用于沉積有機(jī)材料的設(shè)備的制作方法
【專利摘要】一種用于沉積有機(jī)材料的沉積設(shè)備包括：具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉(zhuǎn)；與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機(jī)材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和定位在所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機(jī)材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開(kāi)口。
【專利說(shuō)明】用于沉積有機(jī)材料的設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 各實(shí)施例涉及一種有機(jī)材料沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]近來(lái)，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器作為用于顯示圖像的顯示設(shè)備已受到眾多關(guān)注。
[0003]OLED顯示器包括發(fā)出具有其自身顏色的光的有機(jī)發(fā)射層。
[0004]在該【背景技術(shù)】部分中公開(kāi)的上述信息僅用于增強(qiáng)對(duì)所描述的技術(shù)的背景的理解，因此其可能包含不構(gòu)成在該國(guó)家對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]各實(shí)施例致力于一種用于沉積有機(jī)材料的沉積設(shè)備，該設(shè)備包括:具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉(zhuǎn)；與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機(jī)材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和定位于所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機(jī)材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開(kāi)口。
[0006]所述有機(jī)材料可形成在所述柔性基板上的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
[0007]多個(gè)沉積源可被提供，所述多個(gè)沉積源包括:第一沉積源，所述第一沉積源被定位成在所述支撐輥的第一側(cè)面對(duì)所`述支撐輥的所述表面；第二沉積源，所述第二沉積源被定位成在所述支撐輥的第二側(cè)面對(duì)所述支撐輥的所述表面；和第三沉積源，所述第三沉積源被定位成在所述支撐輥的第三側(cè)面對(duì)所述支撐輥的所述表面；并且多個(gè)掩膜可被提供，所述多個(gè)掩膜包括:定位于所述第一沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第一掩膜；定位于所述第二沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第二掩膜；和定位于所述第三沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第三掩膜。
[0008]所述第一沉積源、所述第二沉積源和所述第三沉積源可被配置成沉積各自的有機(jī)材料，以便形成發(fā)出具有不同顏色的光的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
[0009]所述沉積源和所述掩膜均可成曲狀。
[0010]所述支撐輥的所述表面可具有預(yù)定曲率，并且所述沉積源的表面和所述掩膜的表面均可具有所述預(yù)定曲率。
[0011 ] 所述沉積源和所述掩膜均可基本是平坦的。
[0012]所述支撐輥可被配置成圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)并由此在所述沉積源的前面移動(dòng)所述柔性基板。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]通過(guò)參照附圖詳細(xì)描述示例實(shí)施例，各特征對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員將變得明顯。
[0014]圖1是根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。[0015]圖2是根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。
