專利名稱：用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置。
背景技術(shù)：
柔性線材泛指具有彎曲彎繞能力的線材，比如電纜、聚合物線材、金屬線材等。為了增加柔性線材的耐磨性或者耐腐蝕性或者美觀度，常常在柔性線材表面通過電弧噴鍍或者浸鍍一層或者多層保護(hù)膜，以達(dá)到柔性線材具有耐磨、耐腐蝕或者裝飾等效果。例如，中國專利文獻(xiàn)CN 1664159A公開一種“電弧噴鍍裝置”，該裝置包括線·材供給裝置，其具有將兩個(gè)噴鍍線材送出的推動輸送部；噴鍍槍，其具有中繼從所述線材供給裝置所送出的所述兩個(gè)噴鍍線材并輸送到工件上的拉伸輸送部，并進(jìn)行電弧噴鍍；導(dǎo)向管，其在所述線材供給裝置和所述噴鍍槍之間進(jìn)行所述兩個(gè)噴鍍線材的輸送引導(dǎo)，其特征在于，所述導(dǎo)向管從所述線材供給裝置的連接側(cè)到規(guī)定長度的內(nèi)徑是通常的內(nèi)徑，從這里到對所述噴鍍槍的連接側(cè)的內(nèi)徑是比通常內(nèi)徑更大的內(nèi)徑。由此，提供一種能夠始終以一定的速度輸送噴鍍線材，因此能夠使均勻的噴鍍膜形成的電弧噴鍍裝置。此裝置雖然能對線材表面進(jìn)行噴鍍薄膜，但是此裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，薄膜的穩(wěn)定性較差，不能長時(shí)間附著在柔性線材表面，并且由于線材橫截面積小，電弧噴鍍時(shí)會浪費(fèi)很多材料，使得生產(chǎn)成本居高不下，而且也給后續(xù)處理噴鍍材料帶來了困難。目前，磁控濺射鍍膜技術(shù)是當(dāng)前廣泛應(yīng)用的真空鍍膜技術(shù)方法，被普遍應(yīng)用于光學(xué)、微電子、耐磨、耐腐蝕、裝飾等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，用以提供可靠而穩(wěn)定的薄膜鍍層，可為被鍍膜產(chǎn)品提供某方面的特性。因此為了解決目前柔性線材鍍膜的缺陷，可以將磁控濺射鍍膜技術(shù)應(yīng)用到柔性線材上，但是目前的磁控濺射裝置具有以下缺陷1、只能對單一的個(gè)體鍍膜，如玻璃、鉆頭、手機(jī)殼等，而不能對連續(xù)的線材進(jìn)行鍍膜；2、由于磁控濺射不具備繞射功能，單個(gè)靶只能對單一平面鍍膜，缺乏多面鍍膜能力。因此需要對磁控濺射裝置進(jìn)行改進(jìn)，才能對柔性線材進(jìn)行連續(xù)的穩(wěn)定的鍍膜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于，提供一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，可以實(shí)現(xiàn)對柔性線材表面進(jìn)行磁控濺射鍍制功能薄膜，增加薄膜的穩(wěn)定性。本發(fā)明的一個(gè)目的在于，提供一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，可以進(jìn)行連續(xù)生產(chǎn)，使柔性線材能連續(xù)鍍膜，提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明的一個(gè)目的在于，提供一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，可以在柔性線材的表面進(jìn)行完整的鍍膜工作，并且鍍制的膜層均勻。為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，包括真空相連的用于裝載待鍍?nèi)嵝跃€材的裝載室、用于對柔性線材進(jìn)行鍍膜的磁控濺射鍍膜室以及用于對完成鍍膜的柔性線材進(jìn)行收卷的收卷室，所述裝載室內(nèi)設(shè)置用于對柔性線材放卷的第一轉(zhuǎn)軸，所述收卷室內(nèi)設(shè)置用于對柔性線材收卷的第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸的輸出端連接有使其均勻轉(zhuǎn)動的動力裝置，所述柔性線材的一端設(shè)置在第一轉(zhuǎn)軸上，另一端依次穿過所述裝載室、磁控濺射鍍膜室固定在所述收卷室內(nèi)的第二轉(zhuǎn)軸上，以柔性線材為中心在所述磁控濺射鍍膜室上環(huán)形均布至少三個(gè)濺射靶。優(yōu)選的，所述磁控濺射鍍膜室包括依次設(shè)置的用于對柔性線材表面進(jìn)行處理的預(yù)處理室、對柔性線材鍍制多層膜的多個(gè)鍍膜室，以及相鄰鍍膜室之間的真空過渡室，鍍膜室和真空過渡室的數(shù)量是根據(jù)柔性線材表面鍍制的膜層數(shù)來決定的。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述裝載室與所述磁控濺射鍍膜室之間設(shè)置第一過渡腔，所述裝載室靠近所述第一過渡腔的一側(cè)設(shè)置裝載室 導(dǎo)線孔，所述收卷室與所述磁控濺射鍍膜室之間設(shè)置第二過渡腔，所述收卷室靠近所述第二過渡腔的一側(cè)設(shè)置收卷室導(dǎo)線孔。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述裝載室導(dǎo)線孔的中心、多個(gè)濺射靶發(fā)射的中心以及收卷室導(dǎo)線孔的中心均與所述柔性線材的軸心線重
