專利名稱：單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及冷卻裝置領(lǐng)域，特別涉及一種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置。
背景技術(shù)：
加工藍(lán)寶石晶片或硅片的拋光制程，一般包括腐蝕、光亮和過腐蝕三個階段，隨著溫度不斷升高，將使得拋光過程比較難控制，更難利用時間來控制拋光晶片處于光亮階段，很容易過腐蝕，造成藍(lán)寶石晶片或硅片損壞甚至報廢。藍(lán)寶石晶片或硅片進(jìn)行拋光制程中，一般對拋光盤的溫度控制要求在25°C左右為佳，溫度若控制過高時，容易對拋光藍(lán)寶石晶片或硅片產(chǎn)生過腐蝕現(xiàn)象，影響加工晶片表面質(zhì)量和加工精度。所以，在拋光制程中為了減小溫度對加工晶片的影響，目前有多種方案來 控制拋光盤的溫度。為了減小溫度對加工晶片的影響，現(xiàn)在在拋光過程中有通過以下幾種方法來控制拋光盤的溫度I)控制加工環(huán)境溫度；此種控制方式，冷卻效果不明顯，而且成本較高，目前已被其他冷卻方式所代替。2)對拋光液進(jìn)行冷卻；通過對拋光或研磨液冷卻來控制加工エ件的溫度，此方案冷卻不明顯，并且跟拋光液流量、濃度、加工壓カ等關(guān)系較大，冷卻的溫度不能控制在恒溫狀態(tài)，同樣對溫度控制不太好。3)對加工盤面進(jìn)行冷卻；此方案冷卻溫度在可控范圍內(nèi)，比前面兩種方案冷卻效果都要好，是目前應(yīng)用最廣泛的冷卻方式。但是此種方案需要采用旋轉(zhuǎn)接頭對盤面冷卻；旋轉(zhuǎn)接頭安裝簡單，但容易損壞，需要經(jīng)常進(jìn)行維護(hù)。螺紋接ロ的旋轉(zhuǎn)接頭跟盤面旋轉(zhuǎn)方向相關(guān)，會影響采購時因螺紋旋向出現(xiàn)訂貨錯誤等。因此，如何避免采用旋轉(zhuǎn)接頭帶來的一些缺陷，使得設(shè)備便于維護(hù)，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中實現(xiàn)對拋光盤冷卻的裝置存在的缺陷。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，用于可轉(zhuǎn)動地安裝至單面研磨拋光機(jī)的支撐柱上，包括中心軸，其具有通孔，且兩端密封處理，另一端設(shè)有用于與單面研磨拋光機(jī)的拋光盤對應(yīng)的圓盤，所述圓盤上開設(shè)有回水口和與所述通孔連通的出水通道；可相對轉(zhuǎn)動地套設(shè)于所述中心軸上的旋轉(zhuǎn)水套，所述旋轉(zhuǎn)水套上設(shè)有冷卻水出水口和與所述通孔連通的冷卻水進(jìn)水口；一端與所述回水ロ連通，另一端與所述冷卻水出水ロ連通的中心水管。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述回水口布置于所述圓盤的中心；所述出水通道的出水接ロ布置于所述回水口的外側(cè)。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述出水接ロ為多個，且以所述回水口為中心，均勻布置。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述旋轉(zhuǎn)水套通過軸承安裝至所述中心軸上。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述旋轉(zhuǎn)水套通過自潤軸承安裝至所述中心軸上。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述旋轉(zhuǎn)水套和所述中心軸之間設(shè)有密封件。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述中心水管布置于所述通孔內(nèi)。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述中心軸的通孔與所述中心軸同軸布置。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述圓盤與所述中心軸為一體式結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，在上述冷卻裝置中，所述中心軸的一端通過焊接端蓋實現(xiàn)密封。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實用新型實施例提供的單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，工作吋，冷卻水從冷卻水進(jìn)水口流入旋轉(zhuǎn)水套，通過旋轉(zhuǎn)水套流入中心軸，通過中心軸上的通孔流到出水通道，通過出水通道將冷卻水通到拋光盤面上，被噴出的冷卻水，由開設(shè)在圓盤上的回水ロ，流入中心水管，冷卻水流到旋轉(zhuǎn)水套后，從冷卻水出水ロ流出，完成整個循環(huán)過程。本實用新型通過將旋轉(zhuǎn)水套可相對轉(zhuǎn)動地設(shè)置于中心軸上，因此在中心軸旋轉(zhuǎn)過程中，并不會帶動旋轉(zhuǎn)水套跟隨轉(zhuǎn)動，即旋轉(zhuǎn)水套系靜止的。與現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)接頭相比，本實用新型不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件規(guī)格限制，不能對中心軸進(jìn)行修改。