專利名稱：便于拆裝的石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池片生產(chǎn)過程中用于硅片鍍膜的石墨舟，具體地說是一種便于拆裝的石墨舟。
背景技術(shù)：
隨著光伏太陽能產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)太陽能電池片的需求也不斷增加。石墨舟是PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝的一種重要裝備。石墨舟通常由石墨舟片、陶瓷桿、陶瓷管、石墨螺母等組裝形成。各石墨舟片上開有相對(duì)應(yīng)的多個(gè)圓形通孔，各石墨舟片通過貫穿在圓形通孔內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體， 相鄰兩片石墨舟片之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管，每個(gè)陶瓷桿的兩端通過石墨螺母固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片上。這種結(jié)構(gòu)的石墨舟拆裝時(shí)需將陶瓷桿與陶瓷管分開作業(yè)，工人需要重復(fù)一個(gè)拆裝動(dòng)作上百次，這大大增加了工作量；同時(shí)將陶瓷桿穿入各石墨舟片的通孔中，對(duì)石墨舟片通孔的圓度和位置度的要求高，增加了拆裝石墨舟的難度，降低了工作效率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)上述問題，提供一種便于拆裝的石墨舟，該石墨舟拆裝方便，可減少勞動(dòng)量，提高工作效率。按照本實(shí)用新型的技術(shù)方案一種便于拆裝的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，所述多片石墨舟片由陶瓷桿及石墨螺母連接成舟體，所述多片石墨舟片的邊緣開有相對(duì)應(yīng)的U型槽孔，所述陶瓷桿上設(shè)有多個(gè)卡槽，所述陶瓷桿安裝于所述U型槽孔內(nèi)，并且所述卡槽卡在各片所述石墨舟片上。所述U型槽孔位于各片所述石墨舟片的橫向兩個(gè)側(cè)邊上。所述U型槽孔的軸線垂直于所述石墨舟片的橫向側(cè)邊。所述多個(gè)卡槽均布在所述陶瓷桿上。所述卡槽一體成型在所述陶瓷桿上。本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于本實(shí)用新型在石墨舟片上開有U型槽孔，在陶瓷桿上設(shè)有卡槽，通過將陶瓷桿直接放入石墨舟片的U型槽孔內(nèi)達(dá)到固定與絕緣石墨舟片的作用，操作方便，可減少工作量，提高工作效率。

圖I為現(xiàn)有的石墨舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I中的石墨舟片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖I中的陶瓷桿的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖I中的陶瓷管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。[0016]圖6為圖5中的石墨舟片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為圖5中的陶瓷桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。圖廣圖7中，包括陶瓷桿I、石墨舟片2、陶瓷管3、石墨螺母4、圓形通孔5、U型槽孔6、卡槽7等。如圖5、圖6所示，本實(shí)用新型是一種便于拆裝的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片2，多片石墨舟片2的邊緣開有相對(duì)應(yīng)的U型槽孔6，U型槽孔6位于各片石墨舟片2的橫向兩個(gè)側(cè)邊上，U型槽孔6的軸線垂直于石墨舟片2的橫向側(cè)邊。如圖7所示，陶瓷桿I的桿體上設(shè)有多個(gè)卡槽7，桿體的兩端設(shè)置有螺紋，卡槽7 —體成型在陶瓷桿I上，多個(gè)卡槽7均布在陶瓷桿I上。再參見圖5，本實(shí)用新型組裝時(shí)，陶瓷桿I安裝于多片石墨舟片2相對(duì)應(yīng)的U型槽孔6內(nèi)，并且卡槽7卡在各片石墨舟片2上，在陶瓷桿I的兩端螺紋連接有石墨螺母4，將石墨舟片2連接成舟體。本實(shí)用新型在石墨舟片2上開有U型槽孔6，在陶瓷桿I上設(shè)有卡槽7，通過將陶瓷桿I直接放入石墨舟片2的U型槽孔6內(nèi)達(dá)到固定與絕緣石墨舟片2的作用，由此可以省去將陶瓷管3依次裝在陶瓷桿I上的重復(fù)動(dòng)作，可減少工作量，提高工作效率；另外，圓形通孔5改為U型槽孔6后，明顯降低了拆裝的難度，操作方便，間接降低了勞動(dòng)成本。
權(quán)利要求1.一種便于拆裝的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片(2),所述多片石墨舟片(2)由陶瓷桿(I)及石墨螺母(4)連接成舟體，其特征是所述多片石墨舟片(2)的邊緣開有相對(duì)應(yīng)的U型槽孔(6)，所述陶瓷桿(I)上設(shè)有多個(gè)卡槽(7)，所述陶瓷桿(I)安裝于所述U型槽孔(6)內(nèi)，并且所述卡槽(7)卡在各片所述石墨舟片(2)上。
2.按照權(quán)利要求I所述的便于拆裝的石墨舟，其特征是所述U型槽孔(6)位于各片所述石墨舟片(2)的橫向兩個(gè)側(cè)邊上。
3.按照權(quán)利要求2所述的便于拆裝的石墨舟，其特征是所述U型槽孔(6)的軸線垂直于所述石墨舟片(2)的橫向側(cè)邊。
4.按照權(quán)利要求I所述的便于拆裝的石墨舟，其特征是所述多個(gè)卡槽(7)均布在所述陶瓷桿(I)上。
5.按照權(quán)利要求I所述的便于拆裝的石墨舟，其特征是所述卡槽(7)—體成型在所述陶瓷桿(I)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種便于拆裝的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，所述多片石墨舟片由陶瓷桿及石墨螺母連接成舟體，所述多片石墨舟片的邊緣開有相對(duì)應(yīng)的U型槽孔，所述陶瓷桿上設(shè)有多個(gè)卡槽，所述陶瓷桿安裝于所述U型槽孔內(nèi)，并且所述卡槽卡在各片所述石墨舟片上。本實(shí)用新型在石墨舟片上開有U型槽孔，在陶瓷桿上設(shè)有卡槽，通過將陶瓷桿直接放入石墨舟片的U型槽孔內(nèi)達(dá)到固定與絕緣石墨舟片的作用，操作方便，可減少工作量，提高工作效率。
文檔編號(hào)C23C16/458GK202530161SQ201220142899
公開日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月6日
發(fā)明者代寧, 尤耀明, 李文虎 申請(qǐng)人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司