口 O作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述第二過渡腔與所述收卷室之間依次設(shè)置加熱室和第三過渡腔。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述濺射靶為三個(gè)，環(huán)形分布在所述磁控濺射鍍膜室上，且此三個(gè)濺射靶與柔性線材之間的距離一致。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述濺射靶為四個(gè)，環(huán)形分布在所述磁控濺射鍍膜室上，且此四個(gè)濺射靶與柔性線材之間的距離一致。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述裝載室、第一過渡腔、磁控濺射鍍膜室、第二過渡腔、加熱室、第三過渡腔以及收卷室為圓形腔室或者方形腔室或者異形腔室。磁控濺射鍍膜室采用圓形腔室是為了更好的分布濺射靶，但是也可以采用方形腔室或者異形腔室，只要濺射靶到柔性線材的距離一致即可。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，還包括真空泵機(jī)組，所述真空泵機(jī)組與所述裝載室、第一過渡腔、磁控濺射鍍膜室、第二過渡腔、加熱室、第三過渡腔或者收卷室相連，以通過真空泵機(jī)組對各腔室抽真空。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述磁控濺射鍍膜室上設(shè)置用于填充鍍膜用氣體的布?xì)庀到y(tǒng)。作為用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的一種優(yōu)選方案，所述第二轉(zhuǎn)軸上設(shè)置用于固定柔性導(dǎo)線的鎖扣。此處的鎖扣是為了保證柔性線材在被第二轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)收卷時(shí)不脫落，保證第二轉(zhuǎn)軸的收卷工作正常進(jìn)行，并且還能保證柔性線材被第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸拉緊，保證鍍膜均勻。本發(fā)明的有益效果為1、通過將柔性線材依次穿設(shè)在裝載室、磁控濺射鍍膜室和收卷室內(nèi)，并通過收卷室內(nèi)的均勻轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸使柔性線材均勻的通過磁控濺射鍍膜室，這樣可連續(xù)的對柔性線材鍍膜，提高生產(chǎn)效率；2、利用磁控濺射鍍膜技術(shù)對柔性線材真空鍍膜，使膜層更加穩(wěn)定可靠；
3、在磁控濺射鍍膜室內(nèi)繞柔性線材均勻設(shè)置多個(gè)濺射靶，可對柔性線材完整的外表面進(jìn)行鍍膜，多個(gè)濺射靶與柔性線材之間的距離一致，使得鍍制的膜層更加均勻；4、通過在第二過渡腔與收卷室之間設(shè)置加熱室，可以對鍍膜完成的柔性線材進(jìn)行加熱，使表面的膜層成型速度更快，穩(wěn)定性更高。對比現(xiàn)有技術(shù)，此磁控濺射鍍膜室具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、360度方向鍍膜、膜層均勻且穩(wěn)定、生產(chǎn)速度快、加工質(zhì)量高的優(yōu)點(diǎn)。


