專利名稱：濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)介面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，具體涉及實(shí)驗(yàn)型鍍膜設(shè)備薄膜沉積機(jī)制。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有PVD等離子體物理氣象沉積設(shè)備是借助在靶極上通入高電壓直流、交流或射頻電源來離子化工作氣體(通常為氬氣等惰性氣體)，以產(chǎn)生等離子體，等離子體受電場影響使負(fù)離子轟擊靶面，靶原子或分子獲得動(dòng)能向一定方向飛濺，并沉積薄膜于對(duì)向的基片上。于人機(jī)接口上通常無一自動(dòng)程序可完成前置抽氣作業(yè)，而使人員需自行判斷壓力值以開啟相對(duì)應(yīng)閥門及幫浦，再作業(yè)上極易發(fā)生錯(cuò)誤，而導(dǎo)致設(shè)備損壞或影響實(shí)驗(yàn)進(jìn)行，浪費(fèi)人力及無法節(jié)約實(shí)驗(yàn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主要目的在于提供濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)接口自動(dòng)抽氣系統(tǒng)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:
濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，通過人機(jī)界面設(shè)置相對(duì)應(yīng)按鍵以啟動(dòng)自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，并透過繼電器電路來啟動(dòng)幫浦，再利用壓力傳感器回饋信號(hào)至PLC以判斷是否與設(shè)定值相同及是否需要結(jié)束程序或繼續(xù)執(zhí)行。綜上所述本發(fā)明利用現(xiàn)有機(jī)制搭配自行撰寫的程控達(dá)到節(jié)約成本的效果、制作方便。



圖1系為本發(fā)明接口流程圖。圖2系為本發(fā)明方塊圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。請(qǐng)參閱圖1所示,派鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，如圖1所示:自動(dòng)抽氣系統(tǒng)啟動(dòng)后，開啟相對(duì)應(yīng)閥門，啟動(dòng)RP幫浦，啟動(dòng)BP幫浦，壓力傳感器偵測(cè)實(shí)際壓力值是否與設(shè)定值相同以決定是否開啟主閥，主閥開啟后啟動(dòng)TP幫浦，同時(shí)壓力傳感器持續(xù)偵測(cè)以決定是否可結(jié)束抽氣程序程序。請(qǐng)參閱圖2所示，濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)原理圖，如圖2所示:經(jīng)由人機(jī)接口下指令，PLC啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的繼電器電路以啟動(dòng)相對(duì)應(yīng)的幫浦進(jìn)行不同階段的抽氣動(dòng)作，之后再由壓力傳感器進(jìn)行不同階段的壓力偵測(cè)以決定是否進(jìn)行下一級(jí)抽氣或結(jié)束程序。綜上所述，動(dòng)作皆在幕后執(zhí)行，使用者無需自行判斷何時(shí)需啟動(dòng)不同的幫浦，只需要設(shè)定不同階段幫浦啟動(dòng)的壓力設(shè)定值即可，達(dá)到自動(dòng)抽氣的目的，無需人員操作。
以上所述實(shí)例是對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本發(fā)明技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)力要·求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，其特征在于通過繼電器電路及壓力傳感器回授信號(hào)，來做為啟動(dòng)或關(guān)閉幫浦的動(dòng)作。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述之濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，其特征在于壓力偵測(cè)為.O.05拖爾啟動(dòng)TP幫浦。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述之濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)界面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，其特征在于結(jié)束動(dòng)作的壓力偵測(cè)為O. 005拖爾。
全文摘要
本發(fā)明系提供濺鍍?cè)O(shè)備人機(jī)介面自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，通過人機(jī)介面設(shè)置相對(duì)應(yīng)按鍵以啟動(dòng)自動(dòng)抽氣系統(tǒng)，并透過繼電器電路來啟動(dòng)幫浦，再利用壓力傳感器回饋信號(hào)至PLC以判斷是否與設(shè)定值相同及是否需要結(jié)束程式或繼續(xù)執(zhí)行。綜上所述本發(fā)明利用現(xiàn)有機(jī)制搭配自行撰寫的程式控制達(dá)到節(jié)約成本的效果、制作方便。
文檔編號(hào)C23C14/54GK103255378SQ20121003657
公開日2013年8月21日 申請(qǐng)日期2012年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月19日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請(qǐng)人:吉富新能源科技(上海)有限公司