一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)及其測(cè)試方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)及其測(cè)試方法，屬于蒸發(fā)機(jī)臺(tái)測(cè)試領(lǐng)域。一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，包括測(cè)厚蓋子、鐘罩、三角架、固定三角架座、電子槍、透明膠版和發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，測(cè)厚蓋子位于鐘罩頂部，測(cè)厚蓋子內(nèi)置有測(cè)試厚度的傳感器探頭，鐘罩中部安裝有固定三角架座，鐘罩外部側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿底部與鐘罩底部連接，導(dǎo)向桿上設(shè)置有定位夾；發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于電子槍坩堝位置，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置由點(diǎn)光源器和固定夾套組成；透明膠版設(shè)置于三角架上方或測(cè)厚蓋子上方，透明膠版上設(shè)置有測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記和三角架定位點(diǎn)。它可以直觀發(fā)現(xiàn)設(shè)備使用過(guò)程中產(chǎn)生的誤差，避免測(cè)試點(diǎn)偏離中心線、準(zhǔn)確性高、方便快捷。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)及其測(cè)試方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及蒸發(fā)機(jī)臺(tái)測(cè)試領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速 測(cè)試機(jī)構(gòu)及其測(cè)試方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著蒸發(fā)機(jī)臺(tái)在微電子行業(yè)的應(yīng)用，和日益迅速發(fā)展的微電子技術(shù)的要求越來(lái)越 高，蒸發(fā)鍍膜的缺點(diǎn)也在影響著產(chǎn)品的品質(zhì)。蒸發(fā)鍍膜在制膜速度快，純度高等優(yōu)點(diǎn)的同 時(shí)，工藝的重復(fù)性不夠好，膜厚不易控制的缺點(diǎn)也越來(lái)越制約著該工藝的發(fā)展。消除工藝過(guò) 程中設(shè)備自身設(shè)計(jì)的缺陷引起對(duì)工藝的影響是解決和改進(jìn)蒸發(fā)技術(shù)的一種比較切實(shí)可行 的途徑。
[0003] 在真空下金屬原子運(yùn)動(dòng)基本是直線，蒸發(fā)源的蒸發(fā)特性是具有方向性的，若原子 運(yùn)行方向與垂直方向?yàn)棣ǎ瑴y(cè)試面垂直點(diǎn)與原子運(yùn)行方向?yàn)棣?，貝Ij在Θ角方向蒸發(fā)材料 的質(zhì)量與COS Θ成正比。dm = m/31 XCOS Θ Xdco。在測(cè)試面上形成的厚度為t = (m/ π P ) X (C0S Θ COSc^/r2) = (mh2)/[ π p (h2+x2)2]。h為蒸發(fā)源到測(cè)試面的垂直距離，X為 測(cè)試面偏離垂直基線的距離。測(cè)試最大厚度h = πιΛ π p h2)，實(shí)際測(cè)試厚度t = h/Tl+U/ h)2]。按照計(jì)算公式，偏離中心越大，實(shí)際厚度會(huì)越薄，在進(jìn)行工藝過(guò)程中會(huì)影響實(shí)際的蒸 發(fā)鍍膜的厚度。
[0004] 蒸發(fā)制膜的缺點(diǎn)在升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)中體現(xiàn)比較明顯，因每次需要提升鐘罩，經(jīng)常 下落的位置可能會(huì)發(fā)生偏移，但不會(huì)及時(shí)的發(fā)現(xiàn)，只有發(fā)生品質(zhì)事故時(shí)，才有可能發(fā)現(xiàn)膜厚 測(cè)試監(jiān)控點(diǎn)已經(jīng)偏離中心。
[0005] 目前在這種升降蒸發(fā)臺(tái)是借助于導(dǎo)竿目測(cè)方法確定三點(diǎn)是否在同一條直線上，這 種方法是需要腔體提升一端距離，目的內(nèi)部需要光線。由于腔是升起的，會(huì)存在一定的角 度，與實(shí)際工作時(shí)的位置不一樣。測(cè)試點(diǎn)容易偏離中心線，使用過(guò)程中容易產(chǎn)生誤差，準(zhǔn)確 性差。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 1.要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0007] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的需要經(jīng)常提升腔體，測(cè)試點(diǎn)容易偏離中心線、誤差高、準(zhǔn)確 性差、操作不便的問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)及其測(cè)試方 法。它可以直觀發(fā)現(xiàn)設(shè)備使用過(guò)程中產(chǎn)生的誤差，避免測(cè)試點(diǎn)偏離中心線、準(zhǔn)確性高、方便 快捷。
[0008] 2.技術(shù)方案
