薄膜蒸鍍用掩膜組件及其制造方法
【專(zhuān)利摘要】用于薄膜蒸鍍的掩膜組件包括：形成開(kāi)口部的框架主體；在沿第一方向受到拉伸力的狀態(tài)下，兩端部固定于框架主體的多個(gè)單位掩膜；設(shè)置于框架主體的端部拉伸單元。端部拉伸單元在多個(gè)單位掩膜中相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間沿與第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)而用于沿第二方向拉伸單位掩膜的端部。
【專(zhuān)利說(shuō)明】薄膜蒸鍍用掩膜組件及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及掩膜組件，尤其涉及在有機(jī)發(fā)光層或金屬層等的薄膜蒸鍍工藝中使用的掩膜組件及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置(LXD)和有機(jī)發(fā)光顯示裝置(OLED)作為平板顯示裝置而被廣泛使用。平板顯示裝置包括特定圖案的金屬層，而對(duì)于有機(jī)發(fā)光顯示裝置而言，針對(duì)每個(gè)像素都形成有特定圖案的有機(jī)發(fā)光層。作為形成金屬層和有機(jī)發(fā)光層的方法可應(yīng)用利用掩膜組件的蒸鍍法。
[0003]掩膜組件由形成有與金屬層或有機(jī)發(fā)光層的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的掩膜和支撐掩膜的框架構(gòu)成。在分割掩膜方式中，掩膜被分割成形成為帶狀的多個(gè)單位掩膜，各個(gè)單位掩膜在沿長(zhǎng)度方向拉伸的狀態(tài)下通過(guò)熔接而固定于框架。分割掩膜方式具有能夠選擇使用優(yōu)質(zhì)品且容易維修的優(yōu)點(diǎn)。
[0004]但是，單位掩膜僅沿一個(gè)方向受到拉伸力，因此單位掩膜雖然沿拉伸方向(B卩，長(zhǎng)度方向)被拉長(zhǎng)，然而在與拉伸方向垂直相交的方向(即，寬度方向)上則發(fā)生收縮現(xiàn)象，從而有可能使整個(gè)掩膜發(fā)生褶皺。單位掩膜的寬度越大，這種褶皺現(xiàn)象越明顯。
[0005]而且，單位掩膜的兩側(cè)端部在被夾具固定的狀態(tài)下被拉伸，然而單位掩膜本身由較薄的金屬板材形成，因此單位掩膜有可能無(wú)法承受夾具拽拉的力而以被固定在夾具的端部為中心發(fā)生褶皺。在單位掩膜的端部產(chǎn)生的褶皺有可能被擴(kuò)張到形成有開(kāi)口部的單位掩膜的中心部而引發(fā)蒸鍍不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種在分割掩膜方式的掩膜組件中，能夠抑制單位掩膜產(chǎn)生褶皺而提高薄膜的蒸鍍品質(zhì)的掩膜組件及其制造方法。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩膜組件包括:i )形成開(kāi)口部的框架主體；ii)多個(gè)單位掩膜，在沿第一方向受到拉伸力的狀態(tài)下，多個(gè)單位掩膜的兩端部固定于框架主體；iii)以及端部拉伸單元，端部拉伸單元設(shè)置于框架主體，并且在多個(gè)單位掩膜中相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間沿與第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)，以用于沿第二方向拉伸單位掩膜的端部。
[0008]在相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間可提供有一個(gè)端部拉伸單位?？蚣苤黧w可形成有用于設(shè)置端部拉伸單元的多個(gè)凹槽，單位掩膜的端部可固定于多個(gè)凹槽之間的框架主體的表面。
[0009]端部拉伸單元可包括:在凹槽的底面上與第二方向平行地形成的導(dǎo)軌；結(jié)合于導(dǎo)軌而沿第二方向滑動(dòng)的移動(dòng)部件；結(jié)合于移動(dòng)部件而控制移動(dòng)部件的移動(dòng)方向和移動(dòng)量的移動(dòng)控制部。
