專利名稱：包括沉積掩模的制造裝置的制作方法
技術領域：
描述的技術總體上涉及包括沉積掩模的制造裝置。
背景技術：
有機發(fā)光二級管(OLED)顯示器包括兩個電極和它們之間的有機發(fā)射層。從一個電極注入的電子和從另一個電極注入的空穴在有機發(fā)射層彼此結合以形成激子，激子在發(fā)出能量時發(fā)光。為了形成有機發(fā)射層，必須在基板上沉積有機材料，為了做到這一點，加熱用有機材料填充的沉積源以蒸發(fā)有機材料，并將其噴射在基板之上。在這種情況下，為了以特定的圖案沉積蒸發(fā)和噴射的有機材料，對應于沉積該有機材料的特定位置形成開口，由金屬材料制成的沉積掩模用于其余位置。根據制造方法，沉積掩模分為分開掩模或者不分開掩模。通過使用安裝在制造裝置的兩端處的夾持器向掩模片施加張力牽拉按單元分開的掩模片的兩端，并將它焊接到掩模框架來使用分開掩模。通過使用在制造裝置的四個角處安裝的夾持器向母掩模施加張力牽拉未被分開的母掩模，并將它焊接到掩?？蚣軄硎褂貌环珠_掩模(即，常規(guī)的掩模)。具體地講，因為分開方法允許良好的選擇，并且容易維修，所以分開方法廣泛地應用于大規(guī)模生產。然而，因為分開掩模將分開掩模片的兩端與夾持器結合，并對其施加張力，所以分開掩模片的兩端會褶皺。這是因為，當夾持薄膜分開掩模片時，薄膜分開掩模片可能經受不住夾持器的夾持力，所以在分開掩模的兩端會產生褶皺?？梢詼p弱夾持力以阻止褶皺的產生，但是在這種情況 下，可能不能提供精確的張力，并且夾持會松弛。另外，當在分開掩模片的長度方向上產生褶皺時，可以通過對分開掩模片的兩端施加張力并對其進行夾持來去除褶皺，當在分開掩模片的寬度方向上已經產生褶皺時，當對分開掩模片的兩端施加張力時，褶皺不會去除。另外，可以在將分開掩模片裝載到掩?？蚣苤暗碾A段中通過真空固定分開掩模片，當夾持器夾持分開掩模片時，分開掩模片的位置會改變，所以分開掩模片的一端或兩端可能未夾持在精確的位置。在本背景技術部分公開的上述信息僅為了增強對描述的技術背景的理解，因此它可能包含不構成在本國對于本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發(fā)明內容
本發(fā)明的實施例提供了一種包括沉積掩模的制造裝置，用于減少或者防止分開掩模片在夾持過程中產生褶皺，并且控制或者避免不當的夾持(例如，錯誤的夾持)。本發(fā)明的示例性實施例提供了一種包括沉積掩模的制造裝置，所述裝置包括:夾持器，用于固定其上形成有銷孔的分開掩模片的端部；夾持銷，位于夾持器中，用于插入到銷孔中；以及提升器，用于提升夾持銷。所述夾持器可以包括:上夾持器，用于接觸分開掩模片的端部的上側；以及下夾持器，用于接觸分開掩模片的端部的下側，并且具有用于將分開掩模片的端部附貼在下夾持器上的抽吸槽。夾持銷可以在抽吸槽中。用于提升夾持銷的提升孔可以位于下夾持器處。用于容納夾持銷的插入槽可以位于上夾持器處。提升器可以通過提升孔結合到夾持銷。抽吸槽可以結合到用于附貼分開掩模片的端部的真空。沉積掩?？梢园ǘ鄠€分開掩模片。根據本實施例，可以在夾持器中安裝抽吸槽和夾持銷以固定分開掩模片，所以可以夾持分開掩模片，同時分開掩模片在裝載到掩?？蚣苤安话欛薅瞧教沟摹Ｒ虼?，可以消除在夾持分開掩模片的過程中發(fā)生的褶皺和不當的夾持的現象。另外，沿四個傾斜的方向延伸分開掩模片，從而可以去除分開掩模片的在其寬度方向的褶皺。


圖1示出了根據本發(fā)明示例性實施例的分開掩模片和包括沉積掩模的制造裝置的透視圖。圖2示出了根據本發(fā)明示例性實施例的與包括沉積掩模的制造裝置對應的分開掩模片的俯視圖。 圖3示出了根據本發(fā)明示例性實施例的包括沉積掩模的制造裝置的夾持器的透視圖。圖4示出了根據本發(fā)明示例性實施例的包括沉積掩模的制造裝置的剖視圖。圖5示出了根據本發(fā)明示例性實施例的通過使用包括沉積掩模的制造裝置去除分開掩模片上的褶皺的方法。
