磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置及真空鍍膜設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置及真空鍍膜設(shè)備，其中，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置包括：法蘭座、驅(qū)動螺桿、調(diào)節(jié)手輪、導(dǎo)向軸、直線軸承以及安裝板；所述法蘭座為至少兩個，所述驅(qū)動螺桿一端安裝有法蘭座，所述調(diào)節(jié)手輪螺接于所述驅(qū)動螺桿上，且所述調(diào)節(jié)手輪樞轉(zhuǎn)安裝于所述安裝板上，所述導(dǎo)向軸與所述驅(qū)動螺桿間隔且平行設(shè)置，所述導(dǎo)向軸一端安裝有法蘭座，所述導(dǎo)向軸通過直線軸承滑動地安裝于所述安裝板上。本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置可實現(xiàn)磁場的移動調(diào)節(jié)，從而改變靶材表面的磁力，使得后期被濺射的面積得到提高，向下燒蝕的速度變慢，濺射工作時間變長，進而可將靶材的利用率提高到39％～45％。
【專利說明】
磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置及真空鍍膜設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置及真空鍍膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空鍍膜設(shè)備或太陽能行業(yè)設(shè)備中，制備薄膜普遍使用的磁控濺射裝置。目前，磁控濺射裝置中，較常用磁場固定的結(jié)構(gòu)，如此導(dǎo)致靶材表面磁力固定不能調(diào)節(jié)。尤其在工作一定時間后，靶材表面被濺射的面積越來越小，而向下燒蝕的速度更快，使得濺射工作時間變短，導(dǎo)致貴重的靶材利用率極低下，大約為20%?30%左右。
[0003]因此，針對上述問題，有必要提出進一步的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足。
[0005]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置包括:法蘭座、驅(qū)動螺桿、調(diào)節(jié)手輪、導(dǎo)向軸、直線軸承以及安裝板；
[0006]所述法蘭座為至少兩個，所述驅(qū)動螺桿一端安裝有法蘭座，所述調(diào)節(jié)手輪螺接于所述驅(qū)動螺桿上，且所述調(diào)節(jié)手輪樞轉(zhuǎn)安裝于所述安裝板上，所述導(dǎo)向軸與所述驅(qū)動螺桿間隔且平行設(shè)置，所述導(dǎo)向軸一端安裝有法蘭座，所述導(dǎo)向軸通過直線軸承滑動地安裝于所述安裝板上。
[0007]作為本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置的改進，所述驅(qū)動螺桿的端部具有尺寸刻度。
[0008]作為本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置的改進，所述導(dǎo)向軸的數(shù)量為兩個，兩個導(dǎo)向軸對稱分布于所述驅(qū)動螺桿的兩側(cè)，兩個導(dǎo)向軸的端部分別安裝有法蘭座。
[0009]作為本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置的改進，所述法蘭座為絕緣法蘭座。
[0010]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明還提供一種真空鍍膜設(shè)備，其包括:水冷座、安裝底座、磁鐵、導(dǎo)磁體以及如上所述的磁場移動調(diào)節(jié)裝置；
[0011]所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過安裝底座固定安裝于所述水冷座上，所述磁鐵和導(dǎo)磁體相互連接形成一整體，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述磁鐵和導(dǎo)磁體形成的整體固定連接。
[0012]作為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備的改進，所述安裝底座與所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)置有絕緣板。
[0013]作為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備的改進，所述磁鐵為若干個，若干個磁鐵并排設(shè)置，且并排設(shè)置的若干個磁鐵位于所述導(dǎo)磁體之間。
[0014]作為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備的改進，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述導(dǎo)磁體進行固定連接。