圖1為實(shí)施例一所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中磁控濺射鍍膜室的A-A剖視示意圖； 圖3為實(shí)施例一所述的磁控濺射裝置的工作原理圖；圖4為實(shí)施例二所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4中磁控濺射鍍膜室的B-B剖視示意圖；圖6為實(shí)施例二所述的磁控濺射裝置的工作原理圖。圖中1、裝載室；2、磁控濺射鍍膜室；3、收卷室；4、濺射靶；5、真空泵機(jī)組；6、布?xì)庀到y(tǒng)；7、第一過渡腔；8、第二過渡腔；9、裝載室導(dǎo)線孔；10、收卷室導(dǎo)線孔；11、第一轉(zhuǎn)軸；12、第二轉(zhuǎn)軸；13、鎖扣；14、柔性線材；15加熱室；16、第三過渡腔。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一如圖1 3所示，此實(shí)施例中所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，包括依次設(shè)置的裝載室1、磁控濺射鍍膜室2以及收卷室3，裝載室I與磁控濺射鍍膜室2之間設(shè)置第一過渡腔7，磁控濺射鍍膜室2與收卷室3之間設(shè)置第二過渡腔8，且裝載室1、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、收卷室3之間內(nèi)部連通，并在連接處進(jìn)行密封處理，在磁控濺射鍍膜室2上設(shè)置真空泵機(jī)組5，此真空泵機(jī)組5使裝載室1、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、收卷室3內(nèi)呈真空狀態(tài)，以便于鍍膜工序的正常進(jìn)行。裝載室I用于裝載待鍍?nèi)嵝跃€材14，裝載室I內(nèi)轉(zhuǎn)動設(shè)置第一轉(zhuǎn)軸11，收卷室3用于對完成鍍膜的柔性線材14進(jìn)行收卷，收卷室3內(nèi)設(shè)置第二轉(zhuǎn)軸12，第二轉(zhuǎn)軸12通過動力裝置進(jìn)行轉(zhuǎn)動工作，本實(shí)施例中，動力裝置為電機(jī)。裝載室I靠近第一過渡腔7的一側(cè)設(shè)置裝載室導(dǎo)線孔9，收卷室3靠近第二過渡腔8的一側(cè)設(shè)置收卷室導(dǎo)線孔10，柔性線材14的一端設(shè)置在第一轉(zhuǎn)軸11上，另一端依次穿過裝載室I上的裝載室導(dǎo)線孔9、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、收卷室3上的收卷室導(dǎo)線孔10最后固定在第二轉(zhuǎn)軸12上，為了使柔性線材14不脫落，在第二轉(zhuǎn)軸12上固定焊接有一個(gè)鎖扣13。在磁控濺射鍍膜室2為圓形腔室，其上環(huán)形設(shè)置四個(gè)濺射靶4，四個(gè)濺射靶4到柔性線材14的距離一致，在磁控濺射鍍膜室2上還設(shè)置用于填充鍍膜用氣體的布?xì)庀到y(tǒng)6。為了方便裝卸線材，在裝載室I和收卷室3上均開設(shè)腔室門，腔室門與裝載室I和收卷室3之間均設(shè)置有密封圈，以防止漏氣。
工作步驟一、將待鍍膜柔性線材14纏繞成卷，并放在第一轉(zhuǎn)軸11上；二、然后將柔性線材14的一端抽出，并依此穿過裝載室I上的裝載室導(dǎo)線孔9、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、收卷室導(dǎo)線孔10固定在第二轉(zhuǎn)軸12的鎖扣13上；三、密封好各個(gè)腔室，然后開啟真空泵機(jī)組5將內(nèi)部的空氣抽取，使內(nèi)部形成真空狀態(tài)；四、同時(shí)開啟布?xì)庀到y(tǒng)6和濺射靶4對柔性線材14表面進(jìn)行鍍膜，同時(shí)電機(jī)啟動，帶動第二轉(zhuǎn)軸12轉(zhuǎn)動，使鍍膜完成的柔性線材14勻速的收卷在第二轉(zhuǎn)軸12上；五、當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)軸11上的柔性線材14全部鍍膜完成后，關(guān)閉布?xì)庀到y(tǒng)6和濺射靶4， 同時(shí)電機(jī)停止工作，通過真空泵機(jī)組5對真空腔室內(nèi)注入空氣；六、開啟收卷室3，將鍍膜和收卷完成的柔性線材14取出；七、重復(fù)步驟一至步驟六，進(jìn)行多次連續(xù)的鍍膜生產(chǎn)。實(shí)施例二 如圖4 6所示，此實(shí)施例中所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，包括依次設(shè)置的裝載室1、磁控濺射鍍膜室2以及收卷室3，裝載室I與磁控濺射鍍膜室2之間設(shè)置第一過渡腔7，磁控濺射鍍膜室2與收卷室3之間依次設(shè)置第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔16，且裝載室1、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔16、收卷室3之間內(nèi)部連通，并在連接處進(jìn)行密封處理，在裝載室I上設(shè)置真空泵機(jī)組5，此真空泵機(jī)組5使裝載室1、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔16、收卷室3內(nèi)呈真空狀態(tài)，以便于鍍膜工序的正常進(jìn)行。