具體實施例方式在下文中將參照附圖更充分地描述本發(fā)明的實施例，附圖中示出了本發(fā)明的示例性實施例。如本領域技術人員將認識到的，描述的實施例可以以各種不同的方式進行修改，而均未脫離本發(fā)明的精神或范圍。相同的標號貫穿說明書表示相同的元件。另外，為了解釋方便，會任意地示出在附圖中所示的各個結構組件的尺寸和厚度，本發(fā)明不必局限于所示出的比例?，F將參照圖1至圖5詳細地描述根據本發(fā)明示例性實施例的沉積掩模。圖1示出了根據本發(fā)明示例性實施例的分開掩模片和包括沉積掩模的制造裝置的透視圖，圖2示出了根據本發(fā)明示例性實施例的與包括沉積掩模的制造裝置對應的分開掩模片的俯視圖，圖3示出了根據本發(fā)明示例性實施例的包括沉積掩模的制造裝置的的夾持器的透視圖，圖4示出了根據本發(fā)明示例性實施例的包括沉積掩模的制造裝置的剖視圖。在本發(fā)明的示例性實施例中，沉積掩?？梢园ǘ鄠€分開掩模片。
如圖1至圖4中所示，本實施例的包括沉積掩模的制造裝置包括用于固定其上形成有銷孔(12a、13a、14a、15a)的分開掩模片10的端部的多個夾持器100、對應于每個夾持器100并插入到銷孔(12a、13a、14a、15a)中的夾持銷200以及用于提升夾持銷200的提升器 300。分開掩模片10包括其上形成有掩模圖案I的掩模主體11、從掩模主體11的左上角延伸的左上角單元12、從掩模主體11的左下角延伸并且遠離左上角單元12的左下角單元13、從掩模主體11的右上角延伸的右上角單元14以及從掩模主體11的右下角延伸并且遠離右上角單元14的右下角單元15。銷孔(12a、13a、14a、15a)分別形成在左上角單元
12、左下角單元13、右上角單元14和右下角單元15上。多個夾持器100包括用于固定分開掩模片10的左上角單元12的左上角單元夾持器110、用于固定左下角單元13的左下角夾持器120、用于固定右上角單元14的右上角夾持器130以及用于固定右下角單元15的右下角夾持器140。夾持器(110、120、130、140)能夠在四個方向對分開掩模片10應用張力，并固定分開掩模片10以減少或者消除分開掩模片10的褶皺的產生?，F將描述四個夾持器(110、120、130、140)中的左上角單元夾持器110，因為三個夾持器120、130和140具有與左上角單元夾持器110的構造基本上等同的構造，因此將僅描述左上角單元夾持器110。左上角單元夾持器110包括接觸分開掩模片10的左上角單元12的上側的上夾持器111和接觸分開掩模片10的左上角單元12的下側的下夾持器112。用于吸收分開掩模片10的左上角單元12的吸收槽(例如抽吸槽)112a形成在下夾持器112上。吸收槽112a通過形成在吸收槽112a的內壁上或結合到吸收槽112a的內壁的真空管112b連接到用于·產生真空的真空裝置400。通過使用吸收槽112a并吸收和固定分開掩模片10的左上角單元12以平坦的方式將分開掩模片10裝載到夾持器100 (例如，左上角單元夾持器110)，由此控制或者避免分開掩模片10在夾持過程中產生褶皺，并減少不當的夾持現象的影響或者完全消除不當的夾持現象。夾持銷210設置在吸收槽112a中。夾持銷210插入到形成在分開掩模片10的左上角單元12上的銷孔12a中以固定分開掩模10。夾持銷210可以插入到其中的插入槽Illa形成在上夾持器111上。圖5示出了本發(fā)明示例性實施例的通過使用包括沉積掩模的制造裝置去除分開掩模片上的褶皺的方法。如圖5中所示，將夾持銷(210、220、230、240)插入到分別形成在分開掩模片10的左上角單元12、左下角單元13、右上角單元14和右下角單元15上的銷孔(12a、13a、14a、15a)中，夾持銷(210、220、230、240)相對于銷孔(12a、13a、14a、15a)是傾斜的方向。即，插入到形成在分開掩模片10的左上角單元12上的銷孔12a中的夾持銷210位于銷孔12a內部的左上角，插入到形成在分開掩模片10的左下角單元13上的銷孔13a中的夾持銷220位于銷孔13a內部的左下角，插入到形成在分開掩模片10的右上角單元14上的銷孔14a中的夾持銷230位于銷孔14a內部的右上角，以及插入到形成在分開掩模片10的右下角單元15上的銷孔15a中的夾持銷240位于銷孔15a內部的右下角。
