專利名稱：化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備，特別是關(guān)于一種低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備或原子層沉積(ALD)設(shè)備。
背景技術(shù)：
薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力。因此，目前市場對(duì)薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)和設(shè)備更成為近年來的研究熱點(diǎn)。薄膜太陽能電池的制造過程中需要在襯底(如玻璃基板)上沉積一層透明導(dǎo)電薄膜以形成電極。低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備就是一種常用的薄膜太陽能電池透明電極的制造設(shè)備。如圖I所示，為現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。其包含依次連接的裝載腔3、多個(gè)反應(yīng)腔和卸載腔8。薄膜太陽能電池的透明電極沉積過程為玻璃基板通過裝載腔3被加載到化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，隨后依次進(jìn)入一級(jí)反應(yīng)腔4、二級(jí)反應(yīng)腔5、三級(jí)反應(yīng)腔6和四級(jí)反應(yīng)腔7中，分別在玻璃基板的表面沉積透明導(dǎo)電薄膜，最后通過卸載腔8卸載沉積有透明導(dǎo)電薄膜的玻璃基板，并送出化學(xué)氣相沉積設(shè)備。在上述各個(gè)反應(yīng)腔中沉積透明導(dǎo)電薄膜的過程中，反應(yīng)氣源I中的氣體(包括反應(yīng)氣體和載體)通過進(jìn)氣管道10被分別引入到一級(jí)反應(yīng)腔4、二級(jí)反應(yīng)腔5、三級(jí)反應(yīng)腔6和四級(jí)反應(yīng)腔7中；各個(gè)反應(yīng)腔4 7中的反應(yīng)尾氣分別通過排氣管道11排出。在所述的每個(gè)反應(yīng)腔4 7進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間分別設(shè)置有流量控制閥2，用于控制氣體進(jìn)入每個(gè)反應(yīng)腔的流量。并且，在所述的每個(gè)反應(yīng)腔4 7排氣端與排氣管道11之間分別設(shè)置有真空泵9，用于從每個(gè)反應(yīng)腔中抽取反應(yīng)尾氣以控制反應(yīng)腔內(nèi)氣壓。根據(jù)上述現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，雖然可利用流量控制閥來自動(dòng)控制進(jìn)入每個(gè)反應(yīng)腔內(nèi)的氣體流量，但是對(duì)于進(jìn)入各反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體量則難以精確計(jì)算和控制。同時(shí)，由于流量控制閥結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高，因此會(huì)導(dǎo)致整個(gè)用于薄膜沉積的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本提高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，可精確控制進(jìn)入各個(gè)反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣體量，提高薄膜太陽能電池的沉積質(zhì)量，并且有效降低化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包含化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔以及氣體傳輸裝置；所述氣體傳輸裝置包含反應(yīng)氣源；特點(diǎn)是在所述反應(yīng)氣源與所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間設(shè)置定量供氣裝置，該定量供氣裝置每次向化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體。所述定量供氣裝置包含第一開關(guān)閥、容器、第二開關(guān)閥和壓力檢測器，所述第一開關(guān)閥設(shè)置在反應(yīng)氣源與容器之間，所述第二開關(guān)閥設(shè)置在容器與化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的進(jìn)氣端之間，所述壓力檢測器用于檢測所述容器中的氣壓。所述定量供氣裝置還包含控制器；所述控制器根據(jù)所述壓力檢測器檢測到的氣壓控制所述第一開關(guān)閥和第二開關(guān)閥，在所述氣壓大于等于第一氣壓時(shí)關(guān)閉所述第一開關(guān)閥，并開啟所述第二開關(guān)閥，在所述氣壓小于等于第二氣壓時(shí)開啟所述第一開關(guān)閥，并關(guān)閉所述第二開關(guān)閥。所述定量供氣裝置還包含監(jiān)控器，所述監(jiān)控器用于監(jiān)控流進(jìn)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體的總量。所述監(jiān)控器包括計(jì)數(shù)器，所述計(jì)數(shù)器計(jì)算所述第一開關(guān)閥的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或計(jì)算所述第二開關(guān)閥的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或計(jì)算所述容器內(nèi)氣壓達(dá)到第一氣壓或第二氣壓的次數(shù)，或計(jì)算上述中的多個(gè)。所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備為原子層沉積設(shè)備或低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備。 所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有多個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包含裝載腔和卸載腔，所述裝載腔、多個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔和卸載腔依次連接。所述氣體傳輸裝置還包含連接設(shè)置在所述反應(yīng)氣源與每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端之間的進(jìn)氣管道；所述定量供氣裝置分別設(shè)置在每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端與所述進(jìn)氣管道之間。所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包含與每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的排氣端連接設(shè)置的排氣管道；在所述每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔排氣端與所述排氣管道之間分別設(shè)置有真空泵，該真空泵從每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中抽取反應(yīng)尾氣以控制化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔內(nèi)氣壓。本實(shí)用新型所提供的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，利用定量供氣裝置可實(shí)現(xiàn)一次性向各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體，從而精確控制進(jìn)入各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體量，有效提高薄膜沉積質(zhì)量，從而提高太陽能薄膜電池的產(chǎn)品質(zhì)量。本實(shí)用新型所提供的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔都通過一個(gè)獨(dú)立的定量供氣裝置向所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔供應(yīng)反應(yīng)氣體，可實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔獨(dú)立供應(yīng)反應(yīng)氣體，避免各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間相互之間的影響。本實(shí)用新型中的定量供氣裝置，結(jié)構(gòu)簡單，價(jià)格低廉，可有效降低化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本，增強(qiáng)設(shè)備的維護(hù)性。

