專利名稱：旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種真空鍍膜設(shè)備，尤其涉及ー種防止磁鐵生銹、靶材侵蝕均勻、 革巴材更換方便的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱革巴。
背景技術(shù)：
磁控濺射是通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，通過(guò)磁場(chǎng)的作用對(duì)靶材轟擊，從而使濺射出的靶原子沉積在基片上。現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)所安裝的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶具有以下幾個(gè)缺陷I.現(xiàn)有的圓柱靶大多采用的是靶材固定、磁靴旋轉(zhuǎn)的方式，此旋轉(zhuǎn)方式雖然結(jié)構(gòu)上比較簡(jiǎn)單，但磁場(chǎng)的磁力線總是處于永動(dòng)狀態(tài)，因此會(huì)造成磁場(chǎng)的不穩(wěn)定，使靶材表面侵蝕不均勻，濺射不穩(wěn)定，同時(shí)也會(huì)影響靶材的利用率；2.傳統(tǒng)的冷卻方式是磁鐵直接浸泡在水中，這種冷卻方式雖然對(duì)磁鐵的冷卻效果較好，但磁鐵長(zhǎng)期浸泡于水中容易生銹、侵蝕，影響磁場(chǎng)的穩(wěn)定，且銹蝕還會(huì)影響冷卻水的流通，進(jìn)而影響整個(gè)靶體的冷卻效果；3.現(xiàn)有的齒輪傳動(dòng)，安裝精度要求較高，不利于安裝、拆卸，且要考慮電機(jī)與靶頭、 革巴體的絕緣問(wèn)題，使結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜；4.現(xiàn)有的冷卻方式是采用冷卻水管一體化設(shè)計(jì)，當(dāng)在生產(chǎn)中需要更換靶材時(shí)，必需把整個(gè)靶體從容器上拆卸下來(lái)才能進(jìn)行，浪費(fèi)生產(chǎn)時(shí)間，増加了勞動(dòng)強(qiáng)度，影響生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供ー種防止磁鐵生銹、靶材侵蝕均勻、靶材更換方便的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，包括靶頭及靶體，所述靶頭包括安裝座、空心軸、導(dǎo)水管、進(jìn)水嘴、出水嘴及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述空心軸呈階梯狀結(jié)構(gòu)且樞接于所述安裝座上，所述導(dǎo)水管套接于所述空心軸內(nèi)且兩端伸出所述空心軸外，所述導(dǎo)水管的上端與所述進(jìn)水嘴連通，所述空心軸的上端與所述出水嘴連通，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述安裝座上且驅(qū)動(dòng)所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述靶體包括空心的靶材、靶材底座、空心的磁靴及永磁體，所述靶材上端與所述空心軸外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座螺接， 所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，所述磁靴內(nèi)置于所述靶材的內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管的下端可拆卸地固定，所述磁靴內(nèi)部與所述導(dǎo)水管連通，所述磁靴外壁與所述靶材內(nèi)壁之間形成空隙并分別與所述磁靴內(nèi)部及所述空心軸相連通，所述進(jìn)水嘴、導(dǎo)水管、磁靴的內(nèi)部、靶材的內(nèi)部、空心軸及出水嘴依次連通形成冷卻回路。較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、主動(dòng)皮帶輪、從動(dòng)皮帶輪及皮帶，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述安裝座的上方，所述主動(dòng)皮帶輪與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端連接，所述從動(dòng)皮帶輪與所述空心軸套接固定，所述皮帶纏繞于所述主動(dòng)皮帶輪及從動(dòng)皮帶輪之間。使用所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述皮帶輪，一方面實(shí)現(xiàn)對(duì)所述空心軸進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，另一方面考慮到靶頭與靶材帶電問(wèn)題，因此，通過(guò)使用所述皮帶及皮帶輪的方式驅(qū)動(dòng)，可以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述空心軸之間絕緣，從而防止設(shè)備外部漏電。