[0009] -種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，包括測(cè)厚蓋子、鐘罩、三角架、固定三角 架座、電子槍、透明膠版和發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，所述的測(cè)厚蓋子位于鐘罩頂部，測(cè)厚蓋子 內(nèi)置有測(cè)試厚度的傳感器探頭，所述的鐘罩中部安裝有固定三角架座，所述的三角架安裝 于固定三角架座頂部，三角架中央有孔，鐘罩底部設(shè)置有電子槍?zhuān)娮訕寖?nèi)放置有坩堝；鐘 罩外部側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿底部與鐘罩底部連接，導(dǎo)向桿上設(shè)置有定位夾，定位夾連 接于鐘罩的側(cè)面。
[0010] 所述的發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于電子槍坩堝位置，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置由點(diǎn)光 源器和固定夾套組成；固定夾套位于發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置中部，點(diǎn)光源器固定在固定夾套 的上方，固定夾套底部設(shè)置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固定地腳，一只為調(diào)節(jié)地 腳；所述的透明膠版設(shè)置于三角架上方或測(cè)厚蓋子上方，透明膠版上設(shè)置有測(cè)厚蓋子定位 點(diǎn)標(biāo)記和三角架定位點(diǎn)。
[0011] 更進(jìn)一步的，所述的調(diào)節(jié)地腳為螺紋式旋鈕，通過(guò)正反旋轉(zhuǎn)旋鈕可上下進(jìn)行高度 調(diào)節(jié)。
[0012] 更進(jìn)一步的，所述的固定三角架座底部為圓環(huán)，圓環(huán)通過(guò)支架與三角架相連。
[0013] 更進(jìn)一步的，所述的測(cè)厚蓋子內(nèi)置的傳感器探頭、三角架的中央孔和電子槍內(nèi)部 坩堝中央心自上到下呈一條直線，保證生產(chǎn)工藝的重復(fù)性。
[0014] 更進(jìn)一步的，所述的透明膠版以中心點(diǎn)為圓心，有兩個(gè)分別以測(cè)厚蓋子直徑和三 角架上的中央孔孔徑為直徑的同心圓，測(cè)厚蓋子所對(duì)應(yīng)的同心圓直徑大于三角架孔所對(duì)應(yīng) 的同心圓直徑，測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記在測(cè)厚蓋子所對(duì)應(yīng)的同心圓上，三角架定位點(diǎn)在三角 架中央孔所對(duì)應(yīng)的同心圓上。
[0015] 一種采用所述的升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)的測(cè)試方法，其步驟如下：
[0016] (a)將發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置放置在電子槍的坩堝內(nèi)，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置要求在 坩堝的中心垂直位置上，打開(kāi)點(diǎn)光源器；
[0017] (b)將透明膠版水平放置在三角架上，三角架定位點(diǎn)與三角架中央孔的孔邊緣位 置對(duì)應(yīng)，觀察點(diǎn)光源在透明膠版上的投影，通過(guò)調(diào)節(jié)發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置底部的調(diào)節(jié)地腳 讓點(diǎn)光源投影落在透明膠版的中心上，此位置即為三角架中央孔的中心；
[0018] (C)、取出透明膠版，放下鐘罩，打開(kāi)鐘罩頂部放置測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子，將透明膠 版置于測(cè)厚蓋子上方，將測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記與測(cè)厚蓋子邊緣對(duì)應(yīng)，透明膠版的中心位置 是測(cè)試裝置最終需要接收到位的確認(rèn)點(diǎn)位置；
[0019] (d)、通過(guò)確定點(diǎn)光源在透明膠版上的位置，調(diào)節(jié)鐘罩側(cè)面的導(dǎo)向桿，每調(diào)整一次， 需要鐘罩重新上升下降一次，保證調(diào)整的有效性，直到點(diǎn)光源位于透明膠版中心位置，鎖緊 定位夾；
[0020] (e)、升降鐘罩3-5次，測(cè)試觀察是否每次點(diǎn)光源的位置都在中心位置上，若都落 在中心位置上則進(jìn)行下一步，不在中心位置上需要重新進(jìn)行（a)-(d)步驟，直到成功；
[0021] (f)、安裝好測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子，取出的發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，完成此次調(diào)節(jié)測(cè) 試。
[0022] 3.有益效果
[0023] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：
[0024] (1)本實(shí)驗(yàn)裝置使用，使用對(duì)中測(cè)試機(jī)構(gòu)能夠通過(guò)玻璃罩直觀觀察測(cè)試蒸發(fā)源位 置，調(diào)整具有直觀性，更加迅速便捷；
[0025] (2)本實(shí)驗(yàn)裝置使用可調(diào)式三角定位光源發(fā)射裝置校準(zhǔn)機(jī)臺(tái)坩堝、三角架和膜厚 測(cè)試點(diǎn)在同一條直線，實(shí)現(xiàn)減少設(shè)備日常運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的位移誤差，使產(chǎn)品的工藝的重復(fù)性變 好，方便定期的設(shè)備性能的檢查的目的；
