專利名稱：聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)，特別是涉及一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
聚對二甲苯是通過化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，具有極其優(yōu)良的電性能、化學(xué)穩(wěn)定性和生物相容性，在微電子機械系統(tǒng)、電子元器件、醫(yī)療器材等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。聚對二甲苯薄膜均采用氣相沉積法(CVD工藝)制造，工藝如下對二甲苯二聚體在180°C下升華為氣體，經(jīng)過高溫裂解為對二甲苯單體，再導(dǎo)入內(nèi)部沉積裝置中在室溫下沉積聚合于產(chǎn)品表面。這種工藝使得聚對二甲苯薄膜具有無殘余應(yīng)力、完全同形、高度均勻、滲透力強等優(yōu)勢。目前的聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)中的滾筒的滾筋采用塊狀特氟龍沿環(huán)形非連續(xù)均布，便于滾筒安裝；滾筒自身開設(shè)有進氣口和出氣口以形成氣體通路，桶蓋采用利用摩擦力卡緊設(shè)計。這種設(shè)計結(jié)構(gòu)存在以下問題，1、滾筋尺寸精度和圓度較低，使得滾筒的旋轉(zhuǎn)阻力大，軌跡不均勻。2、由于進氣口直接面對出氣口，大量原料氣體從進氣管直接從出氣口流出，導(dǎo)致原料損失較多，降低了原料氣的利用率，增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。3、滾筒內(nèi)部真空度與真空測量口處的真空度之間仍有一定的壓差，降低了測量的真實度，而此類沉積設(shè)備采用壓力控制，這樣會導(dǎo)致后續(xù)對設(shè)備進行控制時會存在偏差，減低產(chǎn)品品質(zhì)。4、滾筒在旋轉(zhuǎn)過程中由于存在間歇性震動容易引起桶蓋脫落，產(chǎn)品漏出增加產(chǎn)品損耗的問題。

實用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)的滾筒裝置滾筋尺寸精度和圓度較低，原料氣的利用率不高，對設(shè)備控制偏差大，產(chǎn)品非正常損耗的問題，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠保證滾筋的尺寸精度和圓度，提升原料利用率，提高測量的精度和控制準(zhǔn)確度的聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)。為了解決上述問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是—種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括真空腔室、滾筒、滾筋、進氣管和出氣管，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有滾筒，其特征在于在滾筒外壁上設(shè)置有四個滾筋，四個滾筋形成兩道環(huán)形滾筋，分別位于滾筒高度的1/4處和3/4處，在真空腔室上開設(shè)有真空測量口，所述真空測量口位于1/4滾筋靠進氣管一側(cè)上，在真空腔室上設(shè)置有出氣口，所述出氣口與出氣管相連接，所述出氣口位于位于3/4滾筋遠離進氣管一側(cè)，所述進氣管穿過真空腔室伸入滾筒內(nèi)。前述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于所述滾筋通過焊接或鉚合直接固定在滾筒上，且無缺口。前述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于在滾筒的蓋板上設(shè)置有進氣口，所述進氣口的直徑大于進氣管的直徑1cm，進氣管通過進氣口伸入滾筒內(nèi)，滾筒無出氣口。前述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于所述出氣口和真空測量口分別位于圓柱形真空腔室前后兩端面附近。前述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于兩個滾筋位于真空腔室出氣口的左側(cè)。前述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于兩個滾筋位于真空腔室真空測量口右側(cè)。本實用新型的有益效果是1、本實用新型滾筋直接固定在滾筒上，采用半圓進行無缺口拼接，用大型車床加工，保證滾筋的尺寸精度和圓度，減低由于橢圓性導(dǎo)致的滾筒旋轉(zhuǎn)阻力大，軌跡不順滑均勻的問題。2、本實用新型腔室出氣口位于兩個滾筋的右側(cè)，形成兩道氣流阻隔，加大了滾筒內(nèi)氣體逸出的氣阻，減少了原料氣的抽出，提高了原料利用率。同時使?jié)L筒內(nèi)氣體分布更加均勻。3、本實用新型真空測量口位于兩個滾筋的左側(cè)，形成兩道氣流阻隔，加大了真空測量口處的真空腔室氣壓，減少了滾筒內(nèi)和真空測量口處的壓差，提高了測量的真實度和控制準(zhǔn)確度。4、本實用新型僅在滾筒的蓋板上開啟一個進氣口，其直徑略大于進氣管，滾筒無其它出氣口。滾筒蓋板進氣口與進氣管之間的間隙較小，原料氣通過進氣管進入滾筒內(nèi)，并只能從間隙處排出，大大提高了原料的利用率。5、桶蓋用螺釘鎖緊，減少了小產(chǎn)品的漏出而引起產(chǎn)品損耗。