[0010]移動(dòng)部件的寬度可形成為小于凹槽的寬度，移動(dòng)部件的表面可以維持與框架主體的表面相同的高度。
[0011]移動(dòng)控制部可包括:設(shè)置于移動(dòng)部件的側(cè)壁且具備齒條的齒條結(jié)合部；具備與齒條嚙合的小齒輪的驅(qū)動(dòng)軸。移動(dòng)控制部還可包括設(shè)置于凹槽的側(cè)壁的引導(dǎo)結(jié)合部。引導(dǎo)結(jié)合部可沿著第二方向與齒條結(jié)合部形成面接觸，以引導(dǎo)齒條結(jié)合部的移動(dòng)。
[0012]第一方向可與單位掩膜的長(zhǎng)度方向一致，第二方向可以與單位掩膜的寬度方向一致。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的掩膜組件的制造方法包括如下步驟:i )準(zhǔn)備端部形成有擴(kuò)張部的多個(gè)單位掩膜和設(shè)置有多個(gè)端部拉伸單元的框架主體；? )將多個(gè)單位掩膜中的某一個(gè)單位掩膜沿第一方向拉伸，并在框架主體的表面上固定單位掩膜的兩端部；iii)將擴(kuò)張部固定到端部拉伸單元的移動(dòng)部件；iv)沿與第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)移動(dòng)部件，以沿第二方向拉伸單位掩膜的端部；V )將擴(kuò)張部從單位掩膜分離去除。
[0014]擴(kuò)張部在單位掩膜的每個(gè)端部具備一對(duì)，且可沿第二方向朝單位掩膜的外側(cè)突出?？蚣苤黧w形成有多個(gè)凹槽，多個(gè)凹槽中的每一個(gè)凹槽設(shè)置有端部拉伸單元，多個(gè)單位掩膜之間的每個(gè)空間，可對(duì)應(yīng)一個(gè)凹槽。
[0015]端部拉伸單元可包括:在凹槽的底面上與第二方向平行地形成的導(dǎo)軌；結(jié)合于導(dǎo)軌而沿第二方向滑動(dòng)的移動(dòng)部件；結(jié)合于移動(dòng)部件而控制移動(dòng)部件的移動(dòng)方向和移動(dòng)量的移動(dòng)控制部。
[0016]移動(dòng)部件的寬度形成為小于凹槽的寬度，移動(dòng)部件的表面可以維持與框架主體的表面相同的高度。移動(dòng)控制部可包括:設(shè)置于移動(dòng)部件的側(cè)壁且具備齒條的齒條結(jié)合部；具備與齒條嚙合的小齒輪的驅(qū)動(dòng)軸。
[0017]當(dāng)沿第二方向移動(dòng)移`動(dòng)部件時(shí)，移動(dòng)部件可遠(yuǎn)離單位掩膜。多個(gè)單位掩膜可包括第一單位掩膜和第二單位掩膜。第二單位掩膜在第一單位掩膜固定于框架主體之后固定于第一單位掩膜的一旁，一個(gè)端部拉伸單元可依次固定于第一單位掩膜的擴(kuò)張部和第二單位掩膜的擴(kuò)張部。
[0018]第一方向與單位掩膜的長(zhǎng)度方向一致，第二方向可以與單位掩膜的寬度方向一致。
[0019]通過(guò)沿第二方向拉伸因第一方向的拉伸而產(chǎn)生褶皺的單位掩膜，可有效地消除單位掩膜的褶皺。因此可抑制因褶皺而引起的單位掩膜的圖案開(kāi)口部的變形，從而提高薄膜的蒸鍍品質(zhì)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩膜組件的分解立體圖。
[0021]圖2為示出圖1的A部分的放大圖。
[0022]圖3為圖2所示的端部拉伸單元的剖面圖。
[0023]圖4為圖2所示的端部拉伸單元的局部立體圖。
[0024]圖5為示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩膜組件的制造方法的工序順序圖。
[0025]圖6為示出圖5所示的第一步驟至第三步驟的掩膜組件的局部立體圖。
[0026]圖7為示出圖5所示的第四步驟的掩膜組件的局部立體圖。
[0027]圖8為示出圖5所示的第五步驟的掩膜組件的局部立體圖。[0028]符號(hào)說(shuō)明
[0029]100:掩膜組件10:單位掩膜
[0030]20:框架主體22:凹槽
