專利名稱：小型化支撐微調(diào)裝置及其運用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種小型化支撐微調(diào)裝置及其運用，尤其涉及一種可進(jìn)行X、Y、Z三軸方向的微調(diào)以協(xié)助連接半導(dǎo)體設(shè)備的腔體的小型化支撐微調(diào)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，為了在材料上形成例如導(dǎo)電膜、抗反射膜或反應(yīng)膜等具有不同特性的薄膜，一般會使用 PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical VaporDeposition)等真空鍍膜設(shè)備,而前述設(shè)備必須具有極高的真空度(潔凈度)才能有效地運作并確保鍍膜的質(zhì)量。真空制程設(shè)備粗略可分為集束式與直線式，所謂集束式是將不同制程的腔體環(huán)繞在傳送腔體(其具有傳送機構(gòu)，例如機械手臂)周圍，直線式則是將不同制程的腔體直線排列連接。不論是使用何種形式的真空制程設(shè)備，其腔體與腔體之間皆必須緊密接合以達(dá)到氣密效果，故腔體與腔體之間一般會通過多個螺絲(例如M8螺絲)互相緊密地螺鎖。在螺鎖過程中，因為制造公差問題，每一個螺絲并不一定可以很順利地螺入對應(yīng)的螺孔，故在螺鎖時必須將腔體稍微抬高或偏移微小距離以調(diào)整腔體的位置，且必須不斷重復(fù)此動作才能使腔體調(diào)整至適當(dāng)位置并使螺絲順利地螺入對應(yīng)的螺孔。然而，因為腔體具有較大尺寸而具有一定重量，例如數(shù)百公斤以上，故在抬高或偏移過程中必須借助多個工人，耗費極大力氣才能移動調(diào)整腔體的位置。此外，利用人力移動調(diào)整腔體不僅耗費力氣，工人在移動腔體時亦容易產(chǎn)生移動距離過多或過少的問題，換句話說，工人必須不斷嘗試移動距離的多少并重復(fù)調(diào)整腔體的位置才能使螺絲順利地螺入對應(yīng)的螺孔。雖然目前有所謂的千斤頂可用以支撐重物，但因腔體四周亦有其他相關(guān)設(shè)備、管路存在，故亦無空間可使用一般常見的千斤頂。再者，腔體在稍微抬高后雖然可以使螺絲順利地螺入對應(yīng)的螺孔，但如上所述，腔體十分笨重，故腔體在稍微抬高而與相鄰腔體連接后會形成傾斜而呈局部懸空的狀態(tài)，由于螺絲必須支撐腔體的重量，因而產(chǎn)生彎曲效果，如此在長久使用之后，即會造成螺絲彎曲甚至斷裂等問題，進(jìn)而使腔體與腔體之間無法達(dá)到氣密效果，嚴(yán)重者甚至?xí)斐汕惑w損壞。上述問題存在由來已久，但始終無法有效解決，原因在于人們始終認(rèn)為在連接腔體時，腔體與腔體之間只要能順利地螺鎖螺絲并達(dá)到氣密要求即可，但卻未考慮或正視后續(xù)會造成螺絲彎曲、斷裂、腔體損壞等問題，故雖然在連接腔體時暫時看似沒有問題，但長久以往所造成的影響卻不容小覷。

發(fā)明內(nèi)容
本 發(fā)明即為解決上述問題而提供一種小型化支撐微調(diào)裝置，其具有可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)的組件以支撐重物。