同時，不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件質(zhì)量問題對后期因標(biāo)準(zhǔn)件維修影響生產(chǎn)，具有使用及維護(hù)成本低，安裝冷卻裝置簡單，維護(hù)方便等優(yōu)點。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例提供的單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的中心軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型公開了ー種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中實現(xiàn)對拋光盤冷卻的裝置存在的缺陷。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖I和圖2，圖I為本實用新型實施例提供的單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的中心軸的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型實施例提供的單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，用于可轉(zhuǎn)動地安裝至單面研磨拋光機(jī)的支撐柱上，包括中心軸6、旋轉(zhuǎn)水套3和中心水管7。其中，中心軸6上開有通孔，該通孔優(yōu)選地開設(shè)于中心軸的中心，但并不局限于此，只要在中心軸6的軸向開設(shè)一通孔便可，本實用新型對通孔的開設(shè)位置不做限定。中心軸6兩端密封處理，在本實施例中，可采用在中心軸6的端部焊接端蓋62實現(xiàn)密封。中心軸6的另一端設(shè)有用于與單面研磨拋光機(jī)的拋光盤對應(yīng)的圓盤61 (優(yōu)選地，中心軸6與圓盤61為一體式結(jié)構(gòu))，圓盤61上開設(shè)有回水ロ D和與通孔連通的出水通道。出水通道用于將冷卻水噴射到拋光盤上進(jìn)行冷卻，噴出的冷卻水通過回水口 D流回，進(jìn)行循環(huán)。旋轉(zhuǎn)水套3可相對轉(zhuǎn)動地套設(shè)于中心軸6上，旋轉(zhuǎn)水套3上設(shè)有冷卻水出水ロ B和與通孔連通的冷卻水進(jìn)水口 A。中心水管7的一端與回水口 D連通，另一端與冷卻水出水 ロ B連通。冷卻水進(jìn)水口 A用于通入冷卻水，冷卻水會通過中心軸6上的通孔流入圓盤61上的出水通道；通過回水口 D流回的冷卻水，會通過冷卻水出水ロ B回收。本實用新型實施例提供的單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，工作時，冷卻水從冷卻水進(jìn)水口 A流入旋轉(zhuǎn)水套3，通過旋轉(zhuǎn)水套3流入中心軸6，通過中心軸6上的通孔流到出水通道，通過出水通道B將冷卻水通到拋光盤面上，被噴出的冷卻水，由開設(shè)在圓盤61上的回水ロ，流入中心水管7，冷卻水流到旋轉(zhuǎn)水套3后，從冷卻水出水ロ B流出，完成整個循環(huán)過程。本實用新型通過將旋轉(zhuǎn)水套3可相對轉(zhuǎn)動地設(shè)置于中心軸6上，因此在中心軸6旋轉(zhuǎn)過程中，并不會帶動旋轉(zhuǎn)水套3跟隨轉(zhuǎn)動，即旋轉(zhuǎn)水套3系靜止的。與現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)接頭相比，本實用新型不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件規(guī)格限制，不能對中心軸進(jìn)行修改。同時，不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件質(zhì)量問題對后期因標(biāo)準(zhǔn)件維修影響生產(chǎn)，具有使用及維護(hù)成本低，安裝冷卻裝置簡單，維護(hù)方便等優(yōu)點。在旋轉(zhuǎn)水套3上開設(shè)有與冷卻水進(jìn)水ロ A連通的第一環(huán)形槽，中心軸6上開設(shè)有與中心軸6的通孔連通的第一孔，該第一孔與第一環(huán)形槽相連通。在旋轉(zhuǎn)水套3上開設(shè)有與出水通道B連通的第二環(huán)形槽，第二環(huán)形槽與中心水管7相連通。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，回水口 D布置于圓盤61的中心；出水通道的出水接ロ C布置于回水口 D的外側(cè)。由于將出水接ロ C布置于中心外側(cè)，因此可以通過離心力的作用増大拋光盤的受冷面積。本實用新型通過開設(shè)多個出水通道和出水接ロ C，可以提高拋光盤的冷卻均勻性。在本實施例中，出水接ロ C為多個，且以回水口 D為中心，均勻布置。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，旋轉(zhuǎn)水套3通過軸承I安裝至中心軸6上。在本實施例中，軸承I為自潤軸承，即旋轉(zhuǎn)水套3通過自潤軸承安裝至中心軸6上。