上表面上，所述驅(qū)動器與所述動板相連，在所述第一位置，所述下封板與所述真空壓力倉接觸。

進一步地，還包括限位柱，所述限位柱設(shè)在所述上板上且位于所述真空壓力倉的外側(cè)，所述限位柱的下端位于所述真空壓力倉的下表面的下方。

具體地，所述蓋板上設(shè)有抽氣口和充氣口，所述抽氣口和所述充氣口分別與所述容納腔連通，所述真空閥和所述充氣閥分別與所述抽氣口和所述充氣口相連。

可選地，所述第一加熱裝置為電磁感應線圈。

可選地，所述第二加熱裝置為電磁感應線圈。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動器為油壓機。

可選地，所述基板為IGBT基板。

優(yōu)選地，所述蓋板上設(shè)有漏斗以限定出所述進料通道。

具體地，所述坩堝和所述第一加熱裝置分別可拆卸地設(shè)在所述容納腔內(nèi)。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備的剖視圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備的剖視圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備的立體圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備的模組套的結(jié)構(gòu)示意圖；以及

圖5是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備的模組套的盆口的局部示意圖。

附圖標記：

100：基板滲金屬設(shè)備；

1：基座；2：上板；

21：容納腔；22：坩堝；221：開口；23：第一加熱裝置；

3：真空壓力倉；31：倉室；32：第二加熱裝置；

4：滑蓋驅(qū)動件；5：滑蓋；

6：蓋板；61：進料通道；62：進料閥；63：漏斗；

7：真空閥；71：抽氣口；8：充氣閥；81：充氣口；9：驅(qū)動器；10：移動組件；11：模組套；12：基板；13：動板；14：下封板；16：限位柱；17：盆口；18：盆口開口。

具體實施方式

下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接或彼此可通訊；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特 征水平高度小于第二特征。

下面參考圖1-圖5詳細描述根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備100。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備100可以包括：基座1、上板2、真空壓力倉3、滑蓋驅(qū)動件4、滑蓋5、蓋板6、真空閥7、充氣閥8、驅(qū)動器9、移動組件10和模組套11。

具體而言，如圖1和圖2所示，上板2可以設(shè)在基座1上，上板2上可設(shè)有頂部敞開的容納腔21，容納腔21內(nèi)可以設(shè)有坩堝22和用于對坩堝22內(nèi)的金屬加熱的第一加熱裝置23，且坩堝22的底壁上可設(shè)有開口221，從而需要滲入的金屬可以放置在坩堝22內(nèi)通過第一加熱裝置23加熱，并可從坩堝22的底壁上的開口221流向后續(xù)器件，以完成滲入。

如圖1并結(jié)合圖2所示，真空壓力倉3可設(shè)在上板2的下表面上，真空壓力倉3內(nèi)可限定出倉室31，倉室31內(nèi)可設(shè)有第二加熱裝置32，且倉室31可與容納腔21連通，這樣，需要滲入的金屬經(jīng)第一加熱裝置23加熱后，可流向倉室31，進行后續(xù)處理。

滑蓋5設(shè)在上板2上且位于坩堝22的下方，用于打開或關(guān)閉坩堝22底壁上的開口221，如圖1和圖2所示，滑蓋5可與滑蓋驅(qū)動件4相連，并由滑蓋驅(qū)動件4驅(qū)動滑蓋5，使滑蓋5能夠水平移動，不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且可以實現(xiàn)自動化。

如圖1和圖2所示，蓋板6設(shè)在上板2上，用于封蓋容納腔21，蓋板6上可設(shè)有進料通道61和進料閥62，進料閥62可用于打開和關(guān)閉進料通道61，這樣，通過控制進料閥62可以方便地控制進料通道61的開啟或關(guān)閉。

真空閥7可設(shè)在蓋板6或者上板2上，如圖1和圖2所示，真空閥7與容納腔21連通，并且，充氣閥8也設(shè)蓋板6或者上板2上，充氣閥8與容納腔21連通，這樣，通過真空閥7可將容納腔21抽真空，通過充氣閥8可以給容納腔21充入氣體，為后續(xù)滲金屬做準備。