[0031]30:端部拉伸單元31:移動(dòng)部件
[0032]32:導(dǎo)軌33:移動(dòng)控制部
【具體實(shí)施方式】
[0033]以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，以使本發(fā)明所屬的【技術(shù)領(lǐng)域】里的具有普通知識(shí)的技術(shù)人員能夠容易地實(shí)施。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)為各種不同的形態(tài)，并不局限于在此說(shuō)明的實(shí)施例。
[0034]在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，當(dāng)指出某個(gè)部分“包括”某個(gè)構(gòu)成要素時(shí)，除非有特殊的相反的記載，否則是意味著還可以包括其他構(gòu)成要素。而且，在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，當(dāng)描述為層、膜、區(qū)域、板等部分位于其他部分“上”或“之上”時(shí)，這不僅包含位于其他部分“緊上方”的情形，而且還包含兩者中間存在另一部分的情形。而且，所謂“上”或“之上”是指位于對(duì)象部分的上方或下方的情形，并非指以重力方向?yàn)榛鶞?zhǔn)位于上側(cè)的情形。
[0035]圖1為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩膜組件的分解立體圖，圖2為示出圖1的A部分的放大圖。
[0036]參照?qǐng)D1和 圖2，本實(shí)施例的掩膜組件100包括:多個(gè)單位掩膜10 ;支撐多個(gè)單位掩膜10的框架主體20 ;設(shè)置于框架主體20的多個(gè)端部拉伸單元30。
[0037]各個(gè)單位掩膜10為帶狀，具有預(yù)定的長(zhǎng)度和寬度。在圖1和圖2中，將單位掩膜10的長(zhǎng)度方向表示為第一方向，將單位掩膜10的寬度方向表示為第二方向。各個(gè)單位掩膜10在沿第一方向受到拉伸力的狀態(tài)下，兩側(cè)端部通過(guò)熔接而固定于框架主體20，由此支撐于框架主體20。
[0038]多個(gè)單位掩膜10沿著第二方向彼此相隔預(yù)定距離而并排布置于框架主體20上。各單位掩膜10的端部可形成有用于結(jié)合到向單位掩膜10施加拉伸力的夾具(未圖示)的一對(duì)突出部11。
[0039]各個(gè)單位掩膜10形成有多個(gè)圖案開(kāi)口部15。多個(gè)圖案開(kāi)口部15沿著第一方向彼此相隔預(yù)定距離并排布置。圖案開(kāi)口部15由多個(gè)微細(xì)開(kāi)口部形成，各個(gè)微細(xì)開(kāi)口部以與欲要蒸鍍的薄膜相同的形狀形成。據(jù)此，在蒸鍍工序中，蒸鍍物質(zhì)通過(guò)圖案開(kāi)口部蒸鍍到基板上，從而形成所期望的形狀的薄膜(有機(jī)發(fā)光層或金屬層等)。
[0040]一個(gè)圖案開(kāi)口部15可對(duì)應(yīng)于一個(gè)平板顯示裝置(例如，有機(jī)發(fā)光顯示裝置)。此時(shí)，可通過(guò)利用一個(gè)掩膜組件100的單一工序同時(shí)蒸鍍相當(dāng)于多個(gè)平板顯示裝置的圖案。即，掩膜組件100對(duì)應(yīng)于一個(gè)母基板，可在母基板上同時(shí)形成相當(dāng)于多個(gè)平板顯示裝置的圖案。
[0041]框架主體20形成為中央形成開(kāi)口部21的四邊框形狀。與單位掩膜10相接的框架主體20的兩個(gè)邊與第二方向平行，另外兩個(gè)邊與第一方向平行。通過(guò)框架主體20的開(kāi)口部21，形成于多個(gè)單位掩膜10的圖案開(kāi)口部15得以暴露。
[0042]隨著受到拉伸力的多個(gè)單位掩膜10被固定于框架主體20，壓縮力沿著單位掩膜10的拉伸方向(即，第一方向)作用于框架主體20。框架主體20可由剛性較大的金屬材料(例如，不銹鋼等金屬)制造，以避免產(chǎn)生依據(jù)壓縮力的變形。