[0016]圖3是根據(jù)第三示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]現(xiàn)在將在下文中參照附圖更充分地描述各示例實(shí)施例。然而，各示例實(shí)施例可以不同的形式體現(xiàn)，并且不應(yīng)被認(rèn)為限于在此提出的各實(shí)施例。相反，這些實(shí)施例被提供為使得本公開(kāi)將是完整和全面的，并將各示例實(shí)施例的范圍充分地傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。
[0018]在附圖中，各尺寸為了例示清楚可被夸大。將理解，當(dāng)一個(gè)元件被稱為在另一元件“上”時(shí)，其能夠直接在該另一元件上，或者也可存在一個(gè)或多個(gè)中間元件。還將理解，當(dāng)一個(gè)元件被稱為在另一元件“下”時(shí)，其能夠直接在下方，或者也可存在一個(gè)或多個(gè)中間元件。還將理解，當(dāng)一個(gè)元件被稱為在兩個(gè)元件“之間”時(shí)，其能夠是這兩個(gè)元件之間的唯一元件，或者也可存在一個(gè)或多個(gè)中間元件。相似的附圖標(biāo)記始終指代相似的元件。
[0019]而且，對(duì)于各示例實(shí)施例，參照通過(guò)對(duì)相同的構(gòu)成元件使用相同的附圖標(biāo)記的相關(guān)附圖，對(duì)第一示例實(shí)施例中的構(gòu)成元件給出詳細(xì)描述，而只有與第一示例實(shí)施例相關(guān)的那些構(gòu)成元件不同的構(gòu)成元件可在其它示例實(shí)施例中進(jìn)行描述。
[0020]另外，除非明確相反描述，詞語(yǔ)“包括”及諸如“包含”或“含有”的變型將被理解成意味著包括規(guī)定的元件但并不排除任意其它元件。
[0021]接下來(lái)，參見(jiàn)圖1，將描述根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備。
[0022]圖1是根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。
[0023]在圖1所示的示例實(shí)施例中，根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000將用于有機(jī)發(fā)射層的有機(jī)材料沉積到`為沉積靶的柔性基板10上，并包括支撐輥100、沉積源200和掩膜300。
[0024]在此，柔性基板10可包括諸如金屬、玻璃和/或聚合物的材料，并可包括為柔性的任意合適材料。而且，柔性基板10可包括包含多個(gè)薄膜晶體管、一個(gè)或多個(gè)電容器的像素電路以及連接到該像素電路的第一電極。有機(jī)材料可被沉積在第一電極上。在有機(jī)材料通過(guò)有機(jī)材料沉積設(shè)備1000被沉積在第一電極上以在第一電極上形成有機(jī)發(fā)射層之后，在有機(jī)發(fā)射層上可形成第二電極，并且在第二電極上可進(jìn)一步形成密封像素電路和有機(jī)發(fā)光元件(包括第一電極、有機(jī)發(fā)射層和第二電極)的封裝部，從而制造有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器。
[0025]在本示例實(shí)施例中，支撐輥100為圓柱形，并且柔性基板10被卷繞在支撐輥100的表面110處。柔性基板10可完全圍繞支撐輥100纏繞或者部分圍繞支撐輥100纏繞。支撐輥100自身旋轉(zhuǎn)，并且通過(guò)旋轉(zhuǎn)支撐輥100，從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料通過(guò)掩膜300被沉積在柔性基板10的整個(gè)表面上。諸如軸承的對(duì)支撐輥100進(jìn)行支撐并同時(shí)使支撐輥100旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)可定位于支撐輥100的兩端。
[0026]沉積源200被定位成與支撐輥100分隔預(yù)定間隔。沉積源200可使有機(jī)材料沿著支撐輥100的方向蒸發(fā)，以便將有機(jī)材料沉積于在支撐輥100的表面上的柔性基板10上。從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料形成包括柔性基板10的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
[0027]沉積源200可具有坩堝形狀，并且位于沉積源200內(nèi)的有機(jī)材料可通過(guò)施加在沉積源200內(nèi)的熱沿著支撐輥100的方向蒸發(fā)(例如，通過(guò)可形成在沉積源200上的開(kāi)口)。在沉積源200上可形成一個(gè)以上的開(kāi)口。
[0028]掩膜300定位于支撐輥100與沉積源200之間，并包括用于使有機(jī)材料通過(guò)掩膜300的一個(gè)或多個(gè)開(kāi)口 310。包括在掩膜300中的開(kāi)口 310例如可為對(duì)應(yīng)于有機(jī)發(fā)射層或形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的布線的敞開(kāi)圖案。掩膜300可包括多個(gè)單元掩膜和接納并固定多個(gè)單元掩膜的框架。掩膜300可由具有剛性的金屬材料(例如，不銹鋼)形成。