[0015]作為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備的改進，所述真空鍍膜設(shè)備還包括電源，所述電源與所述導(dǎo)磁體電性連接。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置可實現(xiàn)磁場的移動調(diào)節(jié)，從而改變靶材表面的磁力，使得后期被濺射的面積得到提高，向下燒蝕的速度變慢，濺射工作時間變長，進而可將靶材的利用率提高到39%?45%。
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備一【具體實施方式】的平面示意圖，其中，磁鐵和導(dǎo)磁體形成的整體與靶材之間的距離最?。?br>[0019]圖2為本發(fā)明的真空鍍膜設(shè)備一【具體實施方式】的平面示意圖，其中，磁鐵和導(dǎo)磁體形成的整體與靶材之間的距離最大。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖所示的各實施方式對本發(fā)明進行詳細說明，但應(yīng)當(dāng)說明的是，這些實施方式并非對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)這些實施方式所作的功能、方法、或者結(jié)構(gòu)上的等效變換或替代，均屬于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
[0021]如圖1所示，本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置包括:法蘭座10、驅(qū)動螺桿20、調(diào)節(jié)手輪30、導(dǎo)向軸40、直線軸承50以及安裝板60。
[0022]所述法蘭座10為至少兩個，優(yōu)選地，所述法蘭座10為絕緣法蘭座，如此，在調(diào)節(jié)磁鐵位置時，不會對人體產(chǎn)生傷害。
[0023]所述驅(qū)動螺桿20—端安裝有法蘭座10，所述調(diào)節(jié)手輪30螺接于所述驅(qū)動螺桿20上，且所述調(diào)節(jié)手輪30樞轉(zhuǎn)安裝于所述安裝板60上。由于所述安裝邊60位置保持固定，從而，當(dāng)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)手輪30時，調(diào)節(jié)手輪30可使得驅(qū)動螺桿20在軸向方向上相對調(diào)節(jié)手輪30和安裝板60進行移動，進而帶動其端部的法蘭座10進行移動。
[0024]此外，為了便于觀測驅(qū)動螺桿20移動的距離，所述驅(qū)動螺桿20的端部具有尺寸刻度。以調(diào)節(jié)手輪為參照，讀取時，首先記錄好尺寸刻度的初始讀數(shù)，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)手輪30后，然后讀取移動后的讀數(shù)，二者之差為驅(qū)動螺桿20移動的距離。
[0025]所述導(dǎo)向軸40在驅(qū)動螺桿20移動時起到導(dǎo)向的作用。具體地，所述導(dǎo)向軸40與所述驅(qū)動螺桿20間隔且平行設(shè)置，所述導(dǎo)向軸40—端安裝有法蘭座10，所述導(dǎo)向軸40通過直線軸承50滑動地安裝于所述安裝板60上。從而，由于驅(qū)動螺桿20的法蘭座和導(dǎo)向軸40的法蘭座具有相同的安裝面，從而，當(dāng)驅(qū)動螺桿20移動時，導(dǎo)向軸40可與驅(qū)動螺桿20做同步運動。其中，所述直線軸承50具有極低的摩擦系數(shù)，以方便導(dǎo)向桿40的運動。
[0026]作為一種實施方式，所述導(dǎo)向軸40的數(shù)量為兩個，兩個導(dǎo)向軸40對稱分布于所述驅(qū)動螺桿20的兩側(cè)，其中，兩個導(dǎo)向軸40的端部分別安裝有法蘭座10。
[0027]基于如上所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，本發(fā)明還提供一種真空鍍膜設(shè)備。
[0028]如圖1-2所示，具體地，所述真空鍍膜設(shè)備包括:水冷座210、安裝底座220、磁鐵230、導(dǎo)磁體240以及如上所述的磁場移動調(diào)節(jié)裝置。
[0029]其中，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過安裝底座220固定安裝于所述水冷座210的一面上，進行濺射的靶材200位于水冷座210的另一面上。所述磁鐵230和導(dǎo)磁體240相互連接形成一整體，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座10與所述磁鐵230和導(dǎo)磁體240形成的整體固定連接。從而，水冷座210與安裝板60之間的空間形成磁鐵230和導(dǎo)磁體240形成的整體的移動調(diào)節(jié)空間。