圖1是本實用新型聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明滾筒蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。如圖1-2所示，一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括真空腔室1、滾筒2、四個滾筋3、出氣管4和進氣管5，在真空腔室1內(nèi)設(shè)置有滾筒2，滾筒2外壁上固定有四個滾筋3，四個滾筋3分兩排設(shè)置，且兩個半圓滾筋無缺口拼接程圓形，采用大型車床加工，保證滾筋的尺寸精度和圓度。在真空腔室1上設(shè)置有出氣口，出氣口與出氣管4相連接，出氣口位于上排兩個滾筋3的右側(cè)，這樣兩個滾筋3會形成兩道氣流阻隔，減少了原料氣的抽出，提高了原料得利用率。同時加大了滾筒2內(nèi)氣體逸出的氣阻，使?jié)L筒2內(nèi)氣體分布更加均勻。在真空腔室1上開設(shè)有真空測量口 6，真空測量口 6位于下排兩個滾筋3的左側(cè)，這樣兩個滾筋3會形成兩道氣流阻隔，減少了滾筒2內(nèi)和真空測量口 6處的壓差，提高了測量的精度和控制的合理性。[0025]在滾桶2的蓋板7上設(shè)置有與進氣管5相連接的進氣口 8，滾筒蓋板進氣口 8直徑略大于進氣管5直徑，滾筒無其它出氣口。進氣口 8與進氣管5之間的間隙較小，原料氣通過進氣管5進入滾桶2內(nèi)，并從間隙處排出，大大提高了原料的利用率。滾桶2蓋板7用螺釘鎖緊，減少產(chǎn)品的漏出引起的產(chǎn)品損耗。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征及優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括真空腔室、滾筒、滾筋、進氣管和出氣管，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有滾筒，其特征在于在滾筒外壁上設(shè)置有四個滾筋，四個滾筋形成兩道環(huán)形滾筋，分別位于滾筒高度的1/4處和3/4處，在真空腔室上開設(shè)有真空測量口，所述真空測量口位于1/4滾筋靠進氣管一側(cè)上，在真空腔室上設(shè)置有出氣口，所述出氣口與出氣管相連接，所述出氣口位于位于3/4滾筋遠離進氣管一側(cè)，所述進氣管穿過真空腔室伸入滾筒內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于所述滾筋通過焊接或鉚合直接固定在滾筒上，且無缺口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于在滾筒的蓋板上設(shè)置有進氣口，所述進氣口的直徑大于進氣管的直徑1cm，進氣管通過進氣口伸入滾筒內(nèi)，滾筒無出氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于所述出氣口和真空測量口分別位于圓柱形真空腔室前后兩端面附近。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于兩個滾筋位于真空腔室出氣口的左側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，其特征在于兩個滾筋位于真空腔室真空測量口右側(cè)。
專利摘要本實用新型公開了一種聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括真空腔室、滾筒、滾筋、進氣口和出氣管，其特征在于在滾筒外壁上設(shè)置有四個滾筋，四個滾筋形成兩道環(huán)形滾筋，分別位于滾筒高度的1/4處和3/4處，在真空腔室上開設(shè)有真空測量口，位于1/4滾筋靠進氣管一側(cè)上，在真空腔室上設(shè)置有出氣口，與出氣管相連接，位于3/4滾筋遠離進氣管一側(cè)。本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中滾筋尺寸精度和圓度較低，原料氣的利用率不高，沉積設(shè)備內(nèi)部壓力測量值不真實的問題，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠保證滾筋的尺寸精度和圓度，提升原料利用率，提高測量的真實度和控制精度的聚對二甲苯臥式沉積系統(tǒng)新腔室滾筒結(jié)構(gòu)。
文檔編號C23C16/00GK202337818SQ201120447698
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月14日
發(fā)明者徐志淮 申請人:昆山彰盛奈米科技有限公司