圖I是現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型中的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合圖2，詳細(xì)說明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。請參見圖2，是本實(shí)用新型中提出的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備可以用于制造薄膜太陽能電池；所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備具體的可以是原子層沉積設(shè)備(ALD)，或者是低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(LPCVD)。該化學(xué)氣相沉積設(shè)備包含依次連接的裝載腔3、至少一個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔和卸載腔8。本實(shí)施例中，所述多個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔包括依次連接的一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4、二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5、三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6和四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7。其中，所述一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4的輸入端連接裝載腔3的輸出端，所述二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5的輸入端連接一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4的輸出端，所述三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6的輸入端連接二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5的輸出端，所述四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7的的輸入端連接三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6的輸出端，所述卸載腔8的輸入端連接四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7的輸出端。所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包含氣體傳輸裝置，該氣體傳輸裝置包含反應(yīng)氣源1，連接設(shè)置在反應(yīng)氣源I和每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端之間的進(jìn)氣管道10。在每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間分別設(shè)置定量供氣裝置。本實(shí)施例中，即分別在一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間、在二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間、在三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6進(jìn)氣端與進(jìn)氣 管道10之間、在四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間設(shè)置定量供氣裝置。所述的定量供氣裝置包含第一開關(guān)閥12、容器15、第二開關(guān)閥14和壓力檢測器
13;其中，第一開關(guān)閥12設(shè)置在進(jìn)氣管道10與容器15之間；第二開關(guān)閥14設(shè)置在容器15與化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端之間，所述壓力檢測器13用于檢測所述容器15中的氣壓，以控制所述第一開關(guān)閥12和第二開關(guān)閥14的開關(guān)。所述定量供氣裝置還包含控制器，所述控制器根據(jù)所述壓力檢測器13檢測到的氣壓控制所述第一開關(guān)閥12和第二開關(guān)閥14 ;在所述壓力檢測器13檢測到容器15內(nèi)氣壓大于等于第一氣壓時(shí)，控制器控制所述第一開關(guān)閥12關(guān)閉，控制所述第二開關(guān)閥14開啟；在所述壓力檢測器13檢測到容器15內(nèi)氣壓下降到小于等于第二氣壓時(shí)，控制器控制所述第一開關(guān)閥12開啟，控制所述第二開關(guān)閥14關(guān)閉。所述定量供氣裝置還包含監(jiān)控器，所述監(jiān)控器用于監(jiān)控流進(jìn)每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體的總量。進(jìn)一步，所述監(jiān)控器包括計(jì)數(shù)器，所述計(jì)數(shù)器計(jì)算所述第一開關(guān)閥12的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或監(jiān)控所述第二開關(guān)閥14的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或監(jiān)控所述容器15內(nèi)氣壓達(dá)到第一氣壓或第二氣壓的次數(shù)，或同時(shí)監(jiān)控上述中的多個(gè)參數(shù)；用以獲得所述定量供氣裝置向所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔供應(yīng)反應(yīng)氣體的次數(shù)，從而可以精確計(jì)算和控制供應(yīng)到所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的氣體總量。 本實(shí)用新型與背景技術(shù)相比，采用定量供氣裝置取代原有的流量控制閥。由于定量供氣裝置的容器15的容積是固定不變的，那么充入容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體的體積也固定不變，因此可以根據(jù)由壓力檢測器13檢測到的容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體的壓力，來最終確定充入容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體的質(zhì)量。根據(jù)上述原理，本實(shí)用新型可一次性向各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體，從而精確控制進(jìn)入各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體量。