驅(qū)動器9可以設(shè)在基座1上，用于驅(qū)動移動組件10。如圖1、圖2并結(jié)合圖3所示，移動組件10可設(shè)在基座1上位于真空壓力倉3的下方，移動組件10與驅(qū)動器9相連，并且，由驅(qū)動器9驅(qū)動移動組件10在第一位置和第二位置之間上下移動。由此，可以方便的使移動組件10上下移動，以完成模組套11的移動。

如圖1、圖2和圖4所示，模組套11內(nèi)盛放有基板12，并且模組套11可拆卸地設(shè)在移動組件10上，在第一位置，模組套11可位于倉室31內(nèi)，并且，移動組件10與真空壓力倉3接觸以密封倉室31，由此可以對倉室31進行抽真空等操作，以完成對基板12的滲金屬作業(yè)。在第二位置，模組套11可位于倉室31的下方，這樣，可以方便地取出成品或更換基板12，結(jié)構(gòu)簡單，效率高。

當需要對基板12進行滲金屬作業(yè)時，首先將需要滲入的金屬加熱，使其融化，并對盛放有基板12的模組套11進行加熱。操作滑蓋驅(qū)動件4，通過滑蓋5封堵坩堝22底壁上的開口221。打開進料閥62，并將熔融狀態(tài)的金屬液從進料通道61倒入容納腔21內(nèi)的坩堝22中，關(guān)閉進料閥62，并打開第一加熱裝置23，對坩堝22內(nèi)的金屬進行加熱，使金屬液保持熔融狀態(tài)。然后將模組套11放置到移動組件10上，利用驅(qū)動器9驅(qū)動移動組件10移動到第一位置，將模組套11送到倉室31內(nèi)，同時，移動組件10與真空壓力倉3接觸，將倉室31密封。打開第二加熱裝置32，利用第二加熱裝置32對模組套11繼續(xù)加熱。本發(fā)明的金屬先在外部熔煉成熔融狀態(tài)，然后進入真空壓力倉3內(nèi)繼續(xù)保溫，同時對模組套11內(nèi)的基板12進行加熱，使金屬與基板12復合效果更好，提高基板12的散熱效果，并且提高了生產(chǎn)效率。

其次，打開真空閥7，對倉室31抽真空，將模組套11內(nèi)和融于金屬液的大部分氣體抽走，完成抽真空之后關(guān)閉真空閥7。控制滑蓋驅(qū)動件4將滑蓋5水平移動，打開坩堝22的底壁上的開口221，金屬液會從開口221流到模組套11內(nèi)。接著關(guān)閉第一加熱裝置23和第二加熱裝置32，并打開充氣閥8，往密封倉室31內(nèi)充入氮氣，使倉室31內(nèi)的壓力保持在較高的范圍內(nèi)并持續(xù)一段時間，使金屬液充分地滲入到基板12內(nèi)成型。最后等模組套11降溫后對倉室31泄壓，控制驅(qū)動器9使移動組件10回到第二位置，取出模組套11，完成對基板12的滲金屬作業(yè)。本發(fā)明在滲入前，同時對模組套11和熔融狀態(tài)的金屬進行抽真空，有助于消除復合后金屬內(nèi)部存在的氣泡，從而使金屬與基板11復合效果更好，并進一步提高基板12的散熱效果。

根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備100，通過將模組套11設(shè)在移動組件10上，利用驅(qū)動器9驅(qū)動移動組件10在第一位置和第二位置之間上下移動，從而通過移動組件10封閉或打開真空壓力倉3，當移動組件10位于第一位置時與真空壓力倉3接觸以密封倉室31，使得倉室31的密封過程簡單，提高工作效率。同時通過滑塊5打開或關(guān)閉坩堝22底壁上的開口221，當開口221打開時，坩堝22內(nèi)的金屬液會流入到模組套11內(nèi)，在金屬液的流動過程中不會存在污染問題。又由于當采用真空閥7對容納腔21和倉室31進行抽真空時，金屬液盛放在坩堝22內(nèi)，因此在抽真空過程中，可以避免將金屬液抽走而堵住真空通道，可以提高裝置的可靠性。同時通過采用第一加熱裝置23對坩堝22進行加熱，采用第二加熱裝置32對模組套11進行加熱，保證了可以對熔融狀態(tài)的金屬液進行保溫。