較佳地，所述安裝座包括固定座、分水器及樞接座，所述固定座包括上固定板、下固定板及連接板，所述分水器絕緣地安裝于所述上固定板上，所述樞接座絕緣地安裝于所述下固定板上，所述連接板分別與所述上固定板及下固定板固定連接。具體地，所述分水器一側(cè)開(kāi)設(shè)有出水通道，所述空心軸的上端密封地套接于所述分水器內(nèi)且與所述出水通道連通，所述出水嘴與所述出水通道連通，所述導(dǎo)水管密封地穿過(guò)所述分水器并與所述進(jìn)水嘴連通。利用所述分水器可將所述空心軸的及導(dǎo)水管的水分流，從而形成有效的冷卻回路，實(shí)現(xiàn)對(duì)靶體的循環(huán)冷卻。具體地，所述樞接座包括套筒、軸承，所述套筒通過(guò)所述軸承套接于所述空心軸外，且所述套筒絕緣地固定于所述下固定板上。更具體地，所述樞接座還包括絕緣套及安裝板，所述絕緣套套接于所述套筒外，所述安裝板套接于所述絕緣套外，且所述安裝板絕緣地固定于所述下固定板上，利用所述安裝板可進(jìn)ー步固定所述套筒，從而使整個(gè)靶頭安裝更牢固，運(yùn)行時(shí)更加平穩(wěn)。更具體地，所述樞接座還包括承載件，所述承載件套接固定于所述空心軸外，且ー 側(cè)的承載于所述軸承的內(nèi)圈側(cè)面上。利用所述承載件可承載所述空心軸，進(jìn)而承載連接于所述空心軸下端的整個(gè)靶體。較佳地，所述靶體還包括螺釘，所述磁靴上端通過(guò)所述螺釘與所述導(dǎo)水管固定。利用所述螺釘使所述磁靴與所述導(dǎo)水管之間實(shí)現(xiàn)可拆卸地連接，從而方便安裝及拆卸。較佳地，所述靶體還包括磁靴底座，所述磁靴底座蓋合于所述磁靴的下端，且下端密封并可樞轉(zhuǎn)地套接于所述靶材底座上，所述磁靴底座開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔分別與所述磁靴內(nèi)部及靶材的內(nèi)部相連通。所述磁靴底座可支撐所述磁靴，使所述磁靴隨所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)更回穩(wěn)定，而且通過(guò)所述磁靴上開(kāi)設(shè)所述通孔，使所述冷卻水從所述磁靴內(nèi)部進(jìn)入所述靶材的內(nèi)部，從而形成冷卻回路，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)將所述空心軸安裝于所述安裝座上，將所述導(dǎo)水管套接于所述空心軸內(nèi)，并且，所述靶材與所述空心軸固定，所述永磁體內(nèi)置于所述靶材內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管相固定連通，通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述空心軸，使所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)所述靶材，從而使所述靶材轉(zhuǎn)動(dòng)；由于所述永磁體固定，與傳統(tǒng)的靶材固定而永磁體旋轉(zhuǎn)的方式相比，所述靶體磁場(chǎng)更加穩(wěn)定，靶材表面侵蝕非常均勻，濺射更加穩(wěn)定，極大地提高真空鍍膜的質(zhì)量及靶材的利用率；并且，通過(guò)將所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，使所述永磁體與冷卻水完全隔離，與傳統(tǒng)的磁鐵直接浸泡在水中的冷卻方式相比，可防止所述永磁體生銹及被侵蝕，保證磁場(chǎng)的穩(wěn)定；另外，所述靶材與所述空心軸螺接且所述磁靴與所述導(dǎo)水管可拆卸地連接，使所述靶體及靶頭可快速方便地安裝及拆卸，從而不需要拆卸靶頭便可更換靶材，大大節(jié)約了時(shí)間和勞動(dòng)強(qiáng)度。

圖I是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶的剖視圖。圖2是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶中分水器安裝于所述上固定板上的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖I中A部分的放大圖。圖4是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶的冷卻時(shí)的狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶100包括靶頭I及靶體2，所述靶頭I 包括安裝座11、空心軸12、導(dǎo)水管13、進(jìn)水嘴14、出水嘴15及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16。