專利名稱：回收裝置及應(yīng)用其的成膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機(jī)材料回收設(shè)備，特別是一種用于有效提高搜集有機(jī)材料的回收率的回收裝置及應(yīng)用其的成膜設(shè)備。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)與薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)是不同類型的產(chǎn)品。 OLED具有自發(fā)光性、廣視角、高對(duì)比、低耗電、高反應(yīng)速率、全彩化、工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，OLED 顯示器的種類可分單色、多彩及全彩等種類。一般OLED工藝是以高溫蒸鍍有機(jī)材料于面板上，然而，在蒸鍍的過程中大部分有機(jī)物氣體易附著于腔壁內(nèi)各處，大約只有少于30%的有機(jī)物氣體能附著于面板，如此造成有機(jī)材料的浪費(fèi)。由此可見，上述現(xiàn)有的技術(shù)，顯然仍存在不便與缺陷，而有待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述問題，相關(guān)領(lǐng)域莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來一直未見適用的方式被發(fā)展完成。因此，如何能提高有機(jī)材料的回收率，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，也成為當(dāng)前相關(guān)領(lǐng)域亟需改進(jìn)的目標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種回收裝置及應(yīng)用其的成膜設(shè)備，用于有效提高搜集有機(jī)材料的回收率，并方便進(jìn)行有機(jī)材料回收再利用。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種回收裝置包括一可拆式基板以及一致冷單元。致冷單元可控制可拆式基板的溫度。在回收裝置中，上述的致冷單元將可拆式基板的溫度控制為約-30°C至10°C?；蛘?，致冷單元將可拆式基板的溫度控制為約_170°C以下。在回收裝置中，上述的致冷單元可包括一冷卻循環(huán)系統(tǒng)。另外，在回收裝置中，冷卻循環(huán)系統(tǒng)可包括循環(huán)槽、冷卻器以及泵，其中泵與冷卻器皆耦接至循環(huán)槽。循環(huán)槽內(nèi)具有液體，循環(huán)槽外部與可拆式基板接觸，泵用以將循環(huán)槽中部分的液體抽至冷卻器，使該部分的液體從冷卻器回流至循環(huán)槽?；蛘撸诨厥昭b置中，上述的致冷單元可包括一致冷芯片，致冷芯片附著于可拆式基板?；蛘?，在回收裝置中，上述的致冷單元可包括一液態(tài)氮容器，液態(tài)氮容器內(nèi)具有液態(tài)氮，液態(tài)氮容器外部與可拆式基板接觸。在回收裝置中，上述的可拆式基板可包括一板體與一隔離膜，其中隔離膜附著在板體的表面，隔離膜基本上可以由聚四氟乙烯組成。另外，上述的板體可為一金屬板或一陶瓷板?；蛘撸诨厥昭b置中，上述的可拆式基板的材料為鐵氟龍。為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種成膜設(shè)備，包括一成膜腔室、一材
4料源、一可拆式基板以及一致冷單元。材料源位于成膜腔室中，可拆式基板設(shè)置于成膜腔室中，致冷單元可控制可拆式基板的溫度，以使可拆式基板的溫度小于材料源的溫度。在成膜腔室中，上述的材料源可為一蒸鍍?cè)?，用以提供有機(jī)分子氣體。另外，一面板可被容納在成膜腔室中，材料源配置于面板的下方，可拆式基板位在面板與材料源之間。在成膜腔室中，上述的致冷單元控制可拆式基板的溫度，以使可拆式基板的溫度小于成膜腔室內(nèi)的溫度。另一方面而言，致冷單元控制可拆式基板的溫度，以使可拆式基板的溫度約為10°C以下。在成膜腔室中，上述的致冷單元可包括一冷卻循環(huán)系統(tǒng)。另外，在成膜腔室中，冷卻循環(huán)系統(tǒng)可包括循環(huán)槽、冷卻器以及泵，其中泵與冷卻器均耦接至循環(huán)槽。循環(huán)槽內(nèi)具有液體，循環(huán)槽外部與可拆式基板接觸，泵用以將循環(huán)槽中部分的液體抽至冷卻器，使該部分的液體從冷卻器回流至循環(huán)槽。或者，在成膜腔室中，上述的致冷單元可包括一致冷芯片，致冷芯片附著于可拆式基板?；蛘?