簡言之，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備100，生產(chǎn)效率高，性能可靠，生產(chǎn)產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

在本發(fā)明的一個具體示例中，驅(qū)動器9可以是油壓機，通過液壓油作為工作介質(zhì)， 利用液壓泵作為動力源，將液壓油的壓力能轉(zhuǎn)化為動能，帶動移動組件10在第一位置和第二位置之間移動，不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且工作可靠，操作方便，從而可以在一定程度上提高基板滲金屬設(shè)備100的可靠性。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，如圖1和圖2所示，移動組件10可以包括動板13和下封板14，其中，下封板14可以設(shè)在動板13的上表面上，并且，驅(qū)動器9可與動板13相連，在第一位置時，下封板14可與真空壓力倉3接觸，從而可以通過下封板14對真空壓力倉3進行密封。

優(yōu)選地，下封板14的上表面上可設(shè)有密封圈(圖中未示出)，從而在下封板14和真空壓力倉3接觸時，密封圈能夠緊貼真空壓力倉3的下沿，使密封效果更好。

如圖1-3所示，基板滲金屬設(shè)備100還可以包括限位柱16，并且限位柱16可以設(shè)在上板2上且位于真空壓力倉3的外側(cè)，限位柱16的下端可位于真空壓力倉3的下表面的下方?？梢岳斫獾氖牵诨鍧B金屬設(shè)備100正常運行時，當下封板14與真空壓力倉3接觸以密封倉室31時，限位柱16的下端可以與動板13的上表面接觸或者具有間隙。當驅(qū)動器發(fā)生故障時，通過限位柱16止抵在動板13的上表面上，可以避免移動組件10移動過度而造成真空壓力倉3發(fā)生損壞，從而可以提高基板滲金屬設(shè)備100的安全可靠性。

具體地，如圖1和圖2所示，蓋板6上可設(shè)有抽氣口71和充氣口81，抽氣口71和充氣口81可分別與容納腔21連通，例如，如圖1和圖2所示，抽氣口71可位于進料通道61的右側(cè)，且真空閥7與抽氣口71相連，充氣口81可位于進料通道61的左側(cè)，且充氣閥8與充氣口81相連。從而使得基板滲金屬設(shè)備100的結(jié)構(gòu)簡單且緊湊。

需要說明的是，抽氣口71與真空閥7、充氣口81與充氣閥8之間均需設(shè)置密封圈(圖中未示出)，以保證在完成抽氣或充氣后的密封，使產(chǎn)品的質(zhì)量得到保證。

在本發(fā)明的一個具體示例中，第一加熱裝置23可為電磁感應線圈，通過將電能轉(zhuǎn)化為磁能，再轉(zhuǎn)化為熱能，對坩堝22內(nèi)的金屬進行加熱，不僅加熱效率高，而且可以在一定程度上節(jié)約能源。第二加熱裝置32也可以是電磁感應線圈，利用電磁感應線圈對倉室31內(nèi)的模組套11進行加熱，使其保溫。當然，本發(fā)明并不限于此，第一加熱裝置23和第二加熱裝置32還可以采用其他形式的加熱裝置。

優(yōu)選地，坩堝22和第一加熱裝置23分別可拆卸地設(shè)在容納腔21內(nèi)，從而當坩堝22和/或第一加熱裝置23發(fā)生故障時，可以進行更換，而無需更換整個基板滲金屬設(shè)備100，降低了維修成本。

優(yōu)選地，如圖1和圖2并及結(jié)合圖3所示，蓋板6上可以設(shè)有漏斗63，以限定出進料通道61，從而熔融狀態(tài)的金屬液體可以沿著漏斗63流入坩堝22，由于漏斗63的 進料口較大，不僅進料方便，而且不易灑出。

在本發(fā)明的一個具體示例中，基板12可以是IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor，絕緣柵雙極型晶體管)基板，由于IGBT基板具有導熱率高、比剛度高、膨脹系數(shù)低、密度小等優(yōu)點，所以在高集成電路的封裝、航空航天等領(lǐng)域的應用日益廣泛。