[0026] (3)鐘罩外部側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向桿和定位夾，導(dǎo)向桿底部與鐘罩底部連接，通過(guò)導(dǎo)向 桿和定位夾可以快速調(diào)整鐘罩角度，多次進(jìn)行調(diào)整，可以保證調(diào)整的有效性，保證作為定期 校驗(yàn)設(shè)備的重復(fù)性；
[0027] (4)使用發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，可進(jìn)行移動(dòng)調(diào)整，方便快捷，可在多個(gè)測(cè)試機(jī)構(gòu)上 進(jìn)行使用，成本降低；
[0028] (5)發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置上使用螺紋式旋鈕的調(diào)節(jié)地腳，通過(guò)正反旋轉(zhuǎn)旋鈕可上 下進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，操作簡(jiǎn)單、快速，提高效率，使得測(cè)試更加便捷；
[0029] (6)使用帶有測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記和三角架定位點(diǎn)的透明膠版，可以準(zhǔn)確的對(duì)裝 置定位點(diǎn)進(jìn)行確認(rèn)，可移動(dòng)性強(qiáng)，可以直觀觀察裝置調(diào)節(jié)到位，準(zhǔn)確快捷。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030] 圖1 一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031] 圖2發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置放大示意圖；
[0032] 圖3透明膠版放大示意圖；
[0033] 圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明：
[0034] 1、測(cè)厚蓋子；2、鐘罩；3、三角架；4、固定三角架座；5、電子槍?zhuān)?、定位夾；7、導(dǎo)向 桿；8、點(diǎn)光源器；9、固定夾套；10、固定地腳；11、調(diào)節(jié)地腳；12、測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記；13、 三角架定位點(diǎn)；14、透明膠版。

【具體實(shí)施方式】
[0035] 下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述。
[0036] 實(shí)施例1
[0037] -種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，如圖1，包括測(cè)厚蓋子1、鐘罩2、三角架 3、固定三角架座4、電子槍5、透明膠版14和發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置。鐘罩2為透明玻璃制 成，測(cè)厚蓋子1位于鐘罩2頂部，測(cè)厚蓋子1內(nèi)置有測(cè)試厚度的傳感器探頭。鐘罩2中部安 裝有固定三角架座4,所述的三角架3安裝于固定三角架座4頂部，固定三角架座4底部為 圓環(huán)，圓環(huán)通過(guò)支架與三角架3相連，三角架3中央有孔，鐘罩2底部設(shè)置有電子槍5,電子 槍5內(nèi)放置有坩堝。鐘罩2外部側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向桿7,所述的導(dǎo)向桿7底部與鐘罩2底部連 接，導(dǎo)向桿7上設(shè)置有定位夾6,定位夾6連接于鐘罩2側(cè)面。測(cè)厚蓋子1內(nèi)置的傳感器探 頭、三角架3的中央孔和電子槍5內(nèi)部坩堝中央心自上到下呈一條直線，這種設(shè)置方式實(shí)現(xiàn) 減少設(shè)備日常運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的位移誤差，使產(chǎn)品的工藝的重復(fù)性變好，方便定期的設(shè)備性能的 檢查的目的。
[0038] 使用發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置優(yōu)點(diǎn)在于可進(jìn)行移動(dòng)調(diào)整，方便快捷，可在多個(gè)測(cè)試機(jī) 構(gòu)上進(jìn)行使用，成本降低，如圖2,發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于電子槍5坩堝位置，發(fā)射點(diǎn)光 源調(diào)節(jié)裝置由點(diǎn)光源器8和固定夾套9組成；固定夾套9位于發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置中部。通 過(guò)導(dǎo)向桿7和定位夾6可以快速調(diào)整鐘罩2角度，多次進(jìn)行調(diào)整，可以保證調(diào)整的有效性， 保證作為定期校驗(yàn)設(shè)備的重復(fù)性。點(diǎn)光源器8固定在固定夾套9的上方，固定夾套9底部 設(shè)置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固定地腳10, 一只為調(diào)節(jié)地腳11，調(diào)節(jié)地腳11為 螺紋式旋鈕，通過(guò)正反旋轉(zhuǎn)旋鈕可上下進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，操作簡(jiǎn)單、快速，提高效率，使得測(cè)試 更加便捷。