換句話說，本發(fā)明的小型化支撐微調(diào)裝置定義有X軸方向、Y軸方向及Z軸方向，且此小型化支撐微調(diào)裝置包括基座、滑座、滑塊、及調(diào)整螺栓。其中，基座在其頂面具有上開孔，且在其底面具有與上開孔對應(yīng)的下開孔；滑座在X軸方向滑動設(shè)置在基座上，且滑座上具有滑槽；滑塊在Y軸方向滑動設(shè)置在滑座上，且滑塊上具有螺孔；調(diào)整螺栓沿Z軸方向經(jīng)由下開孔與上開孔穿過滑槽螺合在螺孔中；因此，小型化支撐微調(diào)裝置可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)以支撐重物。進(jìn)一步說，本發(fā)明所提供的小型化支撐微調(diào)裝置，其基座包括槽孔及至少一個固定座，槽孔沿X軸方向及Y軸方向開設(shè)，并分隔基座沿Z軸方向形成上基部及下基部，上基部包括第一滑軌、多個第一螺絲 及上開孔，下基部包括下開孔，其中，第一滑軌沿X軸方向延伸并包括多個第一螺孔，此多個第一螺孔沿Y軸方向開設(shè)，多個第一螺絲分別螺合在多個第一螺孔中，上開孔沿Z軸方向開設(shè)，下開孔亦沿Z軸方向開設(shè)并對應(yīng)于上開孔，至少一個固定座由基座向外延伸形成。該小型化支撐微調(diào)裝置的滑座滑動設(shè)置在第一滑軌上并對應(yīng)頂?shù)衷诙鄠€第一螺絲上，且滑座包括第二滑軌、多個第二螺絲及滑槽，其中，第二滑軌沿Y軸方向延伸并包括多個第二螺孔，此多個第二螺孔沿X軸方向開設(shè)，多個第二螺絲分別螺合在多個第二螺孔中，滑槽沿Z軸方向開設(shè)并沿Y軸方向延伸、并對應(yīng)于上開孔。該小型化支撐微調(diào)裝置的滑塊滑動設(shè)置在第二滑軌上并對應(yīng)頂?shù)衷诙鄠€第二螺絲上，且滑塊包括螺孔，此螺孔沿Z軸方向開設(shè)。該小型化支撐微調(diào)裝置的調(diào)整螺栓沿Z軸方向經(jīng)由下開孔與上開孔穿過滑槽螺合在螺孔中。因此，通過基座、滑座、滑塊及調(diào)整螺栓等簡單機構(gòu)組件的組合，即可在X、Y、Z三軸方向支撐微調(diào)以定位調(diào)整螺栓來支撐重物，并可達(dá)到結(jié)構(gòu)小型化及低制造成本的目的。本發(fā)明亦有關(guān)于一種小型化支撐微調(diào)裝置的運用，其使用在半導(dǎo)體設(shè)備中用于協(xié)助連接及支撐腔體，可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)。


圖1為本發(fā)明第一具體實施例的立體圖；圖2為圖1的分解圖；圖3及圖4為本發(fā)明第一具體實施例在俯視方向的動作示意圖。圖5為本發(fā)明第一具體實施例的使用狀態(tài)示意圖；圖6及圖7為圖5的部分放大示意圖；圖8為本發(fā)明第二具體實施例的立體圖。主要組件符號說明I 小型化支撐微調(diào)裝置2基座21 槽孔22 上基部221 第一滑軌222 第一螺絲
223第一螺孔224上開孔23下基部231下開孔232固定座3滑座31第二滑軌311第二螺孔
32第二螺絲33滑槽4滑塊41螺孔5螺栓6扳手71腔體711凸緣712凹入部72螺絲73角架74螺絲8小型化支撐微調(diào)裝置81固定座
具體實施例方式本發(fā)明的小型化支撐微調(diào)裝置具有可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)的組件以支撐重物。在運用上，本發(fā)明的小型化支撐微調(diào)裝置可使用在半導(dǎo)體設(shè)備中用于協(xié)助連接及支撐腔體，以下將配合附圖詳細(xì)說明。請同時參閱圖1及圖2，其中圖1為本發(fā)明第一具體實施例的立體圖，圖2為圖1的分解圖。在圖中顯示有小型化支撐微調(diào)裝置I，其定義有X軸方向、Y軸方向及Z軸方向，且此小型化支撐微調(diào)裝置I包括基座2、滑座3、滑塊4以及調(diào)整螺栓5。圖中的基座2包括槽孔21及多個固定座232，槽孔21沿X軸方向及Y軸方向開設(shè)并分隔基座2沿Z軸方向形成上基部22及下基部23，上基部22包括第一滑軌221 (分為左右二側(cè))、多個第一螺絲222及上開孔224，下基部23包括下開孔231。