如圖4所示，IGBT基板可以裝在模具卡槽里，形成一個模組，然后把幾個模組排在模組套11里，如圖5所示，模組套11有承載金屬液的盆口17，并且，盆口17上具有盆口開口18，如圖5所示，并且，盆口開口18與模組連通。這樣，當金屬液從坩堝22底壁上的開口221流下時，可流入盆口17，接著可從盆口開口18流入模組，完成滲金屬工作，從而可以讓金屬液完全滲入IGBT基板，無氣孔，解決了成品密度均勻的問題，同時讓金屬液滲過IGBT基板到模具內(nèi)成型，讓成品的散熱面積加大，提高成品散熱性能。

下面結(jié)合圖1-圖4描述根據(jù)本發(fā)明具體實施例的基板滲金屬設(shè)備100的工作過程，為了描述清楚，以在IGBT基板中滲入金屬鋁為例進行示意性說明。

首先，將裝有模組的模組套11放在高溫加熱爐內(nèi)加熱至800℃以上，同時將鋁塊也放在電阻爐內(nèi)加熱，將鋁塊加熱至熔融狀態(tài)。操作滑蓋驅(qū)動件4，利用滑蓋5封堵坩堝22的底壁上的開口221。

然后，將進料閥62打開，并將鋁液倒入漏斗63，鋁液會由于重力的作用沿進料通道61流入坩堝22，打開第一加熱裝置23，對坩堝22進行加熱，使鋁液保持熔融狀態(tài)，將進料閥62關(guān)閉。此時，動板13處于打開狀態(tài)，真空閥7和充氣閥8都處于關(guān)閉狀態(tài)，如圖2所示。

接著，利用專用高溫上下料機將加熱到800℃以上的模組套11放置到動板13上，利用油壓機將動板13上升到第一位置，動板13上裝有模組的模組套11會被送到倉室31內(nèi)，且下封板14與真空壓力倉3接觸，將倉室31密封。同時，模組套11用第二加熱裝置32繼續(xù)加熱，使其保溫。此時，下封板14的上表面的密封圈會緊貼真空壓力倉3的下沿，倉室31被密封，如圖3所示。

其次，打開真空閥7，用真空閥7對密閉的倉室31抽真空，待抽到倉室31內(nèi)的壓力低于20pa，關(guān)閉真空閥7，停止抽真空。此時，模組套11內(nèi)的氣體和融于鋁液的氣體幾乎全都被抽走?？刂苹w驅(qū)動件4將滑蓋5水平移動，打開坩堝22的底壁上的開口221，鋁液通過開口221流到模組套11內(nèi)蓋住模組，然后關(guān)閉第一加熱裝置23和第二加熱裝置32。

最后打開充氣閥8，往密閉倉室31內(nèi)充入氮氣，使倉室31內(nèi)的壓力在5～8Mpa之 間，并保壓10～20min，讓鋁液充分地滲入IGBT基板里，并通過IGBT基板到模具里成型，等模組套11的溫度降到500℃后，泄掉密閉倉室31內(nèi)的氣體，將氣壓降到和外界一致的氣壓，控制油壓機，使動板13回到第二位置，取出模組套11，待冷卻后取出產(chǎn)品，完成IGBT基板的滲鋁作業(yè)。

綜上所述，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板滲金屬設(shè)備100，通過將模組套11設(shè)在移動組件10上，利用油壓機驅(qū)動動板13在第一位置和第二位置之間移動，以將模組套11移入或移出真空壓力倉3，并通過滑蓋驅(qū)動件4驅(qū)動滑蓋5打開或關(guān)閉坩堝22底壁上的開口221，利用第一加熱裝置23對坩堝22進行加熱，同時，利用第二加熱裝置32對模組套11進行加熱，并將第一加熱裝置23和第二加熱裝置32設(shè)為電磁感應加熱線圈，通過進料閥62控制漏斗63限定出的進料通道61，利用真空閥7和充氣閥8對倉室31內(nèi)的壓力進行控制，使產(chǎn)品性能在一定程度上得到保證，并利用限位柱15對移動組件10進行限位，避免動板13在向第一位置移動時過度移位，同時模組套11和鋁塊是在外面高溫加熱爐里加熱，可以批量加熱，從而不僅安全性好，效率高，而且成本低廉，生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或示例的特征進行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。