[0043]多個(gè)端部拉伸單元30設(shè)置在用于固定單位掩膜10的端部的框架主體20的兩個(gè)邊，且沿著第二方向彼此隔開(kāi)預(yù)定距離而設(shè)置。各個(gè)端部拉伸單元30包括在給定的空間內(nèi)沿第二方向移動(dòng)的移動(dòng)部件31。
[0044]由于單位掩膜10僅在第一方向上受到拉伸力，因此沿第二方向發(fā)生收縮現(xiàn)象而容易產(chǎn)生褶皺。端部拉伸單元30用來(lái)暫時(shí)與單位掩膜10的端部固定，并沿著第二方向拉伸單位掩膜10的端部以消除單位掩膜10所產(chǎn)生的褶皺。
[0045]具體來(lái)講，各個(gè)單位掩膜10形成有用于固定在移動(dòng)部件31的擴(kuò)張部12 (圖2中用虛線(xiàn)表示)，隨著執(zhí)行沿第二方向的拉伸而消除褶皺之后，擴(kuò)張部12從單位掩膜10中被去除。對(duì)于利用擴(kuò)張部12以及端部拉伸單元30的單位掩膜10的褶皺消除過(guò)程，將在后述的掩膜組件100的制造方法中進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0046]端部拉伸單元30位于各單位掩膜10的兩側(cè)(左右側(cè))。此時(shí)，彼此相鄰的兩個(gè)單位掩膜10可依次固定于一個(gè)端部拉伸單元30，因此相鄰的兩個(gè)單位掩膜10之間設(shè)有一個(gè)端部拉伸單元30。
[0047]進(jìn)而，多個(gè)端部拉伸30對(duì)應(yīng)于多個(gè)單位掩膜10之間的空間和最外圍單位掩膜10的外側(cè)空間而設(shè)置。即，當(dāng)假設(shè)單位掩膜10的數(shù)量為η時(shí)，框架主體20的一個(gè)邊將提供有η+1個(gè)端部拉伸單元30。相鄰的兩個(gè)單位掩膜10之間設(shè)有一個(gè)端部拉伸單元30，因此可使不必要的空間擴(kuò)張趨于最小，且可縮小單位掩膜10之間的間距。
[0048]框架主體20形成有用于設(shè)置端部拉伸單元30的多個(gè)凹槽22，在沒(méi)有形成凹槽22的表面23上通過(guò)熔接而與單位掩膜10固定。
[0049]圖3為圖2所示的端部拉伸單元的剖面圖，圖4為圖2所示的端部拉伸單元的局部立體圖。
`[0050]參照?qǐng)D3和圖4，端部拉伸單元30包括:形成于凹槽22的導(dǎo)軌32 ;結(jié)合于導(dǎo)軌32的移動(dòng)部件31 ;控制移動(dòng)部件31的移動(dòng)的移動(dòng)控制部33。
[0051]導(dǎo)軌32在凹槽22的底面上與第二方向平行地形成，且以槽或凸起的形態(tài)提供。雖然在圖3中以在凹槽22的底面形成有由槽構(gòu)成的兩個(gè)導(dǎo)軌32的情形為例進(jìn)行了示出，然而導(dǎo)軌32的數(shù)量和形態(tài)并不局限于所示的示例。
[0052]移動(dòng)部件31結(jié)合于導(dǎo)軌32，從而在凹槽22內(nèi)沿第二方向滑動(dòng)。移動(dòng)部件31與導(dǎo)軌凸起32之間可具有凸起-槽的結(jié)合結(jié)構(gòu)。移動(dòng)部件31的寬度形成為小于凹槽22的寬度，從而使移動(dòng)部件31能夠在凹槽22內(nèi)左右移動(dòng)。而且，移動(dòng)部件31的表面S31維持與框架主體20的表面23相同的高度。
[0053]移動(dòng)控制部33結(jié)合于移動(dòng)部件31，以控制沿第二方向的移動(dòng)部件31的移動(dòng)。移動(dòng)控制部33可包括:設(shè)置于移動(dòng)部件31的側(cè)壁且具備齒條341的齒條結(jié)合部34 ;具備與齒條341嚙合的小齒輪351的驅(qū)動(dòng)軸35。驅(qū)動(dòng)軸35可位于凹槽22的一側(cè)側(cè)壁與移動(dòng)部件31之間，其在支撐于框架主體20的狀態(tài)下結(jié)合于外部動(dòng)力源(未圖示)而能夠旋轉(zhuǎn)。