[0029]根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000可使支撐輥100 (柔性基板10附接于此)自身旋轉(zhuǎn)，同時(shí)有機(jī)材料從沉積源200通過(guò)掩膜300的開(kāi)口 310朝向柔性基板10蒸發(fā)，從而在柔性基板10上形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的有機(jī)發(fā)射層。在一實(shí)施方式中，沉積源200和掩膜300均是平坦的。在一實(shí)施方式中，支撐棍100被配置為圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)并由此在沉積源200前面移動(dòng)柔性基板10。
[0030]如上所述，在根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000中，柔性基板10可被纏繞在支撐輥100上。在一實(shí)施方式中，即使柔性基板10具有大尺寸，也不必增大支撐大尺寸的柔性基板10的支撐輥100的尺寸。因而，可提供緊湊的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000。[0031 ] 在根據(jù)第一示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000中，支撐輥100可在柔性基板10被卷繞到支撐輥100的狀態(tài)下自身旋轉(zhuǎn)，并且在所述旋轉(zhuǎn)期間，從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料可通過(guò)掩膜300沉積在柔性基板10上。因此，能夠避免定位于支撐輥100與沉積源200之間的掩膜300的尺寸的增大。因而，掩膜300的中心部分不會(huì)向下松弛，從而可改進(jìn)柔性基板10的有機(jī)材料的沉積可靠性。
[0032]在根據(jù)第一示例實(shí)`施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1000中，支撐輥100可在柔性基板10被卷繞到支撐輥100并且從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料通過(guò)掩膜300沉積在柔性基板10的狀態(tài)下自身旋轉(zhuǎn)。因而，即使柔性基板10具有大尺寸，從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料的蒸發(fā)角度不會(huì)在掩膜300的端部處下降。因而，有機(jī)材料可均勻地沉積在柔性基板10的整個(gè)表面上，從而改進(jìn)了柔性基板10的有機(jī)材料的沉積可靠性。
[0033]因而，盡管柔性基板10具有大尺寸，有機(jī)材料沉積設(shè)備1000可對(duì)纖薄和柔性的基板10提供有機(jī)材料的改進(jìn)的沉積可靠性。
[0034]接下來(lái)，參見(jiàn)圖2，將描述根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備。
[0035]在下文中，僅詳細(xì)描述不同于第一示例實(shí)施例的特征部分，不再重復(fù)細(xì)節(jié)的其它部分依照第一示例實(shí)施例的描述。在第二示例實(shí)施例中，為了更好理解以及便于描述，與根據(jù)第一示例實(shí)施例的那些組成元件等同或?qū)?yīng)的組成元件由相同的附圖標(biāo)記表示。
[0036]圖2是根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。
[0037]在圖2所示的示例實(shí)施例中,根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1002包括支撐輥100、多個(gè)沉積源和多個(gè)掩膜。多個(gè)沉積源包括第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203，并且多個(gè)掩膜包括第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303。
[0038]第一沉積源201定位在支撐輥100的第一側(cè)(例如，左側(cè))，第二沉積源202定位在支撐輥100的第二側(cè)(例如，下側(cè))，第三沉積源203定位在支撐輥100的第三側(cè)(例如，右側(cè))。而且，第一掩膜301定位在第一沉積源201與支撐輥100之間，第二掩膜302定位在第二沉積源202與支撐輥100之間，第三掩膜303定位在第三沉積源203與支撐輥100之間。[0039]分別從第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203沉積到柔性基板10的有機(jī)材料可形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的發(fā)出不同顏色的光的有機(jī)發(fā)射層。例如，從第一沉積源201沉積到柔性基板10的有機(jī)材料可形成發(fā)出紅光的有機(jī)發(fā)射層，從第二沉積源202沉積到柔性基板10的有機(jī)材料可形成發(fā)出綠光的有機(jī)發(fā)射層，從第三沉積源203沉積到柔性基板10的有機(jī)材料可形成發(fā)出藍(lán)光的有機(jī)發(fā)射層。而且，第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303可分別包括形成有敞開(kāi)圖案的開(kāi)口 310，該敞開(kāi)圖案對(duì)應(yīng)于具有紅色有機(jī)發(fā)射層、綠色有機(jī)發(fā)射層和藍(lán)色有機(jī)發(fā)射層的像素。