[0039] 如圖3,透明膠版14設(shè)置于三角架3上方或測(cè)厚蓋子1上方，透明膠版14上設(shè)置 有測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記12和三角架定位點(diǎn)13。透明膠版14以中心點(diǎn)為圓心，有兩個(gè)分別 以測(cè)厚蓋子1直徑和三角架3上的中央孔孔徑為直徑的同心圓，測(cè)厚蓋子1所對(duì)應(yīng)的同心 圓直徑大于三角架3孔所對(duì)應(yīng)的同心圓直徑，測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記12在測(cè)厚蓋子1所對(duì)應(yīng) 的同心圓上，三角架定位點(diǎn)13在三角架3中央孔所對(duì)應(yīng)的同心圓上?？梢詼?zhǔn)確的對(duì)裝置定 位點(diǎn)進(jìn)行確認(rèn)，可移動(dòng)性強(qiáng)，可以直觀觀察裝置調(diào)節(jié)到位，準(zhǔn)確快捷。本實(shí)驗(yàn)裝置使用，使用 對(duì)中測(cè)試機(jī)構(gòu)能夠通過(guò)玻璃鐘罩2直觀觀察測(cè)試蒸發(fā)源位置，調(diào)整具有直觀性，更加迅速 便捷。
[0040] 使用上述一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)的測(cè)試方法，其步驟如下：
[0041] (a)將發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置放置在電子槍5的坩堝內(nèi)，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置要求 在坩堝的中心垂直位置上，打開(kāi)點(diǎn)光源器8。
[0042] (b)將透明膠版14水平放置在三角架3上，三角架定位點(diǎn)13與三角架3中央孔的 孔邊緣位置對(duì)應(yīng)，觀察點(diǎn)光源在透明膠版14上的投影，調(diào)節(jié)發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置底部的調(diào) 節(jié)地腳11，點(diǎn)光源投影落在透明膠版14的中心上，此位置即為三角架3中央孔的中心。
[0043] (c)、取出透明膠版14,放下鐘罩2,打開(kāi)鐘罩2頂部放置測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子1，將 透明膠版14置于測(cè)厚蓋子1上方，將測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記12與測(cè)厚蓋子1邊緣對(duì)應(yīng)，透明 膠版14的中心位置是測(cè)試裝置最終需要接收到位的確認(rèn)點(diǎn)位置。
[0044] (d)、通過(guò)確定點(diǎn)光源在透明膠版14上的位置，調(diào)節(jié)鐘罩2側(cè)面的導(dǎo)向桿7,每調(diào) 整一次，鐘罩2重新上升下降一次，保證調(diào)整的有效性，直到點(diǎn)光源位于透明膠版14中心位 置，鎖緊定位夾6。
[0045] (e)、鐘罩2升降5次，測(cè)試觀察是否每次點(diǎn)光源的位置都在中心位置上，點(diǎn)光源的 位置都落在中心位置上。
[0046] (f)、安裝好測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子1，取出的發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，完成此次調(diào)節(jié)測(cè) 試。
[0047] 實(shí)施例2
[0048] 實(shí)施例2與實(shí)施例1基本相同，不同之處在于，一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試 機(jī)構(gòu)的測(cè)試方法步驟e中鐘罩2升降3次測(cè)試觀察是否每次點(diǎn)光源的位置都在中心位置 上，點(diǎn)光源的位置未都落在中心位置上，重復(fù)進(jìn)行（a)-(d)步驟，成功使得點(diǎn)光源的位置始 終落在中心位置上。
[0049] 以上示意性地對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造及其實(shí)施方式進(jìn)行了描述，該描述沒(méi)有限制性，附圖 中所示的也只是本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施方式之一，實(shí)際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以，如果本領(lǐng)域 的普通技術(shù)人員受其啟示，在不脫離本創(chuàng)造宗旨的情況下，不經(jīng)創(chuàng)造性的設(shè)計(jì)出與該技術(shù) 方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實(shí)施例，均應(yīng)屬于本專(zhuān)利的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，包括測(cè)厚蓋子（I)、鐘罩（2)，其特征在于： 還包括三角架（3)、固定三角架座（4)、電子槍?zhuān)?)、透明膠版（14)和發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置， 所述的測(cè)厚蓋子（1)位于鐘罩（2)頂部，測(cè)厚蓋子（1)內(nèi)置有測(cè)試厚度的傳感器探頭，所述 的鐘罩（2)中部安裝有固定三角架座（4)，所述的三角架（3)安裝于固定三角架座（4)頂 部，三角架（3)中央有孔，鐘罩（2)底部設(shè)置有電子槍?zhuān)?)