裝載室I用于裝載待鍍?nèi)嵝跃€材14，裝載室I內(nèi)轉(zhuǎn)動設(shè)置第一轉(zhuǎn)軸11，收卷室3用于對完成鍍膜的柔性線材14進(jìn)行收卷，收卷室3內(nèi)設(shè)置第二轉(zhuǎn)軸12，第二轉(zhuǎn)軸12通過動力裝置進(jìn)行轉(zhuǎn)動工作，本實(shí)施例中，動力裝置為電機(jī)。裝載室I靠近第一過渡腔7的一側(cè)設(shè)置裝載室導(dǎo)線孔9，收卷室3靠近第三過渡腔16的一側(cè)設(shè)置收卷室導(dǎo)線孔10，柔性線材14的一端設(shè)置在第一轉(zhuǎn)軸11上，另一端依次穿過裝載室I上的裝載室導(dǎo)線孔9、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔16、收卷室導(dǎo)線孔10固定在第二轉(zhuǎn)軸12上，為了使柔性線材14不脫落，在第二轉(zhuǎn)軸12上固定焊接有一個(gè)鎖扣13。在磁控濺射鍍膜室2為圓形腔室，其上環(huán)形設(shè)置三個(gè)濺射靶4，三個(gè)濺射靶4到柔性線材14的距離一致，在磁控濺射鍍膜室2上還設(shè)置用于填充鍍膜用氣體的布?xì)庀到y(tǒng)6。為了方便裝卸線材，在裝載室I和收卷室3上均開設(shè)腔室門，腔室門與裝載室I和收卷室3之間均設(shè)置有密封圈，以防止漏氣。工作步驟一、將待鍍膜柔性線材14纏繞成卷，并放在第一轉(zhuǎn)軸11上；二、然后將柔性線材14的一端抽出，并依此穿過裝載室I上的裝載室導(dǎo)線孔9、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔16、收卷室導(dǎo)線孔10并固定在第二轉(zhuǎn)軸12上；三、密封好各個(gè)腔室，然后開啟真空泵機(jī)組5將內(nèi)部的空氣抽取，使內(nèi)部形成真空狀態(tài)；四、同時(shí)開啟布?xì)庀到y(tǒng)6和濺射靶4對柔性線材14表面進(jìn)行鍍膜，同時(shí)電機(jī)啟動，帶動第二轉(zhuǎn)軸12轉(zhuǎn)動，使鍍膜完成的柔性線材14勻速的收卷在第二轉(zhuǎn)軸12上；五、當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)軸11上的柔性線材14全部鍍膜完成后，關(guān)閉布?xì)庀到y(tǒng)6和濺射靶4，同時(shí)電機(jī)停止工作，通過真空泵機(jī)組5對真空腔室內(nèi)注入空氣；六、開啟收卷室3，將鍍膜和收卷完成的柔性線材14取出；七、重復(fù)步驟一至步驟六，進(jìn)行多次連續(xù)的鍍膜生產(chǎn)。磁控濺射鍍膜室2上的濺射靶4不限于上述實(shí)施例所述的三個(gè)或者四個(gè)，其數(shù)量 以實(shí)際需要為準(zhǔn)，例如，濺射靶還可為五個(gè)或者六個(gè)。磁控濺射鍍膜室2還可以為復(fù)合鍍膜室，可以包括依次設(shè)置的用于對柔性線材表面進(jìn)行處理的預(yù)處理室、對柔性線材鍍制多層膜的多個(gè)鍍膜室，以及相鄰鍍膜室之間的真空過渡室，鍍膜室和真空過渡室的數(shù)量是根據(jù)柔性線材表面鍍制的膜層數(shù)來決定的。裝載室1、第一過渡腔7、磁控濺射鍍膜室2、第二過渡腔8、加熱室15、第三過渡腔
16以及收卷室3的形狀可以為圓形，也可以為方形或者為異形。磁控濺射鍍膜室2采用圓形腔室是為了更好的分布濺射靶4，但是也可以采用方形腔室或者異形腔室，只要濺射靶4到柔性線材14的距離一致即可。以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本發(fā)明的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本發(fā)明的原理，而不能以任何方式解釋為對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制?；诖颂幍慕忉?，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動即可聯(lián)想到本發(fā)明的其它具體實(shí)施方式