所述安裝座11 包括固定座111、分水器112及樞接座113，所述固定座包括上固定板111a、下固定板Illb 及連接板111c，所述分水器112絕緣地安裝于所述上固定板Illa上，所述樞接座113絕緣地安裝于所述下固定板Illb上，所述連接板Illc分別與所述上固定板Illa及下固定板 Illb固定連接。如圖2所示，所述分水器112 —側(cè)開(kāi)設(shè)有出水通道112a，所述空心軸12呈階梯狀結(jié)構(gòu)且外徑較小的一端通過(guò)密封圈12a密封地套接于所述分水器112內(nèi)且與所述出水通道 112a連通，所述出水嘴15與所述出水通道112a連通。結(jié)合圖I及圖2所示，所述空心軸12的中段通過(guò)所述上固定板Illa及下固定板 Illb并套接于所述樞接座113上，所述導(dǎo)水管13套接于所述空心軸12內(nèi)且兩端伸出所述空心軸12外。所述導(dǎo)水管13的上端通過(guò)密封圈13a密封地穿過(guò)所述分水器112并與所述進(jìn)水嘴14連通。利用所述分水器112可將所述空心軸12的及導(dǎo)水管13的水分流，從而形成有效的冷卻回路，實(shí)現(xiàn)對(duì)靶體2的循環(huán)冷卻。所述樞接座113包括套筒113a、軸承113b、絕緣套113c、安裝板113d及承載件 113e，所述套筒113a通過(guò)所述軸承套113b接于所述空心軸12タト，且所述套筒113a絕緣地固定于所述下固定板Illb上。所述絕緣套113c套接于所述套筒113a外，所述安裝板113d 套接于所述絕緣套113cタト，且所述安裝板113d絕緣地固定于所述下固定板Illb上，利用所述安裝板113d可進(jìn)ー步固定所述套筒113a，從而使整個(gè)靶頭I安裝更牢固，運(yùn)行時(shí)更加平穩(wěn)。所述承載件113e套接固定于所述空心軸12タト，且ー側(cè)的承載于所述軸承113b的內(nèi)圈側(cè)面上。所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16安裝于所述安裝座11上，具體地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)16a、主動(dòng)皮帶輪16b、從動(dòng)皮帶輪16c及皮帶16d,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)16a安裝于所述上固定板Illa的上方,所述主動(dòng)皮帶輪16b與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)16a的輸出端連接,所述從動(dòng)皮帶輪 16c與所述空心軸12套接固定,所述皮帶16d纏繞于所述主動(dòng)皮帶輪16b及從動(dòng)皮帶輪16c 之間。使用所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)16a驅(qū)動(dòng)所述皮帶輪16d，一方面實(shí)現(xiàn)對(duì)所述空心軸12進(jìn)行驅(qū)動(dòng)， 另ー方面考慮到靶頭與靶材帶電問(wèn)題，因此，通過(guò)使用皮帶及皮帶輪的方式驅(qū)動(dòng)，可以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)16a與所述空心軸12之間絕緣，從而防止設(shè)備外部漏電。結(jié)合圖I及圖3所示，所述靶體2包括空心的靶材21、靶材底座22、空心的磁靴 23、永磁體24、螺釘25及磁靴底座26。所述靶材21上端與所述空心軸12外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座22螺接，所述靶材21內(nèi)部與所述空心軸12相連通；所述永磁體 24內(nèi)置于所述磁靴23的內(nèi)部，所述磁靴23將所述永磁體24完全包覆；所述磁靴23內(nèi)置于所述靶材21的內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管13的下端可拆卸地固定。具體地，所述磁靴23上端通過(guò)所述螺釘25與所述導(dǎo)水管13固定，所述磁靴23內(nèi)部與所述導(dǎo)水管12連通；利用所述螺釘25，使所述磁靴23與所述導(dǎo)水管12之間實(shí)現(xiàn)可拆卸地連接，從而方便安裝及拆卸。所述磁靴23外壁與所述靶材21內(nèi)壁之間形成空隙并分別與所述磁靴23內(nèi)部及所述空心軸 12相連通。所述磁靴底座25蓋合于所述磁靴23的下端，且下端密封并可樞轉(zhuǎn)地套接于所述靶材底座22上，所述磁靴底座26開(kāi)設(shè)有通孔26a，所述通孔26a分別與所述磁靴23內(nèi)部及靶材21的內(nèi)部相連通。所述磁靴底座26可支撐所述磁靴23，使所述磁靴23隨所述空心軸12轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)更加穩(wěn)定，而且通過(guò)所述磁靴底座26上開(kāi)設(shè)所述通孔26a，從而使所述冷卻水從所述磁靴23內(nèi)部進(jìn)入所述靶材21的內(nèi)部。