[0054]以圖3為基準(zhǔn)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸35沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，齒條結(jié)合部34遠(yuǎn)離凹槽22的側(cè)壁的同時(shí)，移動(dòng)部件31朝右側(cè)移動(dòng)。相反，當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸35沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，齒條結(jié)合部34被拉向凹槽22的側(cè)壁的同時(shí)，移動(dòng)部件31朝左側(cè)移動(dòng)。移動(dòng)部件31的移動(dòng)量與驅(qū)動(dòng)軸35的旋轉(zhuǎn)量成比例?？筛鶕?jù)驅(qū)動(dòng)軸35的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量來(lái)精確地控制移動(dòng)部件31的移動(dòng)方向和移動(dòng)量。
[0055]移動(dòng)控制部33還可包括設(shè)置于凹槽22的側(cè)壁的引導(dǎo)結(jié)合部36。引導(dǎo)結(jié)合部35沿著第二方向與齒條結(jié)合部34形成面接觸而引導(dǎo)齒條結(jié)合部34的移動(dòng)。例如，齒條結(jié)合部34可包括朝驅(qū)動(dòng)軸35突出的至少一個(gè)第一水平部342，引導(dǎo)結(jié)合部36可包括沿著第二方向與第一水平部342形成面接觸的至少一個(gè)第二水平部361。
[0056]第一水平部342和第二水平部361可分別具備一對(duì)。此時(shí)，可在某一個(gè)第一水平部342的內(nèi)側(cè)形成齒條341。而且，一對(duì)第二水平部361中的某一個(gè)第二水平部361可在第一水平部342的外側(cè)與第一水平部342形成面接觸，而另一個(gè)第二水平部361可在第一水平部342的內(nèi)側(cè)與第一水平部342形成面接觸。
[0057]移動(dòng)控制部33的構(gòu)成不局限于前述的示例，只要是能夠使移動(dòng)部件31在凹槽22沿第二方向滑動(dòng)的構(gòu)成，則均可適用。
[0058]以下，對(duì)掩膜組件100的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0059]圖5為示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩膜組件的制造方法的工序順序圖。
[0060]參照?qǐng)D5，掩膜組件的制造方法包括:準(zhǔn)備端部形成有擴(kuò)張部的多個(gè)單位掩膜以及設(shè)置有多個(gè)端部拉伸單元的框架主體的第一步驟Sio ;將某一個(gè)單位掩膜沿第一方向拉伸，并在框架主體的表面上固定單位掩膜的兩端部的第二步驟S20 ;將擴(kuò)張部固定到端部拉伸單元的移動(dòng)部件的第三步驟S30。
[0061]而且，掩膜組件的制造方法包括:沿與第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)移動(dòng)部件，以沿第二方向拉伸單位掩膜的端部的第四步驟S40 ;將擴(kuò)張部從單位掩膜分離去除的第五步驟S50。在第二步驟S20`的拉伸過(guò)程中單位掩膜上有可能發(fā)生褶皺，此時(shí)所產(chǎn)生的單位掩膜的褶皺在第四步驟S40的拉伸過(guò)程中被去除。
[0062]經(jīng)過(guò)第二步驟S20至第五步驟S50，一個(gè)單位掩膜被固定于框架主體，而在被固定的單位掩膜的一旁，另一單位掩膜經(jīng)過(guò)第二步驟S20至第五步驟S50而固定于框架主體。即，對(duì)每個(gè)單位掩膜重復(fù)進(jìn)行第二步驟S20至第五步驟S50，從而多個(gè)單位掩膜被固定于框架主體。
[0063]圖6為示出圖5所示的第一步驟至第三步驟的掩膜組件的局部立體圖。
