一種板式pecvd石墨塊鍍膜用掛鉤組件的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，包括掛鉤和擋片，石墨框上設(shè)有多個(gè)用于放置硅片的框格，所述的掛鉤設(shè)置在石墨框的框格四周，所述的擋片設(shè)置在硅片四周，所述的掛鉤包括本體和本體兩側(cè)的鉤體，所述的鉤體的鉤間距≤2.5mm，鉤體內(nèi)側(cè)呈圓弧導(dǎo)角狀，使硅片鍍膜后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以外。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有改善石墨框邊條受力損壞等優(yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明及一種太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鍍膜，尤其是涉及一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體硅太陽(yáng)能電池工藝中都需要在電池表面鍍一層起減反射和鈍化雙重作用的膜，由于背面鍍膜的眾多優(yōu)越性，現(xiàn)行電池工藝都具有背面鍍膜步驟。鍍膜過(guò)程中需要采用掛鉤支撐硅片，使用之前尺寸石墨框掛鉤鍍膜后，絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以?xún)?nèi)，石墨框擋片突起部分在使用一段時(shí)間后沉積氮化硅造成硅片邊緣色差，影響外觀，目前市場(chǎng)對(duì)電池片外觀要求越來(lái)越嚴(yán)格，鉤點(diǎn)靠柵線(xiàn)內(nèi)和邊緣色差的產(chǎn)品已不附市場(chǎng)要求。
[0003]板式PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)設(shè)備載具---石墨
框在使用目前尺寸鉤鍍膜后，存在以下幾點(diǎn)缺陷:
[0004]a.石墨框框鉤點(diǎn)距離硅片邊緣> 3mm，鉤點(diǎn)在絲網(wǎng)印刷會(huì)在柵線(xiàn)以?xún)?nèi)，由于鉤點(diǎn)處無(wú)鍍膜，存在直接影響產(chǎn)品外觀，間接影響柵線(xiàn)燒結(jié)的缺陷；
[0005]b.石墨框擋片突起部分在使用一段時(shí)間后沉積氮化硅造成硅片邊緣色差，存在直接影響產(chǎn)品外觀，間接影響柵線(xiàn)燒結(jié)的缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種改善石墨框邊條受力損壞的板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件。
[0007]本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，包括掛鉤和擋片，石墨框上設(shè)有多個(gè)用于放置硅片的框格，所述的掛鉤設(shè)置在石墨框的框格四周，所述的擋片設(shè)置在硅片四周，所述的掛鉤包括本體和本體兩側(cè)的鉤體，其特征在于，所述的鉤體的鉤間距< 2.5mm，鉤體內(nèi)側(cè)呈圓弧導(dǎo)角狀，使硅片鍍膜后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以外。
[0008]所述的鉤體的鉤間距為2mm。
[0009]所述的擋片呈U型狀，其一邊底部設(shè)有凸起，該凸起的高度大于硅片水平放置位置2mm,防止娃片滑出。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0011]1.改變?cè)瓛煦^固定方式，改善石墨框邊條受力損壞現(xiàn)象.。
[0012]2.掛鉤內(nèi)側(cè)做圓弧導(dǎo)角設(shè)計(jì)，使硅片自然入位，減少硅片碰撞碎片風(fēng)險(xiǎn)
[0013]3.新式掛鉤使用后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)明顯靠邊緣在柵線(xiàn)以外，平均間距2.0mm(如下圖)，直接改善柵線(xiàn)燒結(jié)后產(chǎn)品外觀
[0014]4.新的擋片下端凸起高度比現(xiàn)有擋片凸起高度減少1mm，使用新式擋片后，擋片周邊膜厚提高0.3~0.6nm，使擋片位置周?chē)ず裉岣叨w膜厚不受影響，直接改善外觀。[0015]5.新式掛鉤擋片改善成本低，效果好。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本發(fā)明掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本發(fā)明擋片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0019]實(shí)施例1
[0020]如圖1所示，一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，包括掛鉤I和擋片2，石墨框上設(shè)有多個(gè)用于放置硅片的框格，所述的掛鉤設(shè)置在石墨框的框格四周，所述的擋片設(shè)置在硅片四周，所述的掛鉤包括本體11和本體兩側(cè)的鉤體12，所述的鉤體的鉤間距a =
2.5mm，鉤體內(nèi)側(cè)呈圓弧導(dǎo)角狀，使硅片鍍膜后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以外。
[0021]如圖2所示，所述的擋片2呈U型狀，其一邊底部設(shè)有凸起21，擋片2下端凸起高度比現(xiàn)有擋片凸起高度減少1_，該凸起21的高度大于硅片水平放置位置2_，防止硅片滑出，使用新式擋片后，擋片周邊膜厚提高0.3~0.6nm，使擋片位置周?chē)ず裉岣叨w膜厚不受影響，直接改善外觀。
[0022]實(shí)施例2
[0023]一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，包括掛鉤和擋片，石墨框上設(shè)有多個(gè)用于放置硅片的框格，所述的掛鉤設(shè)置在石墨框的框格四周，所述的擋片設(shè)置在硅片四周，所述的掛鉤包括本體和本體兩側(cè) 的鉤體，所述的鉤體的鉤間距a = 2mm,鉤體內(nèi)側(cè)呈圓弧導(dǎo)角狀，使硅片鍍膜后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以外。
[0024]掛鉤和擋片成彎折固定 ，改變?cè)瓛煦^固定方式，減少石墨框邊條受力損壞，底部掛鉤內(nèi)側(cè)做圓弧導(dǎo)角設(shè)計(jì)，使娃片自然入位，減少碰撞碎片風(fēng)險(xiǎn)，擋片尺寸凸起減少1_。
【權(quán)利要求】
1.一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，包括掛鉤和擋片，石墨框上設(shè)有多個(gè)用于放置硅片的框格，所述的掛鉤設(shè)置在石墨框的框格四周，所述的擋片設(shè)置在硅片四周，所述的掛鉤包括本體和本體兩側(cè)的鉤體，其特征在于，所述的鉤體的鉤間距< 2.5mm，鉤體內(nèi)側(cè)呈圓弧導(dǎo)角狀，使硅片鍍膜后絲網(wǎng)印刷鉤點(diǎn)都在柵線(xiàn)以外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，其特征在于，所述的鉤體的鉤間距為2mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板式PECVD石墨塊鍍膜用掛鉤組件，其特征在于，所述的擋片呈U型狀，其一邊底部設(shè)有凸起，該凸起的高度大于硅片水平放置位置2mm，防止硅片滑出。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK103805965SQ201210445320
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】張曉丹, 姚蝶, 胡翔, 黃良吉 申請(qǐng)人:上海神舟新能源發(fā)展有限公司