所述進(jìn)水嘴14、導(dǎo)水管13、磁靴23的內(nèi)部、 靶材21的內(nèi)部、空心軸12及出水嘴15依次連通形成冷卻回路。綜合上述并結(jié)合圖4，磁控濺射時(shí)，所述靶材21為陰極，所述驅(qū)動(dòng)電動(dòng)16啟動(dòng)帶動(dòng)所述主動(dòng)皮帶輪16b,所述主動(dòng)皮帶輪16b通過(guò)皮帶16d帶動(dòng)所述從動(dòng)皮帶輪16c,所述從動(dòng)皮帶輪16c轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)所述空心軸12轉(zhuǎn)動(dòng)，所述空心軸12轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)下端所述靶材 21轉(zhuǎn)動(dòng)，所述靶材21相對(duì)內(nèi)部的磁靴23旋轉(zhuǎn)，外部的離子在永磁體24產(chǎn)生的磁場(chǎng)的作用下轟擊靶材21表面而產(chǎn)生靶原子，靶原子濺出并沉積于需要鍍膜的基片(圖中未示)上。 在此過(guò)程中，所述靶體2內(nèi)部產(chǎn)生高溫，此時(shí)，通過(guò)所述進(jìn)水嘴14注入冷卻水，冷卻水從所述進(jìn)水嘴14進(jìn)入所述導(dǎo)水管13，再進(jìn)入到所述磁靴23內(nèi)部，從而對(duì)所述永磁體24進(jìn)行冷卻，然后通過(guò)所述通孔26a進(jìn)入所述磁靴23外壁與所述靶材21內(nèi)壁之間的空隙內(nèi)，從而對(duì)所述靶材21進(jìn)行冷卻，最后進(jìn)入所述空心軸12內(nèi)并通過(guò)出水排出，通過(guò)不斷注入冷卻水從而對(duì)所述靶體2持續(xù)冷卻。本實(shí)用新型通過(guò)將所述空心軸12安裝于所述安裝座11上，將所述導(dǎo)水管13套接于所述空心軸12內(nèi)，并且，所述靶材21與所述空心軸12固定，所述永磁體24內(nèi)置于所述靶材21內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管13相固定連通，通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述空心軸12，使所述空心軸12轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)所述靶材21，從而使所述靶材21轉(zhuǎn)動(dòng)；由于所述永磁體24固定，與傳統(tǒng)的靶材固定而永磁體旋轉(zhuǎn)的方式相比，所述靶體2磁場(chǎng)更加穩(wěn)定，靶材21表面侵蝕非常均勻，濺射更加穩(wěn)定，極大地提高真空鍍膜的質(zhì)量及靶材21的利用率；并且，通過(guò)將所述永磁體24內(nèi)置于所述磁靴23的內(nèi)部，使所述永磁體24與冷卻水完全隔離，與傳統(tǒng)的磁鐵直接浸泡在水中的冷卻方式相比，可防止所述永磁體24生銹及被侵蝕，保證磁場(chǎng)的穩(wěn)定；另外，所述靶材21 與所述空心軸12螺接且所述磁靴23與所述導(dǎo)水管13可拆卸地連接，使所述靶體2及靶頭 I可快速方便地安裝及拆卸，從而不需要拆卸靶頭便可更換靶材，大大節(jié)約了時(shí)間和勞動(dòng)強(qiáng)度。本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶100所涉及到的所述永磁體24的排布方式均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬于本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1 一種旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，包括靶頭及靶體，其特征在于所述靶頭包括安裝座、空心軸、導(dǎo)水管、進(jìn)水嘴、出水嘴及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述空心軸呈階梯狀結(jié)構(gòu)且樞接于所述安裝座上， 所述導(dǎo)水管套接于所述空心軸內(nèi)且兩端伸出所述空心軸外，所述導(dǎo)水管的上端與所述進(jìn)水嘴連通，所述空心軸的上端與所述出水嘴連通，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述安裝座上且驅(qū)動(dòng)所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述靶體包括空心的靶材、靶材底座、空心的磁靴及永磁體，所述靶材上端與所述空心軸外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座螺接，所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，所述磁靴內(nèi)置于所述靶材的內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管的下端可拆卸地固定，所述磁靴內(nèi)部與所述導(dǎo)水管連通，所述磁靴外壁與所述靶材內(nèi)壁之間形成空隙并分別與所述磁靴內(nèi)部及所述空心軸相連通,所述進(jìn)水嘴、導(dǎo)水管、磁靴的內(nèi)部、靶材的內(nèi)部、空心軸及出水嘴依次連通形成冷卻回路。