其中，第一滑軌221沿X軸方向延伸并包括多個第一螺孔223，此多個第一螺孔223沿Y軸方向開設(shè)，多個第一螺絲222分別螺合在多個第一螺孔223中，上開孔224沿Z軸方向開設(shè)，下開孔231沿Z軸方向開設(shè)并對應(yīng)于上開孔224，多個固定座232由基座2向外延伸形成，在本實施例中，多個固定座232由下基部23向外延伸形成。在本實施例中，多個固定座232的數(shù)量為兩個(當(dāng)然亦可僅為一個或其他數(shù)量)并分別沿X軸方向由基座2 (的下基部23)向外延伸形成，當(dāng)然亦可為其他數(shù)量，且亦可分別沿Y軸方向及/或Z軸方向由基座2 (的下基部23及/或上基部22)向外延伸形成，或者，例如一部分的固定座232可沿X軸方向延伸形成，另外一部分的固定座232可沿Y軸方向延伸形成；多個第一螺絲222及多個第一螺孔223的數(shù)量分別為兩個，當(dāng)然亦可為其他數(shù)量，且第一螺絲222可為手動螺絲。此外，圖中的滑座3滑動設(shè)置在基座2上基部22的第一滑軌221上，并對應(yīng)頂?shù)衷诙鄠€第一螺絲222上，且滑座3包括第二滑軌31 (分為左右二側(cè))、多個第二螺絲32及滑槽33，其中第二滑軌31沿Y軸方向延伸，滑座3包括多個第二螺孔311，此多個第二螺孔311沿X軸方向開設(shè)，多個第二螺絲32分別螺合在多個第二螺孔311中，滑槽33沿Z軸方向開設(shè)并沿Y軸方向延伸、并對應(yīng)于上基部22的上開孔224。在本實施例中，多個第二螺絲32及多個第二螺孔311的數(shù)量同樣分別為兩個，當(dāng)然亦可為其他數(shù)量，且第二螺絲32亦可為手動螺絲。
另由附圖可知，滑塊4滑動設(shè)置在滑座3的第二滑軌31上，并對應(yīng)頂?shù)衷诙鄠€第二螺絲32上，且滑塊4包括螺孔41，此螺孔41沿Z軸方向開設(shè)；調(diào)整螺栓5在本實施例中為M12螺栓，當(dāng)然亦可為其他尺寸的螺栓，其沿Z軸方向經(jīng)由基座2的下開孔231與上開孔224穿過滑座3的滑槽33螺合在滑塊4的螺孔41中。請參閱圖3及圖4，其為本發(fā)明第一具體實施例在俯視方向的動作示意圖?；?滑動設(shè)置在基座2上基部22的第一滑軌221上，亦即滑座3如圖3與圖4所示可相對于基座2在X軸方向滑移，且當(dāng)滑座3滑移至適當(dāng)位置后，即可利用第一螺絲222螺鎖頂?shù)侄够?固定在一定點；同樣的，滑塊4滑動設(shè)置在滑座3的第二滑軌31上，亦即滑塊4如圖4所示可相對于滑座3在Y軸方向滑移，且當(dāng)滑塊4滑移至適當(dāng)位置后，即可利用第二螺絲32螺鎖頂?shù)侄够瑝K4固定在一定點；調(diào)整螺栓5沿Z軸方向經(jīng)由下開孔231與上開孔224穿過滑槽33螺合在螺孔41中，亦即螺栓5可沿Z軸方向上下螺鎖移動，且可利用扳手6 (請參照圖6)穿過槽孔21扳動螺栓5。請參閱圖5至圖7，其中圖5為本發(fā)明第一具體實施例的使用狀態(tài)示意圖，圖6及圖7為圖5的部分放大示意圖。在圖中顯示，例如在半導(dǎo)體設(shè)備中欲將兩個或多個(真空制程)腔體71氣密連接在一起時，可利用上述小型化支撐微調(diào)裝置I進(jìn)行協(xié)助。詳細(xì)來說，兩個具有一定重量的腔體71分別借助于其角落所設(shè)置的小型化支撐微調(diào)裝置I放置在角架73上，即小型化支撐微調(diào)裝置I通過固定座232以螺絲74鎖附在角架73上，兩個腔體71再分別放置在小型化支撐微調(diào)裝置I上并受調(diào)整螺栓5支撐，且兩個腔體71的凸緣711彼此對接，之后再以多個螺絲72(例如M8螺絲)將兩個腔體71互相氣密連接。在支撐時，腔體71在不同角落所設(shè)置的每個小型化支撐微調(diào)裝置I的調(diào)整螺栓5 (在本實施例采用M12尺寸，當(dāng)然亦可視需要改變)可支撐數(shù)百公斤。