因此，夾持銷(210、220、230、240)從四個傾斜的方向(A、B、C、D)延伸分開掩模片10，所以分開掩模片10沿分開掩模片10的長度方向(L)和寬度方向(W)被牽拉，從而減少或者消除分開掩模片10的褶皺的產生。因此，通過使用夾持銷(210、220、230、240)減少或者消除了在將分開掩模片10裝載到掩?？蚣苤爱a生的褶皺，并且分開掩模片10在分開掩模片10基本上不皺褶的同時被夾持，由此有效地減少或者消除了在夾持工藝中會產生的褶皺。另外，通過使用夾持銷(210、220、230、240)從四個傾斜的方向延伸分開掩模片10，所以減少或者消除了掩模片10的寬度方向(W)上的褶皺。在下夾持器112中形成提升孔112c，通過提升孔112c可以提升夾持銷210。在吸收槽112a的下側上形成提升孔112c。提升器300通過提升孔112c結合到夾持銷210，提升孔112c可以通過使用提升器300提升夾持銷210。本實施例的提升器300包括壓縮機。當分開掩模片10厚或者分開掩模的褶皺小時，不期望使用夾持銷，所以可以通過使用提升器300下降穿過提升孔112c的夾持銷210而通過使用夾持器100來固定分開掩模片10。雖然已經結合目前被視為實際的示例性實施例的內容描述了本公開，但應當理解，本發(fā)明不限于所公開的實施例，而是相反，本發(fā) 明意在覆蓋包括在所附權利要求的精神和范圍內的各種修改和等同布置及其等同物。
權利要求
1.一種包括沉積掩模的制造裝置，所述裝置包括: 夾持器，用于固定其上形成有銷孔的分開掩模片的端部； 夾持銷，位于夾持器中，用于插入到銷孔中；以及 提升器，用于提升夾持銷。
2.根據權利要求1所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，所述夾持器包括: 上夾持器，用于接觸分開掩模片的端部的上側；以及 下夾持器，用于接觸分開掩模片的端部的下側，并且具有用于將分開掩模片的端部附貼在下夾持器上的抽吸槽。
3.根據權利要求2所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，夾持銷在抽吸槽中。
4.根據權利要求3所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，用于提升夾持銷的提升孔位于下夾持器中。
5.根據權利要求4所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，用于容納夾持銷的插入槽位于上夾持器中。
6.根據權利要求4所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，提升器通過提升孔結合到夾持銷。
7.根據權利要求3所述的包括沉積掩模的制造裝置，其中，抽吸槽結合到用于附貼分開掩模片的端部的真空。
8.根據權利要求1所述 的包括沉積掩模的制造裝置，其中，沉積掩模包括多個分開掩模片。
全文摘要
提供了一種包括沉積掩模的制造裝置，所述制造裝置包括夾持器，用于固定其上形成有銷孔的分開掩模片的端部；夾持銷，位于夾持器中，用于插入到銷孔中；以及提升器，用于提升夾持銷。
文檔編號C23C14/04GK103243294SQ201310041989
公開日2013年8月14日 申請日期2013年2月1日 優(yōu)先權日2012年2月2日
發(fā)明者金容煥 申請人:三星顯示有限公司