2.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、 主動(dòng)皮帶輪、從動(dòng)皮帶輪及皮帶，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述安裝座的上方，所述主動(dòng)皮帶輪與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端連接，所述從動(dòng)皮帶輪與所述空心軸套接固定，所述皮帶纏繞于所述主動(dòng)皮帶輪及從動(dòng)皮帶輪之間。
3.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述安裝座包括固定座、分水器及樞接座，所述固定座包括上固定板、下固定板及連接板，所述分水器絕緣地安裝于所述上固定板上，所述樞接座絕緣地安裝于所述下固定板上，所述連接板分別與所述上固定板及下固定板固定連接。
4.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述分水器一側(cè)開(kāi)設(shè)有出水通道，所述空心軸的上端密封地套接于所述分水器內(nèi)且與所述出水通道連通，所述出水嘴與所述出水通道連通，所述導(dǎo)水管密封地穿過(guò)所述分水器并與所述進(jìn)水嘴連通。
5.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述樞接座包括套筒、軸承， 所述套筒通過(guò)所述軸承套接于所述空心軸外，且所述套筒絕緣地固定于所述下固定板上。
6.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱祀,其特征在于所述樞接座還包括絕緣套及安裝板，所述絕緣套套接于所述套筒外，所述安裝板套接于所述絕緣套外，且所述安裝板絕緣地固定于所述下固定板上。
7.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述樞接座還包括承載件，所述承載件套接固定于所述空心軸外，且ー側(cè)的承載于所述軸承的內(nèi)圈側(cè)面上。
8.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述靶體還包括螺釘，所述磁靴上端通過(guò)所述螺釘與所述導(dǎo)水管固定。
9.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，其特征在于所述靶體還包括磁靴底座，所述磁靴底座蓋合于所述磁靴的下端，且下端密封并可樞轉(zhuǎn)地套接于所述靶材底座上，所述磁靴底座開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔分別與所述磁靴內(nèi)部及靶材的內(nèi)部相連通。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，包括靶頭及靶體，所述靶頭包括安裝座、空心軸、導(dǎo)水管、進(jìn)水嘴、出水嘴及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述空心軸呈階梯狀結(jié)構(gòu)且樞接于所述安裝座上，所述導(dǎo)水管套接于所述空心軸內(nèi)，所述導(dǎo)水管的上端與所述進(jìn)水嘴連通，所述空心軸的上端與所述出水嘴連通，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述安裝座上且驅(qū)動(dòng)所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述靶體包括空心的靶材、靶材底座、空心的磁靴及永磁體，所述靶材上端與所述空心軸外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座螺接，所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，所述磁靴內(nèi)置于所述靶材的內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管的下端可拆卸地固定。本實(shí)用新型能防止磁鐵生銹、靶材侵蝕均勻、靶材更換方便。
文檔編號(hào)C23C14/35GK202347087SQ20112038240
公開(kāi)日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2011年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月10日
發(fā)明者溫達(dá)明, 鄭錫輝, 陳春紅, 靳新軍 申請(qǐng)人:蘇州豐裕機(jī)械工程有限公司