[0064]參照?qǐng)D6，在第一步驟S10，單位掩膜10形成一對(duì)突出部11和一對(duì)擴(kuò)張部12。一對(duì)突出部11沿第一方向朝單位掩膜10的外側(cè)突出，一對(duì)擴(kuò)張部12沿第二方向槽單位掩膜10的外側(cè)突出。而且，在第一步驟S10，框架主體20設(shè)置有多個(gè)端部拉伸單元30。端部拉伸單元30的位置和詳細(xì)結(jié)構(gòu)與前述的情形相同，因此省略詳細(xì)的說(shuō)明。
[0065]在第二步驟S20，一對(duì)突出部11結(jié)合到未圖示的夾具中，而單位掩膜10借助由夾具施加的外力而沿第一方向被拉伸。沿第一方向被拉伸的單位掩膜10通過(guò)熔接而固定于框架主體20的表面23。
[0066]在此過(guò)程中，單位掩膜10僅沿一個(gè)方向受到拉伸力，因此在與被拉伸的方向垂直相交的方向(即，第二方向)上發(fā)生收縮現(xiàn)象，從而可能使整個(gè)單位掩膜10發(fā)生褶皺。而且，單位掩膜10由較薄的金屬板材形成，因此根據(jù)夾具拽拉的力，突出部11周?chē)赡馨l(fā)生褶皺。
[0067]在第三步驟S30，擴(kuò)張部12通過(guò)熔接而固定到端部拉伸單元30的移動(dòng)部件31。此時(shí)，移動(dòng)部件31位于在凹槽22中最為靠近單位掩膜10的位置。即，移動(dòng)控制部33可確定移動(dòng)部件31的位置，以使得朝向單位掩膜10的凹槽22的一側(cè)的側(cè)壁與移動(dòng)部件31之間的距尚最小。
[0068]圖7為示出圖5所示的第四步驟的掩膜組件的局部立體圖。
[0069]參照?qǐng)D7，在第四步驟S40，移動(dòng)部件31沿第二方向滑動(dòng)，由此沿第二方向拉伸單位掩膜10的端部。據(jù)此，去除在第二步驟S20中產(chǎn)生的單位掩膜10的褶皺。
[0070]基于圖3所示的移動(dòng)控制部33的結(jié)構(gòu)，對(duì)于以圖7為基準(zhǔn)而位于單位掩膜的右側(cè)的移動(dòng)部件31，通過(guò)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸35，使移動(dòng)部件31朝右側(cè)移動(dòng)。相反，對(duì)于位于單位掩膜10的左側(cè)的移動(dòng)部件31，通過(guò)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸35，使移動(dòng)部件31朝左側(cè)移動(dòng)。
[0071]如此，使位于單位掩膜10的左側(cè)和右側(cè)的兩個(gè)移動(dòng)部件31朝彼此遠(yuǎn)離的方向滑動(dòng)，據(jù)此沿第二方向拉伸單位掩膜10的端部。由于可根據(jù)驅(qū)動(dòng)軸35的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量來(lái)精確地控制移動(dòng)部件31的移動(dòng)方向和移動(dòng)量，因此可精細(xì)地控制用于去除褶皺的針對(duì)單位掩膜10的拉伸力。
[0072]圖8為示出圖5所示的第五步驟的掩膜組件的局部立體圖。
[0073]參照?qǐng)D8，在第五步驟S50，擴(kuò)張部12從單位掩膜IOa中被分離去除。經(jīng)過(guò)第二步驟S20至第五步驟S50，一個(gè)單位掩膜IOa無(wú)褶皺地固定于框架主體20。此后，在被固定的單位掩膜IOa的一旁，另一單位掩膜IOb被提供，并重復(fù)第二步驟S20至第五步驟S50而固定于框架主體20。
[0074]為了便于說(shuō)明，將首先被固定的單位掩膜稱(chēng)為第一單位掩膜10a，而之后被固定的單位掩膜則稱(chēng)為第二單位掩膜10b。在拉伸第一單位掩膜IOa時(shí)使用的移動(dòng)部件31，在此之后使用為與第二單位掩膜IOb的擴(kuò)張部12結(jié)合而拉伸第二單位掩膜IOb的端部。
[0075]據(jù)此，相鄰的兩個(gè)單位掩膜10a、IOb之間可布置有一個(gè)端部拉伸單元30。其結(jié)果，使得端部拉伸單元30在框架主體20中所占的空間最小化，從而可防止單位掩膜10a、10b之間的間距因端部拉伸單元30而被不必要地?cái)U(kuò)大。而且，可通過(guò)增加一個(gè)掩膜組件100所具備的圖案開(kāi)口部15的數(shù)量來(lái)增加可形成于一個(gè)母基板的圖案數(shù)。
