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鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器的制作方法

文檔序號:3380024閱讀:325來源:國知局
專利名稱:鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種真空鍍膜機(jī)真空室內(nèi)的氣體捕集器。
背景技術(shù)
真空鍍膜機(jī)的油擴(kuò)散泵的主要結(jié)構(gòu)是由泵殼、泵芯、硅油、電爐組成。其原理是利用電爐在泵的底部加熱至270°C使硅油沸騰,產(chǎn)生油蒸汽而向上噴射。經(jīng)一、二、三級噴嘴噴出形成高速的噴射油膜。此時利用空氣動力學(xué)的原理將空氣分子吸附在油膜表面經(jīng)三級壓縮后由機(jī)械真空泵抽出。在真空鍍膜機(jī)真空室的整個抽氣過程中,不可避免地會產(chǎn)生油氣分子的揮發(fā),如果對有害氣體以及超微量的剩余氣體不能百分百的捕捉,有害氣體以及超微量的剩余氣體揮發(fā)至真空室內(nèi)的工件表面,將直接影響鍍膜的質(zhì)量和附著力。原有氣體捕集器是采用銅管繞制若干圈后,放置于真空室的下面,而未放在抽氣口的中間。這樣就會影響到油擴(kuò)散泵內(nèi)的油氣分子會直接發(fā)散至工件的表面,從而影響到全膜的牢固度。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,高效吸附真空室內(nèi)的水汽分子以提高抽速和真空度。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用如下技術(shù)方案鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,包括制冷管、框架和若干塊擋板,所述框架豎直固定于真空室與真空泵之間的真空室抽氣口位置,所述制冷管包括間隔設(shè)置的直管段和彎管段,一段直管段上傾斜固定有一塊擋板。作為優(yōu)選,相鄰擋板的水平投影具有一個重疊區(qū),以實現(xiàn)光密封。作為優(yōu)選,所述擋板的中部焊接于所述直管段上,以便更快地獲得低溫。作為優(yōu)選,所述擋板朝向所述真空泵傾斜。本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案,利用超低溫的溫差對流原理以及充分的光密封將油氣分子、水分子充分吸附在擋板表面,從而使工件的金膜質(zhì)量和附著力得到提高。 大幅度提高抽速和真空度,因為抽速的提高從而縮短了生產(chǎn)時間,減少了電耗。

圖1為本實用新型鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器的正視圖圖2為本實用新型鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器的側(cè)視圖圖3為帶有該裝置的真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步描述。[0015]圖1和圖2所示為本實用新型鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,包括制冷管1、框架3 和若干塊擋板2,如圖3所示,所述框架3豎直固定于真空室4與真空泵5之間的真空室抽氣口位置,所述制冷管1包括間隔設(shè)置的直管段11和彎管段12,一段直管段11上傾斜固定有一塊擋板2。相鄰擋板2的水平投影具有一個重疊區(qū)21。所述擋板2的中部焊接于所述直管段11上。所述擋板2朝向所述真空泵5傾斜。如圖3所示,使用時,真空室4內(nèi)的空氣分子經(jīng)油擴(kuò)散泵6的三級壓縮后由真空泵 5抽出。在真空室4內(nèi)設(shè)置本實用新型鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器后,在該氣體捕集器的制冷管1內(nèi)通以-120°C的冷媒,焊接于制冷管1上的擋板2也降至相應(yīng)溫度,利用超低溫的溫差對流原理以及充分的光密封將油氣分子、水分子充分吸附在擋板表面,從而保證真空鍍膜過程中傘架7上工件的鍍膜質(zhì)量。本實用新型鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器將多圈繞制的超低溫蒸發(fā)器改成百葉窗形式的氣體捕集器,并將其放置于真空室的主抽氣口內(nèi),大幅度減少了有害氣體量,大幅度提高了抽速和真空度,在冷抽狀態(tài)下僅30分鐘真空可達(dá)到2. 0X10_4mbar。
權(quán)利要求1.鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,其特征在于包括制冷管(1)、框架C3)和若干塊擋板 O),所述框架(3)豎直固定于真空室(4)與真空泵(5)之間的真空室抽氣口位置,所述制冷管(1)包括間隔設(shè)置的直管段(11)和彎管段(12),一段直管段(11)上傾斜固定有一塊擋板⑵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,其特征在于相鄰擋板O)的水平投影具有一個重疊區(qū)01)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,其特征在于所述擋板O)的中部焊接于所述直管段(11)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,其特征在于所述擋板(2)朝向所述真空泵( 傾斜。
專利摘要本實用新型公開了一種鍍膜機(jī)真空室內(nèi)氣體捕集器,包括制冷管、框架和若干塊擋板,所述框架豎直固定于真空室與真空泵之間的真空室抽氣口位置,所述制冷管包括間隔設(shè)置的直管段和彎管段,一段直管段上傾斜固定有一塊擋板。本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案,利用超低溫的溫差對流原理以及充分的光密封將油氣分子、水分子充分吸附在擋板表面,從而使工件的金膜質(zhì)量和附著力得到提高。大幅度提高抽速和真空度,因為抽速的提高從而縮短了生產(chǎn)時間,減少了電耗。
文檔編號C23C14/00GK202070189SQ20112014855
公開日2011年12月14日 申請日期2011年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月11日
發(fā)明者徐軍 申請人:浙江阿萊德生物科技有限公司
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