在本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，還包含與各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的排氣端連接設(shè)置的排氣管道U。在每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔排氣端與排氣管道11之間分別設(shè)置有真空泵9，用于從每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中抽取反應(yīng)尾氣以控制化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔內(nèi)氣壓。[0033]本實(shí)施例中，分別在一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4排氣端與排氣管道11之間、在二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5排氣端與排氣管道11之間、在三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6排氣端與排氣管道11之間、在四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7排氣端與排氣管道11之間設(shè)置真空泵9。以下通過應(yīng)用本實(shí)用新型化學(xué)沉積設(shè)備沉積薄膜太陽能電池的電極的沉積過程為例，來說明本實(shí)用新型化學(xué)沉積設(shè)備的工作過程，但這不應(yīng)該用于限定本實(shí)用新型的范圍，本實(shí)用新型化學(xué)沉積設(shè)備還可以用于ALD沉積，硅薄膜沉積等的其他化學(xué)氣相沉積工藝中。在薄膜太陽能電池的電極沉積過程中，第一襯底(如玻璃基板)首先通過裝載腔3被加載到化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，隨后進(jìn)入一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4中，同時(shí)，第二襯底被 加載到裝載腔3中。此時(shí)，設(shè)置在一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4進(jìn)氣端與進(jìn)氣管道10之間的定量供氣裝置開始工作。首先，控制器控制該定量供氣裝置的第一開關(guān)閥12開啟，并控制第二開關(guān)閥
14關(guān)閉。反應(yīng)氣體由反應(yīng)氣源I通過進(jìn)氣管道10充入容器15內(nèi)，此時(shí)壓力檢測器13實(shí)時(shí)檢測容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體壓力。當(dāng)壓力檢測器13檢測到容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體壓力達(dá)到或大于一預(yù)設(shè)壓力值(第一氣壓)時(shí)，說明充入容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體已經(jīng)達(dá)到預(yù)定量，因此控制器控制第一開關(guān)閥12關(guān)閉，完成充氣過程。隨后，仍然控制第一開關(guān)閥12關(guān)閉，并控制第二開關(guān)閥14打開，容器15內(nèi)的反應(yīng)氣體進(jìn)入一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4中，開始反應(yīng)過程并在第一襯底表面沉積薄膜。當(dāng)壓力檢測器13檢測到容器15內(nèi)的壓力下降到小于等于充氣壓力(第二氣壓)時(shí)，則說明預(yù)定質(zhì)量的反應(yīng)氣體已經(jīng)被輸送到一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4中。之后，控制器再次控制第二開關(guān)閥14關(guān)閉，并控制第一開關(guān)閥12打開，又一次開始向容器15內(nèi)充入反應(yīng)氣體，并在完成充氣過程后，將定量的反應(yīng)氣體充入一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4中，繼續(xù)進(jìn)行薄膜沉積。如此循環(huán)，直至在第一襯底上沉積一層一定厚度的薄膜(如TCO薄膜，即透明導(dǎo)電氧化物薄膜)，完成在一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4內(nèi)的薄膜沉積操作。在上述過程中，所述監(jiān)控器監(jiān)控流進(jìn)每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體的總量。具體地，所述監(jiān)控器中的計(jì)數(shù)器計(jì)算所述第一開關(guān)閥12的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或監(jiān)控所述第二開關(guān)閥14的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或監(jiān)控所述容器15內(nèi)氣壓達(dá)到第一氣壓或第二氣壓的次數(shù)，用以獲得所述定量供氣裝置向所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔供應(yīng)反應(yīng)氣體的次數(shù)，從而可以精確計(jì)算和控制供應(yīng)到所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的氣體總量。隨后，所述第一襯底被傳送至二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5內(nèi)，同時(shí)，所述第二襯底被傳輸?shù)揭患?jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4內(nèi)，而第三襯底被加載到所述到裝載腔3中。此時(shí)，所述一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4對(duì)第二襯底進(jìn)行薄膜沉積操作，同時(shí)，所述二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5對(duì)第一襯底進(jìn)行薄膜沉積操作，具體操作流程與上述一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4對(duì)第一襯底進(jìn)行薄膜沉積的過程相同，直至所述二級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔5完成對(duì)對(duì)所述第一沉底的薄膜沉積操作，以及所述一級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔4完成對(duì)所述第二襯底的薄膜沉積操作。以此類推，繼續(xù)依次完成三級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔6和四級(jí)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔7對(duì)第一襯底的薄膜沉積操作，從而完成第一襯底的整個(gè)薄膜沉積過程。最后通過卸載腔8卸載完成薄膜沉積的襯底，并送出化學(xué)氣相沉積設(shè)備。同時(shí)，后續(xù)第二襯底、第三襯底等被依次送入各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔，從而完成薄膜沉積過程。在上述薄膜太陽能電池的電極沉積過程中，通過設(shè)置在各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔排氣端與排氣管道11之間的真空泵9，將每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)尾氣抽出，并由排氣管道11排出。