如上所述，因為制造公差問題，每一個螺絲72并不一定可以很順利地進(jìn)行螺鎖，此時可利用小型化支撐微調(diào)裝置I進(jìn)行支撐微調(diào)以將腔體71局部抬高至適當(dāng)位置并使螺絲72順利地螺入對應(yīng)的螺孔。例如，調(diào)整螺栓5用以支撐具有一定重量的腔體71，使用時可以利用滑座3在X軸方向滑移微調(diào)(且在滑移微調(diào)后可以第一螺絲222螺鎖頂?shù)侄够?固定在一定點)、及/或利用滑塊4在Y軸方向滑移微調(diào)(且在滑移微調(diào)后可以第二螺絲32螺鎖頂?shù)侄够瑝K4固定在一定點)及/或以扳手6穿過槽孔21扳動調(diào)整螺栓5使其在Z軸方向滑移而微調(diào)其高度。因為調(diào)整螺栓5在上述微調(diào)過程中，有可能因其中一個方向進(jìn)行微調(diào)而使其他方向亦會產(chǎn)生一些微小的位置變化，故小型化支撐微調(diào)裝置I在設(shè)計上在X、Y、Z等三軸方向皆可進(jìn)行微調(diào)動作。此外，調(diào)整螺栓5通過旋轉(zhuǎn)而使其在Z軸方向滑移而微調(diào)其高度，換句話說，調(diào)整螺栓5以旋轉(zhuǎn)(螺紋)方式而可連續(xù)性地進(jìn)行調(diào)整，也因此，調(diào)整螺栓5、即整體小型化支撐微調(diào)裝置I可具有微米等級(10-6m)的 調(diào)整精度。又如圖7所示，為了便于調(diào)整螺栓5在一定的位置支撐腔體71，也可在腔體71接觸調(diào)整螺栓5的位置設(shè)有稍微凹陷的凹入部712以使調(diào)整螺栓5頂靠在該凹入部712中。如上所述，通過小型化支撐微調(diào)裝置I可以在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向進(jìn)行支撐微調(diào)，而使每一個螺絲72可順利地進(jìn)行螺鎖連接兩個腔體71以確實達(dá)到氣密連接，而且可避免傳統(tǒng)上僅能借助人力費力抬高腔體以利于連接腔體及在腔體連接后易產(chǎn)生螺絲斷裂而破壞氣密等各種問題。此外，上述小型化支撐微調(diào)裝置I僅需基座2、滑座3、滑塊4及調(diào)整螺栓5等簡單機構(gòu)組件的組合即可達(dá)到支撐微調(diào)的目的，故其結(jié)構(gòu)簡單，可小型化(例如實際設(shè)計上約為8cmx5cmx4cm的體積),且制造成本亦低。由于制造成本低，上述小型化支撐微調(diào)裝置I在支撐微調(diào)腔體71后可以持續(xù)裝設(shè)在整體設(shè)備上而繼續(xù)支撐腔體71。此外，上述小型化支撐微調(diào)裝置I亦可具有水平調(diào)整功能，例如在必須調(diào)整水平的設(shè)備的四個角落皆可設(shè)置上述小型化支撐微調(diào)裝置1，之后利用上述調(diào)整方式，對四個角落的小型化支撐微調(diào)裝置I分別在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向配合水平儀進(jìn)行微調(diào)，SP可達(dá)到調(diào)整水平的目的。再者，上述小型化支撐微調(diào)裝置I的設(shè)置方式如圖5所示，將小型化支撐微調(diào)裝置I水平設(shè)置在角架73上，但并不以此為限，例如亦可將小型化支撐微調(diào)裝置I通過固定座232安裝在縱向結(jié)構(gòu)上，例如壁面。請參閱圖8，其為本發(fā)明第二具體實施例的立體圖，其中顯示小型化支撐微調(diào)裝置8的固定座81呈縱向(Z軸方向)延伸，利用此縱向延伸的固定座81即可將小型化支撐微調(diào)裝置8安裝在縱向結(jié)構(gòu)上，例如壁面(圖未示)。
權(quán)利要求