[0040]根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1002使支撐輥100 (柔性基板10卷繞于此)自身旋轉(zhuǎn)，同時(shí)有機(jī)材料從第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203通過(guò)第一掩膜301、第二掩膜302和第三掩膜303各自的開(kāi)口沉積到柔性基板10以在柔性基板10上形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
[0041]如上所述，根據(jù)第二示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1002通過(guò)使用第一沉積源201、第二沉積源202和第三沉積源203同時(shí)執(zhí)行豎向沉積和水平沉積，由此以各個(gè)角度將有機(jī)材料沉積在柔性基板10上。因而，即使柔性基板10可具有大尺寸，有機(jī)材料沉積設(shè)備1002仍可對(duì)柔性基板10提供有機(jī)材料的改進(jìn)的沉積可靠性。
[0042]接下來(lái)，參見(jiàn)圖3，將描述根據(jù)第三示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備。
[0043]在下文中，僅描述不同于第一示例實(shí)施例的特征部分，省略描述的部分依照第一示例實(shí)施例的描述。在第三示例實(shí)施例中，為了更好理解以及便于描述，與根據(jù)第一示例實(shí)施例的那些組成元件等同或?qū)?yīng)的組成元件由相同的附圖標(biāo)記表示。
[0044]圖3是根據(jù)第三示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備的視圖。
[0045]在圖3所示的示例實(shí)施例中，根據(jù)第三示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1003包括支撐輥100、沉積源200和掩膜300。
[0046]沉積源200和掩膜300分別對(duì)應(yīng)于支撐輥100的表面110彎曲或成曲狀。詳細(xì)地，支撐輥100的表面110具有預(yù)定曲率，并且沉積源200的表面210和掩膜300的表面320分別與支撐輥100的表面110具有相同的預(yù)定曲率。
[0047]因而，掩膜300的中心區(qū)域和外部區(qū)域相對(duì)于柔性基板10具有相同的第一距離SI，沉積源200的中心區(qū)域和外部區(qū)域相對(duì)于掩膜300具有相同的第二距離S2。因而，在沉積源200的整個(gè)區(qū)域中始終形成與柔性基板10相同的距離。
[0048]如上所述，掩膜300的整個(gè)區(qū)域相對(duì)于柔性基板10具有相同的距離SI，沉積源200的整個(gè)區(qū)域相對(duì)于掩膜300具有相同的第二距離S2，并且沉積源200的整個(gè)區(qū)域相對(duì)于柔性基板10具有相同的距離。因而，從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料可通過(guò)掩膜300在柔性基板10的整個(gè)表面均勻沉積。
[0049]這樣，在根據(jù)第三示例實(shí)施例的有機(jī)材料沉積設(shè)備1003中，通過(guò)考慮將柔性基板10卷繞在支撐輥100的具有預(yù)定曲率的表面110上由此以預(yù)定曲率彎曲，掩膜300和沉積源200分別以預(yù)定曲率彎曲，因而，從沉積源200蒸發(fā)的有機(jī)材料通過(guò)掩膜300在柔性基板10的整個(gè)表面上均勻沉積。
[0050]作為總結(jié)和回顧，通過(guò)使用有機(jī)材料沉積設(shè)備可形成有機(jī)發(fā)射層。普通的有機(jī)材料沉積設(shè)備可包括支撐作為沉積靶的基板的支撐構(gòu)件、將用于有機(jī)發(fā)射層的有機(jī)材料蒸發(fā)到基板上的蒸發(fā)(沉積)源以及定位于基板與沉積 源之間的掩膜。近來(lái)，由于想得到具有大面積的OLED顯示器，用于大尺寸的OLED顯示器的基板被形成有大面積，以使支撐大尺寸基板的支撐構(gòu)件的尺寸增大，由此造成整個(gè)有機(jī)材料沉積設(shè)備的尺寸的增大。而且，由于定位于基板與沉積源之間的掩膜的尺寸因大尺寸的基板而增大，因而掩膜的中心區(qū)域可能向下低垂，以使用于基板的有機(jī)材料的沉積可靠性下降。而且，由于掩膜的尺寸因大尺寸的基板而增大，從沉積源蒸發(fā)的有機(jī)材料的蒸發(fā)角度在掩膜的端部處減小，以使對(duì)于沉積在基板的端部處的有機(jī)材料產(chǎn)生陰影。這種情形可能在基板的端部處產(chǎn)生有機(jī)材料的不均勻沉積，因而用于基板的有機(jī)材料的沉積可靠性可能下降。