，這些方式都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，包括真空相連的用于裝載待鍍?nèi)嵝跃€材的裝載室、用于對柔性線材進(jìn)行鍍膜的磁控濺射鍍膜室以及用于對完成鍍膜的柔性線材進(jìn)行收卷的收卷室，所述裝載室內(nèi)設(shè)置用于對柔性線材放卷的第一轉(zhuǎn)軸，所述收卷室內(nèi)設(shè)置用于對柔性線材收卷的第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸的輸出端連接有使其均勻轉(zhuǎn)動的動力裝置，所述柔性線材的一端設(shè)置在第一轉(zhuǎn)軸上，另一端依次穿過所述裝載室、磁控濺射鍍膜室固定在所述收卷室內(nèi)的第二轉(zhuǎn)軸上，以柔性線材為中心在所述磁控濺射鍍膜室上環(huán)形均布至少三個(gè)濺射靶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述裝載室與所述磁控濺射鍍膜室之間設(shè)置第一過渡腔，所述裝載室靠近所述第一過渡腔的一側(cè)設(shè)置裝載室導(dǎo)線孔，所述收卷室與所述磁控濺射鍍膜室之間設(shè)置第二過渡腔，所述收卷室靠近所述第二過渡腔的一側(cè)設(shè)置收卷室導(dǎo)線孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述裝載室導(dǎo)線孔的中心、多個(gè)濺射靶發(fā)射的中心以及收卷室導(dǎo)線孔的中心均與所述柔性線材的軸心線重合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述第二過渡腔與所述收卷室之間依次設(shè)置加熱室和第三過渡腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述濺射靶為三個(gè)，環(huán)形分布在所述磁控濺射鍍膜室上，且此三個(gè)濺射靶與柔性線材之間的距離一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述濺射靶為四個(gè)，環(huán)形分布在所述磁控濺射鍍膜室上，且此四個(gè)濺射靶與柔性線材之間的距離一致。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述裝載室、第一過渡腔、磁控濺射鍍膜室、第二過渡腔、加熱室、第三過渡腔以及收卷室為圓形腔室或者方形腔室或者異形腔室。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，還包括真空泵機(jī)組，所述真空泵機(jī)組與所述裝載室、第一過渡腔、磁控濺射鍍膜室、第二過渡腔、加熱室、第三過渡腔或者收卷室相連，以通過真空泵機(jī)組對各腔室抽真空。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8任一所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述磁控濺射鍍膜室上設(shè)置用于填充鍍膜用氣體的布?xì)庀到y(tǒng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 8任一所述的用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，其特征在于，所述第二轉(zhuǎn)軸上設(shè)置用于固定柔性導(dǎo)線的鎖扣。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置，包括真空相連的裝載室、磁控濺射鍍膜室以及收卷室，裝載室內(nèi)設(shè)置第一轉(zhuǎn)軸，收卷室內(nèi)設(shè)置第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸的輸出端連接有使其均勻轉(zhuǎn)動的動力裝置，柔性線材的一端設(shè)置在第一轉(zhuǎn)軸上，另一端固定在第二轉(zhuǎn)軸上，以柔性線材為中心在磁控濺射鍍膜室上環(huán)形均布至少三個(gè)濺射靶。通過將柔性線材依次穿設(shè)在裝載室、磁控濺射鍍膜室和收卷室內(nèi)，并通過收卷室內(nèi)的均勻轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸使柔性線材均勻移動，可連續(xù)的對柔性線材鍍膜，提高生產(chǎn)效率，利用磁控濺射鍍膜技術(shù)對柔性線材鍍膜，使膜層更加穩(wěn)定可靠，磁控濺射鍍膜室內(nèi)繞柔性線材均勻設(shè)置多個(gè)濺射靶，使柔性線材外表面能進(jìn)行完整的鍍膜工作且膜層均勻。
文檔編號C23C14/56GK103014641SQ20121051612
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月5日
發(fā)明者陳宇 申請人:廣東志成冠軍集團(tuán)有限公司