1.一種小型化支撐微調(diào)裝置，具有可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)的組件以支撐重物。
2.—種小型化支撐微調(diào)裝置，其定義有X軸方向、Y軸方向及Z軸方向，且該小型化支撐微調(diào)裝置包括基座，其頂面具有上開孔且其底面具有與上開孔對應(yīng)的下開孔；滑座，在該X軸方向滑動設(shè)置在該基座上且具有滑槽；滑塊，在該Y軸方向滑動設(shè)置在該滑座上且具有螺孔；以及調(diào)整螺栓，沿該Z軸方向經(jīng)由該下開孔與該上開孔穿過該滑槽螺合在該螺孔中；因此，該小型化支撐微調(diào)裝置可在該X軸方向、該Y軸方向及該Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)以支撐重物。
3.一種小型化支撐微調(diào)裝置，其定義有X軸方向、Y軸方向及Z軸方向，且該小型化支撐微調(diào)裝置包括基座，包括槽孔及至少一個固定座，該槽孔沿該X軸方向及該Y軸方向開設(shè)并分隔該基座沿該Z軸方向形成上基部及下基部，該上基部包括第一滑軌、多個第一螺絲及上開孔，該第一滑軌沿該X軸方向延伸并包括多個第一螺孔，該多個第一螺孔沿該Y軸方向開設(shè)，該多個第一螺絲分別螺合在該多個第一螺孔中，該上開孔沿該Z軸方向開設(shè)，該下基部包括下開孔，該下開孔沿該Z軸方向開設(shè)并對應(yīng)于該上開孔，該至少一個固定座由該基座向外延伸；滑座，滑動設(shè)置在該第一滑軌上并對應(yīng)頂?shù)衷谠摱鄠€第一螺絲上，且該滑座包括第二滑軌、多個第二螺絲及滑槽，該第二滑軌沿該Y軸方向延伸并包括多個第二螺孔，該多個第二螺孔沿該X軸方向開設(shè)，該多個第二螺絲分別螺合在該多個第二螺孔中，該滑槽沿該Z軸方向開設(shè)并沿該Y軸方向延伸、并對應(yīng)于該上開孔；滑塊，滑動設(shè)置在該第二滑軌上并對應(yīng)頂?shù)衷谠摱鄠€第二螺絲上，且該滑塊包括螺孔， 該螺孔沿該Z軸方向開設(shè)；以及調(diào)整螺栓，沿該Z軸方向經(jīng)由該下開孔與該上開孔穿過該滑槽螺合在該螺孔中。
4.如權(quán)利要求3所述的小型化支撐微調(diào)裝置，其特征在于，該調(diào)整螺栓為M12螺栓。
5.如權(quán)利要求3所述的小型化支撐微調(diào)裝置，其特征在于，該至少一個固定座分別沿該X軸方向由該基座向外延伸形成。
6.如權(quán)利要求3所述的小型化支撐微調(diào)裝置，其特征在于，該小型化支撐微調(diào)裝置具有調(diào)整精度，且該調(diào)整精度為微米等級。
7.—種如權(quán)利要求3所述的小型化支撐微調(diào)裝置的運用，其固定在半導(dǎo)體設(shè)備中以協(xié)助連接及支撐腔體，其中該小型化支撐微調(diào)裝置可在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向分別進(jìn)行微調(diào)。
全文摘要
一種小型化支撐微調(diào)裝置，其具有例如8cmx5cmx4cm的體積，可支撐具有數(shù)百公斤重的物體，并可實現(xiàn)微米等級(10-6m)的微調(diào)。此裝置利用基座、滑座、滑塊及調(diào)整螺栓等簡單機構(gòu)組件的組合以進(jìn)行X、Y、Z三軸方向的微調(diào)以定位調(diào)整螺栓，并可達(dá)到結(jié)構(gòu)小型化及低制造成本的目的。本發(fā)明亦有關(guān)于一種小型化支撐微調(diào)裝置的運用。
文檔編號C23C14/50GK103014648SQ20111028392
公開日2013年4月3日 申請日期2011年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月21日
發(fā)明者陳華夫 申請人:力鼎精密股份有限公司