[0051]如上所述，各實(shí)施例涉及一種用于形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的有機(jī)發(fā)射層的有機(jī)材料沉積設(shè)備。即使有機(jī)材料沉積在形成大尺寸的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的大尺寸基板上，各實(shí)施例也可提供一種緊湊的有機(jī)材料沉積設(shè)備。即使有機(jī)材料被沉積在形成大尺寸的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的大尺寸的基板上，示例實(shí)施例也可提供具有改進(jìn)的沉積可靠性的有機(jī)材料沉積設(shè)備。而且，即使有機(jī)材料被沉積在形成大尺寸的OLED顯示器的大尺寸的基板上，也可提供改進(jìn)的沉積可靠性。
[0052]這里已經(jīng)公開(kāi)了各示例實(shí)施例，盡管采用了特定術(shù)語(yǔ)，但它們僅在一般和描述性意義上被使用和將被解釋，而不用于限制的目的。在一些情況下，從遞交本申請(qǐng)時(shí)起，將對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員明顯的是，除非另外特別指明，結(jié)合特定實(shí)施例描述的特征、特性和/或元件可單獨(dú)使用或與結(jié)合其它實(shí)施例描述的特征、特性和/或元件組合使用。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，在不脫離所附權(quán)利要求中所闡述的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行形式上和細(xì)節(jié)上的各種改變。
【權(quán)利要求】
1.一種用于沉積有機(jī)材料的沉積設(shè)備，所述設(shè)備包括: 具有一表面的支撐輥，所述表面被配置為將柔性基板接納在所述表面上，所述支撐輥被配置為旋轉(zhuǎn)； 與所述支撐輥分隔的沉積源，所述沉積源被配置為將所述有機(jī)材料沉積于在所述支撐輥上的所述柔性基板上；和 定位于所述支撐輥與所述沉積源之間的掩膜，所述掩膜包括被配置成允許所述有機(jī)材料從所述沉積源通向所述支撐輥的開(kāi)口。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述有機(jī)材料形成在所述柔性基板上的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中: 多個(gè)沉積源被提供，所述多個(gè)沉積源包括: 第一沉積源，所述第一沉積源被定位成在所述支撐輥的第一側(cè)面對(duì)所述支撐輥的所述表面； 第二沉積源，所述第二沉積源被定位成在所述支撐輥的第二側(cè)面對(duì)所述支撐輥的所述表面；和 第三沉積源，所述第三沉積源被定位成在所述支撐輥的第三側(cè)面對(duì)所述支撐輥的所述表面；并且 多個(gè)掩膜被提供，所述多個(gè)掩膜包括: 定位于所述第一沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第一掩膜； 定位于所述第二沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第二掩膜；和 定位于所述第三沉積源與所述支撐輥的所述表面之間的第三掩膜。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中所述第一沉積源、所述第二沉積源和所述第三沉積源被配置成沉積各自的有機(jī)材料，以便形成發(fā)出具有不同顏色的光的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的有機(jī)發(fā)射層。
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述沉積源和所述掩膜均成曲狀。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中: 所述支撐輥的所述表面具有預(yù)定曲率，并且 所述沉積源的表面和所述掩膜的表面均具有所述預(yù)定曲率。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述沉積源和所述掩膜均是平坦的。
8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述支撐輥被配置成圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)并由此在所述沉積源前面移動(dòng)所述柔性基板。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK103805957SQ201310571206
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月14日
【發(fā)明者】林亨澤, 樸鎮(zhèn)佑 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司