專利名稱：電極盒結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及電子設(shè)備和太陽能電池技術(shù)，尤其涉及一種用于真空鍍膜機的電極盒結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
非晶硅薄膜太陽能電池是20多年來國際上新發(fā)展起來的一項太陽能電池新技術(shù)。非晶硅薄膜太陽能電池的硅材料厚度只有1微米左右，是單晶硅太陽能電池硅材料厚度的1/200-1/300，與單晶硅太陽能電池相比，制備這種薄膜所用硅原料很少，薄膜生長時間較短，設(shè)備制造簡單，容易大批量連續(xù)生產(chǎn)，根據(jù)國際上有關(guān)專家的估計，非晶硅薄膜太陽能電池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太陽能電池。非晶硅材料是由氣相沉積形成的，目前已被普遍采用的方法是等離子增強型化學(xué)氣相沉積(PECVD)法。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD 稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)。薄膜化學(xué)氣相沉積是非晶硅薄膜太陽能電池的規(guī)?；a(chǎn)的核心工藝，實現(xiàn)該工藝的核心設(shè)備是電極盒。目前電極盒的反應(yīng)腔體積較小，在進行氣相沉積時，工藝窗口很小，在進行多種不同工藝氣體氣相沉淀時很難保證非晶硅膜厚和膜特性的均勻性。
實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可增大工藝窗口的電極盒結(jié)構(gòu)。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種電極盒結(jié)構(gòu)，其包括左、右兩個電極盒，所述左、右兩個電極盒通過一對接板連接，所述電極盒的頂部設(shè)有頂蓋，所述左電極盒的左端、右電極盒的右端均設(shè)有端蓋。優(yōu)選的，所述電極盒內(nèi)設(shè)有16組電極組。優(yōu)選的，所述電極盒的進氣口處設(shè)有勻氣板。優(yōu)選的，所述電極盒為鋁合金結(jié)構(gòu)。 優(yōu)選的，所述電極盒位于一電極盒小車上。上述技術(shù)方案具有如下有益效果該電極盒結(jié)構(gòu)由左右兩個電極盒組成，這樣可有效增大其反應(yīng)腔體積，在反應(yīng)腔體積大增大的前提下，通過適當(dāng)?shù)墓に噳毫蜌怏w輸送方法就可以獲得高的氣體利用率，增大工藝窗口、進而在轉(zhuǎn)換不同工藝氣體、比例配方和制程的過程中取得均勻的非晶硅膜厚和膜特性。上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖對本專利進行詳細說明。
圖1為本實用新型實施例的爆炸圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細介紹。如圖1所示，該電極盒結(jié)構(gòu)包括一左電極盒1和一右電極盒2，左電極盒1和右電極盒2通過對接板5連接。左電極盒1的左端設(shè)有端蓋3，右電極盒2的右端設(shè)有端蓋4， 左電極盒1的頂部分別設(shè)有頂蓋6，右電極盒2的頂部設(shè)有頂蓋8。左電極盒1、右電極盒2均采用鋁合金結(jié)構(gòu)，每個電極盒內(nèi)設(shè)有16組電極組，左電極盒1進氣口處設(shè)有勻氣板7，右電極盒2進氣口處設(shè)有勻氣板9，這樣可使進入電極盒腔體的氣體更加的均勻。左電極盒1、右電極盒2位于一電極盒小車10上，這樣可使電極盒運送、安裝更加的方便。該電極盒結(jié)構(gòu)由左右兩個電極盒組成，這樣可有效增大其反應(yīng)腔，在反應(yīng)腔體積大增大的前提下，通過適當(dāng)?shù)墓に噳毫蜌怏w輸送方法就可以獲得高的氣體利用率，增大工藝窗口、進而在轉(zhuǎn)換不同工藝氣體、比例配方和制程的過程中取得均勻的非晶硅膜厚和膜特性。以上對本實用新型實施例所提供的一種電極盒結(jié)構(gòu)進行了詳細介紹，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實用新型實施例的思想，在具體實施方式
及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實用新型的限制，凡依本實用新型設(shè)計思想所做的任何改變都在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種電極盒結(jié)構(gòu)，其特征在于其包括左、右兩個電極盒，所述左、右兩個電極盒通過一對接板連接，所述電極盒的頂部設(shè)有頂蓋，所述左電極盒的左端、右電極盒的右端設(shè)有立而蓋O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極盒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極盒內(nèi)設(shè)有16組電極組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極盒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極盒的進氣口處設(shè)有勻氣板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極盒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極盒為鋁合金結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極盒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極盒位于電極盒小車上。
專利摘要本實用新型公開了一種電極盒結(jié)構(gòu)，包括左、右兩個電極盒，所述左、右兩個電極盒通過一對接板連接，所述電極盒的頂部設(shè)有頂蓋，所述左電極盒的左端、右電極盒的右端設(shè)有端蓋。該電極盒結(jié)構(gòu)由左右兩個電極盒組成，這樣可有效增大其反應(yīng)腔體積，在反應(yīng)腔體積大增大的前提下，通過適當(dāng)?shù)墓に噳毫蜌怏w輸送方法就可以獲得高的氣體利用率，增大工藝窗口、進而在轉(zhuǎn)換不同工藝氣體、比例配方和制程的過程中取得均勻的非晶硅膜厚和膜特性。
文檔編號C23C16/50GK202208760SQ20112028896
公開日2012年5月2日 申請日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月10日
發(fā)明者郭鋒 申請人:上海曙海太陽能有限公司