[0030]進一步地，磁鐵230和導(dǎo)磁體240形成的整體中，所述磁鐵230為若干個，若干個磁鐵230并排設(shè)置，且并排設(shè)置的若干個磁鐵230位于所述導(dǎo)磁體240之間。優(yōu)選地，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座10與所述導(dǎo)磁體240進行固定連接。
[0031]從而，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)手輪30，由于驅(qū)動螺桿20通過法蘭座10與磁鐵230和導(dǎo)磁體240形成的整體相連接，驅(qū)動螺桿20可帶動磁鐵230和導(dǎo)磁體240形成的整體發(fā)生移動，使其靠近或遠離所述靶材，從而實現(xiàn)磁場的移動調(diào)節(jié)，改變靶材表面的磁力。
[0032]此外，所述安裝底座220與所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)置有絕緣板250。所述真空鍍膜設(shè)備還包括電源260，所述電源260與所述導(dǎo)磁體240電性連接。
[0033]本發(fā)明的磁場移動調(diào)節(jié)裝置安裝時，先將導(dǎo)磁體和磁鐵連成一個整體，方便整體移動。然后，將磁場移動調(diào)節(jié)裝置的法蘭底座與導(dǎo)磁體和磁鐵連成的整體進行固定連接，實現(xiàn)磁場移動調(diào)節(jié)裝置與真空鍍膜設(shè)備的組裝。
[0034]綜上所述，本發(fā)明的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置可實現(xiàn)磁場的移動調(diào)節(jié)，從而改變靶材表面的磁力，使得后期被濺射的面積得到提高，向下燒蝕的速度變慢，濺射工作時間變長，進而可將靶材的利用率提高到39%?45%。
[0035]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0036]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。
【主權(quán)項】
1.一種磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置包括:法蘭座、驅(qū)動螺桿、調(diào)節(jié)手輪、導(dǎo)向軸、直線軸承以及安裝板； 所述法蘭座為至少兩個，所述驅(qū)動螺桿一端安裝有法蘭座，所述調(diào)節(jié)手輪螺接于所述驅(qū)動螺桿上，且所述調(diào)節(jié)手輪樞轉(zhuǎn)安裝于所述安裝板上，所述導(dǎo)向軸與所述驅(qū)動螺桿間隔且平行設(shè)置，所述導(dǎo)向軸一端安裝有法蘭座，所述導(dǎo)向軸通過直線軸承滑動地安裝于所述安裝板上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動螺桿的端部具有尺寸刻度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向軸的數(shù)量為兩個，兩個導(dǎo)向軸對稱分布于所述驅(qū)動螺桿的兩側(cè)，兩個導(dǎo)向軸的端部分別安裝有法蘭座。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述法蘭座為絕緣法蘭座。5.—種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述真空鍍膜設(shè)備包括:水冷座、安裝底座、磁鐵、導(dǎo)磁體以及如權(quán)利要求1?4任一項所述的磁場移動調(diào)節(jié)裝置； 所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過安裝底座固定安裝于所述水冷座上，所述磁鐵和導(dǎo)磁體相互連接形成一整體，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述磁鐵和導(dǎo)磁體形成的整體固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述安裝底座與所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置之間還設(shè)置有絕緣板。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述磁鐵為若干個，若干個磁鐵并排設(shè)置，且并排設(shè)置的若干個磁鐵位于所述導(dǎo)磁體之間。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述磁場移動調(diào)節(jié)裝置通過所述法蘭座與所述導(dǎo)磁體進行固定連接。9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述真空鍍膜設(shè)備還包括電源，所述電源與所述導(dǎo)磁體電性連接。
【文檔編號】C23C14/35GK105970178SQ201610589607
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年7月25日
【發(fā)明人】陳軼
【申請人】昆山迅立光電設(shè)備有限公司