綜上所述，本實(shí)用新型所提供的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，利用定量供氣裝置可實(shí)現(xiàn)一次性向各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體，從而精確控制進(jìn)入各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體量，有效提高薄膜沉積質(zhì)量，從而提高太陽能薄膜電池的產(chǎn)品質(zhì)量；并且，每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔都通過一個(gè)獨(dú)立的定量供氣裝置向所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔供應(yīng)反應(yīng)氣體，可實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔獨(dú)立供應(yīng)反應(yīng)氣體，避免各個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間相互之間的影響。另外，本實(shí)用新型采用結(jié)構(gòu)簡單，組成部件價(jià)格低廉的定量供氣裝置代替現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴的流量控制閥，有效降低化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本，增強(qiáng)設(shè)備的維護(hù)性。盡管本實(shí)用新型的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對(duì)于本實(shí)用新型的多種修改和替代都將是顯而易見的。例如，本實(shí)用新型所提供的定量供氣裝置，也同樣適用于反應(yīng)物為液體和固體的設(shè)備，可利用與本實(shí)施例中所記載的類似原理和方法定量提供反應(yīng)物，同樣能夠?qū)崿F(xiàn)上述技術(shù)效果。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包含化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔以及氣體傳輸裝置；所述氣體傳輸裝置包含反應(yīng)氣源(I);其特征在于在所述反應(yīng)氣源(I)與所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間設(shè)置定量供氣裝置，該定量供氣裝置每次向化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體。
2.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述定量供氣裝置包含第一開關(guān)閥(12)、容器(15)、第二開關(guān)閥(14)和壓力檢測器(13)，所述第一開關(guān)閥(12)設(shè)置在反應(yīng)氣源(I)與容器(15)之間，所述第二開關(guān)閥(14)設(shè)置在容器(15)與化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的進(jìn)氣端之間，所述壓力檢測器(13)用于檢測所述容器(15)中的氣壓。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述定量供氣裝置還包含控制器；所述控制器根據(jù)所述壓力檢測器(13)檢測到的氣壓控制所述第一開關(guān)閥(12)和第二開關(guān)閥(14)，在所述氣壓大于等于第一氣壓時(shí)關(guān)閉所述第一開關(guān)閥(12)，并開啟所述第二開關(guān)閥(14)，在所述氣壓降到小于等于第二氣壓時(shí)開啟所述第一開關(guān)閥(12)，并關(guān)閉所述第二開關(guān)閥(14)。
4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述定量供氣裝置還包含監(jiān)控器，所述監(jiān)控器用于監(jiān)控流進(jìn)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中的反應(yīng)氣體的總量。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述監(jiān)控器包括計(jì)數(shù)器，所述計(jì)數(shù)器計(jì)算所述第一開關(guān)閥(12)的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或計(jì)算所述第二開關(guān)閥(14)的開啟或關(guān)閉次數(shù)，或計(jì)算所述容器(15)內(nèi)氣壓達(dá)到第一氣壓或第二氣壓的次數(shù)，或計(jì)算上述中的多個(gè)。
6.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備為原子層沉積設(shè)備或低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有多個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包含裝載腔(3)和卸載腔(8)，所述裝載腔(3)、多個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔和卸載腔(8)依次連接。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述氣體傳輸裝置還包含連接設(shè)置在所述反應(yīng)氣源(I)與每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端之間的進(jìn)氣管道(10);所述定量供氣裝置分別設(shè)置在每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔進(jìn)氣端與所述進(jìn)氣管道(10)之間。
9.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包含與每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的排氣端連接設(shè)置的排氣管道(11);在所述每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔排氣端與所述排氣管道(11)之間分別設(shè)置有真空泵(9)，該真空泵(9)從每個(gè)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中抽取反應(yīng)尾氣以控制化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔內(nèi)氣壓。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包含化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔以及氣體傳輸裝置；所述氣體傳輸裝置包含反應(yīng)氣源；在所述反應(yīng)氣源與所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間設(shè)置定量供氣裝置，該定量供氣裝置每次向化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體。本實(shí)用新型可精確控制進(jìn)入各個(gè)反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣體量，提高薄膜太陽能電池的沉積質(zhì)量，并且有效降低化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本。
文檔編號(hào)C23C16/455GK202499905SQ20112055343
公開日2012年10月24日 申請日期2011年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月27日
發(fā)明者李一成, 汪宇澄 申請人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司