[0076]如上所述，根據(jù)本實(shí)施例的掩膜組件100，通過(guò)沿第二方向拉伸因沿第一方向的拉伸而產(chǎn)生褶皺的單位掩膜10，可以有效地去除褶皺。據(jù)此，可抑制因褶皺而引起的單位掩膜10的圖案開(kāi)口部15的變形，從而提高薄膜的蒸鍍品質(zhì)。
[0077]以上，雖然對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于此，在不脫離權(quán)利要求書(shū)和對(duì)發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明以及附圖所記載的范圍的情況下，可變更實(shí)施為各種各樣，這種變更實(shí)施屬于本發(fā)明的范圍是顯而易見(jiàn)的。
【權(quán)利要求】
1.一種掩膜組件，其中包括: 形成開(kāi)口部的框架主體； 多個(gè)單位掩膜，在沿第一方向受到拉伸力的狀態(tài)下，多個(gè)所述單位掩膜的兩端部固定于所述框架主體；以及 端部拉伸單元，所述端部拉伸單元設(shè)置于所述框架主體，并且在所述多個(gè)單位掩膜中相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間沿與所述第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)而用于沿所述第二方向拉伸所述單位掩膜的端部。
2.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，在所述相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間提供有一個(gè)所述端部拉伸單位。
3.如權(quán)利要求2所述的掩膜組件，其中，所述框架主體形成有用于設(shè)置所述端部拉伸單元的多個(gè)凹槽， 所述單位掩膜的端部固定于所述多個(gè)凹槽之間的所述框架主體的表面。
4.如權(quán)利要求3所述的掩膜組件，其中，所述端部拉伸單元包括: 在所述凹槽的底面上與所述第二方向平行地形成的導(dǎo)軌； 結(jié)合于所述導(dǎo)軌而沿所述第二方向滑動(dòng)的移動(dòng)部件； 結(jié)合于所述移動(dòng)部件而控制所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向和移動(dòng)量的移動(dòng)控制部。
5.如權(quán)利要求4所述的掩膜組件，其中，所述移動(dòng)部件的寬度形成為小于所述凹槽的寬度，` 所述移動(dòng)部件的表面維持與所述框架主體的表面相同的高度。
6.如權(quán)利要求4所述的掩膜組件，其中，所述移動(dòng)控制部包括: 設(shè)置于所述移動(dòng)部件的側(cè)壁且具備齒條的齒條結(jié)合部； 具備與所述齒條嚙合的小齒輪的驅(qū)動(dòng)軸。
7.如權(quán)利要求6所述的掩膜組件，其中，所述移動(dòng)控制部還包括設(shè)置于所述凹槽的側(cè)壁的引導(dǎo)結(jié)合部， 所述引導(dǎo)結(jié)合部沿著所述第二方向與所述齒條結(jié)合部形成面接觸而引導(dǎo)所述齒條結(jié)合部的移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的掩膜組件，其中，所述第一方向與所述單位掩膜的長(zhǎng)度方向一致， 所述第二方向與所述單位掩膜的寬度方向一致。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK103820753SQ201310548317
【公開(kāi)日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月15日
【發(fā)明者】金容煥 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司