，電子槍?zhuān)?)內(nèi)放置有坩堝；所述 的鐘罩（2)外部側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向桿（7)，所述的導(dǎo)向桿（7)底部與鐘罩（2)底部連接，導(dǎo)向 桿（7)上設(shè)置有定位夾（6)，定位夾（6)連接于鐘罩（2)側(cè)面； 所述的發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于電子槍?zhuān)?)坩堝位置，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置由點(diǎn)光 源器（8)和固定夾套（9)組成；固定夾套（9)位于發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置中部，點(diǎn)光源器（8) 固定在固定夾套（9)的上方，固定夾套（9)底部設(shè)置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固 定地腳（10)，一只為調(diào)節(jié)地腳（11);所述的透明膠版（14)設(shè)置于三角架（3)上方或測(cè)厚蓋 子（1)上方，透明膠版（14)上設(shè)置有測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記（12)和三角架定位點(diǎn)（13)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述 的調(diào)節(jié)地腳（11)為螺紋式旋鈕，通過(guò)正反旋轉(zhuǎn)旋鈕可上下進(jìn)行高度調(diào)節(jié)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述 的固定三角架座（4)底部為圓環(huán)，圓環(huán)通過(guò)支架與三角架（3)相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于： 所述的測(cè)厚蓋子（1)內(nèi)置的傳感器探頭、三角架（3)的中央孔和電子槍?zhuān)?)內(nèi)部坩堝中央 心自上到下呈一條直線。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于： 所述的透明膠版（14)以中心點(diǎn)為圓心，有兩個(gè)分別以測(cè)厚蓋子（1)直徑和三角架（3)上的 中央孔孔徑為直徑的同心圓，測(cè)厚蓋子（1)所對(duì)應(yīng)的同心圓直徑大于三角架（3)孔所對(duì)應(yīng) 的同心圓直徑，測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記（12)在測(cè)厚蓋子（1)所對(duì)應(yīng)的同心圓上，三角架定位 點(diǎn)（13)在三角架（3)中央孔所對(duì)應(yīng)的同心圓上。
6. -種采用權(quán)利要求1所述的升降式蒸發(fā)機(jī)臺(tái)對(duì)中快速測(cè)試機(jī)構(gòu)的測(cè)試方法，其步驟 如下： (a) 將發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置放置在電子槍?zhuān)?)的坩堝內(nèi)，發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置要求在 坩堝的中心垂直位置上，打開(kāi)點(diǎn)光源器（8); (b) 將透明膠版（14)水平放置在三角架（3)上，三角架定位點(diǎn)（13)與三角架（3)中央 孔的孔邊緣位置對(duì)應(yīng)，觀察點(diǎn)光源在透明膠版（14)上的投影，通過(guò)調(diào)節(jié)發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝 置底部的調(diào)節(jié)地腳（11)讓點(diǎn)光源投影落在透明膠版（14)的中心上，此位置即為三角架中 央孔的中心； (c) 、取出透明膠版（14)，放下鐘罩（2)，打開(kāi)鐘罩（2)頂部放置測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子 (1)，將透明膠版（14)置于測(cè)厚蓋子（1)上方，將測(cè)厚蓋子定位點(diǎn)標(biāo)記（12)與測(cè)厚蓋子（1) 邊緣對(duì)應(yīng)，透明膠版（14)的中心位置是測(cè)試裝置最終需要接收到位的確認(rèn)點(diǎn)位置； (d) 、通過(guò)確定點(diǎn)光源在透明膠版（14)上的位置，調(diào)節(jié)鐘罩（2)側(cè)面的導(dǎo)向桿（7)，每 調(diào)整一次，需要鐘罩（2)重新上升下降一次，保證調(diào)整的有效性，直到點(diǎn)光源位于透明膠版 (14)中心位置，鎖緊定位夾（6); (e) 、升降鐘罩（2) 3-5次，測(cè)試觀察是否每次點(diǎn)光源的位置都在中心位置上，若都落在 中心位置上則進(jìn)行下一步，不在中心位置上需要重新進(jìn)行（a)-(d)步驟，直到成功； (f)、安裝好測(cè)厚裝置的測(cè)厚蓋子（1)，取出的發(fā)射點(diǎn)光源調(diào)節(jié)裝置，完成此次調(diào)節(jié)測(cè) 試。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104215208SQ201410506296
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月26日
【發(fā)明者】談步亮, 劉韻吉, 楊敏紅, 何慧強(qiáng), 陳道友 申請(qǐng)人:桑德斯微電子器件（南京）有限公司