其具體安裝步驟為在中心軸上安裝第一個自潤軸承，將旋轉(zhuǎn)水套3安裝到中心軸6上，安裝第二個自潤軸承，圓螺母5壓緊第二個自潤軸承，以達(dá)到壓緊旋轉(zhuǎn)水套3的目的。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，旋轉(zhuǎn)水套3和中心軸6之間設(shè)有密封件2，在本實施例中，將密封件2安裝到旋轉(zhuǎn)水套3溝槽內(nèi)，密封件2在本實施例中共有三處，通過三處密封件2實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)水套3的密封，并且，密封面積小，密封效果好。[0046]為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，中心水管7布置于通孔內(nèi)，可將中心水管7的兩端分別與中心軸6和圓盤61焊接，以降低加工制造難度，減少エ序。在中心軸6內(nèi)焊接中心水管7，并將兩端焊接好端蓋，需要可對中心軸6進(jìn)行水壓測試，看是否會漏水。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，用于可轉(zhuǎn)動地安裝至單面研磨拋光機(jī)的支撐柱上，其特征在于，包括 中心軸(6)，其具有通孔，且兩端密封處理，另一端設(shè)有用于與單面研磨拋光機(jī)的拋光盤對應(yīng)的圓盤(61)，所述圓盤￠1)上開設(shè)有回水口(D)和與所述通孔連通的出水通道；可相對轉(zhuǎn)動地套設(shè)于所述中心軸(6)上的旋轉(zhuǎn)水套(3)，所述旋轉(zhuǎn)水套(3)上設(shè)有冷卻水出水口(B)和與所述通孔連通的冷卻水進(jìn)水口(A)； 一端與所述回水口(D)連通，另一端與所述冷卻水出水口(B)連通的中心水管(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷卻裝置，其特征在于，所述回水口(D)布置于所述圓盤(61)的中心； 所述出水通道的出水接口(C)布置于所述回水口(D)的外側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻裝置，其特征在于，所述出水接口(C)為多個，且以所述回水口⑶為中心,均勻布置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷卻裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)水套(3)通過軸承(I)和(4)安裝至所述中心軸(6)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的冷卻裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)水套(3)通過自潤軸承安裝至所述中心軸(6)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷卻裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)水套(3)和所述中心軸(6)之間設(shè)有密封件(2)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷卻裝置，其特征在于，所述中心水管(7)布置于所述通孔內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷卻裝置，其特征在于，所述中心軸(6)的通孔與所述中心軸(6)同軸布置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項所述的冷卻裝置，其特征在于，所述圓盤￠1)與所述中心軸(6)為一體式結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項所述的冷卻裝置，其特征在于，所述中心軸￠)的一端通過焊接端蓋￠2)實現(xiàn)密封。
專利摘要本實用新型公開了一種單面研磨拋光機(jī)用冷卻裝置，包括中心軸，其具有通孔，且兩端密封處理，另一端設(shè)有圓盤，圓盤上開設(shè)有回水口和與通孔連通的出水通道；套設(shè)于中心軸上的旋轉(zhuǎn)水套，旋轉(zhuǎn)水套上設(shè)有冷卻水出水口和與通孔連通的冷卻水進(jìn)水口；一端與回水口連通，另一端與冷卻水出水口連通的中心水管。本實用新型通過將旋轉(zhuǎn)水套可相對轉(zhuǎn)動地設(shè)置于中心軸上，在中心軸旋轉(zhuǎn)過程中，并不會帶動旋轉(zhuǎn)水套跟隨轉(zhuǎn)動，即旋轉(zhuǎn)水套系靜止的。與現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)接頭相比，本實用新型不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件規(guī)格限制，不能對中心軸進(jìn)行修改。同時，不會因外購標(biāo)準(zhǔn)件質(zhì)量問題對后期因標(biāo)準(zhǔn)件維修影響生產(chǎn)，具有使用及維護(hù)成本低，安裝冷卻裝置簡單，維護(hù)方便等優(yōu)點。
文檔編號B24B37/04GK202540147SQ201220194769
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者后建文, 徐永亮 申請人:浙江昀豐新能源科技有限公司