，在成膜腔室中，上述的致冷單元可包括一液態(tài)氮容器，液態(tài)氮容器內(nèi)具有液態(tài)氮，液態(tài)氮容器外部與可拆式基板接觸。在成膜腔室中，上述的可拆式基板可包括一板體與一隔離膜，其中隔離膜附著在板體的表面，隔離膜基本上可以由聚四氟乙烯組成。另外，上述的板體可為一金屬板或一陶瓷板。或者，在成膜腔室中，上述的可拆式基板的材料為鐵氟龍。綜上所述，本發(fā)明的成膜裝置與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。通過上述技術(shù)方案，可達(dá)到相當(dāng)?shù)募夹g(shù)進(jìn)步，并具有產(chǎn)業(yè)上的廣泛利用價(jià)值，本發(fā)明的技術(shù)效果在于1.在成膜腔室的腔壁內(nèi)的特定區(qū)域設(shè)置可拆式基板，并以低溫有效捕捉有機(jī)氣體分子，可提高有機(jī)材料的回收；以及2.可拆式基板可方便拆卸以取下附著于基板上的有機(jī)材料。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。


圖1是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種回收裝置及應(yīng)用其的成膜設(shè)備的示意圖；圖2是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種冷卻循環(huán)系統(tǒng)的示意圖；圖3是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種致冷芯片與可拆式基板的連接方式的示意圖；圖4是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種液態(tài)氮容器與可拆式基板的連接方式的示意圖；圖5是圖1的可拆式基板的示意圖。其中，附圖標(biāo)記100回收裝置105成膜設(shè)備110成膜腔室112面板120材料源122有機(jī)材料
130可拆式基板131板體
132隔離膜140致冷單元
200冷卻循環(huán)系統(tǒng)210循環(huán)槽
220冷卻器230泵
300致冷芯片310第一表面
320第二表面400液態(tài)氮容器
410液態(tài)氮
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述為了使本發(fā)明的敘述更加詳盡與完備，可參照所附的圖式及以下所述各種實(shí)施例，圖式中相同的號(hào)碼代表相同或相似的組件。另一方面，眾所周知的組件與步驟并未描述于實(shí)施例中，以避免對(duì)本發(fā)明造成不必要的限制。在實(shí)施方式與權(quán)利要求中，除非內(nèi)文中對(duì)于冠詞有所特別限定，否則“一”與“該” 可泛指單一個(gè)或多個(gè)。在本文中涉及“耦接(coupled with) ”的描述，其可泛指一組件通過其它組件而間接連通至另一組件，或是一組件無須通過其它組件而直接連通至另一組件。本文中所使用的“約”、“大約”或“大致”系用以修飾任何可些微變化的數(shù)量，但這種些微變化并不會(huì)改變其本質(zhì)。在實(shí)施方式中若無特別說明，則代表以“約”、“大約”或“大致”所修飾的數(shù)值的誤差范圍一般是容許在百分之二十以內(nèi)，較佳地是在百分之十以內(nèi)，而更佳地則是在百分之五以內(nèi)。參照?qǐng)D1，圖1是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種回收裝置100及應(yīng)用其的成膜設(shè)備 105的示意圖。回收裝置100包括可拆式基板130以及致冷單元140，致冷單元140可控制可拆式基板130的溫度，讓可拆式基板130得以保持在低溫，以利于捕捉有機(jī)氣體分子，可提高有機(jī)材料的回收。實(shí)務(wù)上，回收裝置100可適用于成膜設(shè)備105，或是廣泛地運(yùn)用在相關(guān)的技術(shù)環(huán)節(jié)。如圖1所示，成膜設(shè)備105可包括成膜腔室110、材料源120、可拆式基板130以及致冷單元140。在結(jié)構(gòu)上，面板112可被容納于成膜腔室110中，材料源120位于成膜腔室 110中，致冷單元140與可拆式基板130相接觸，可拆式基板130設(shè)置于成膜腔室110中，舉例來說，可利用連接件(例如螺絲、螺栓、卡勾、扣環(huán)、定位件、或其它固定機(jī)構(gòu)或上述的組合)來把可拆式基板130暫時(shí)固定在成膜腔室110里面。在使用時(shí)，材料源120可釋放有機(jī)分子氣體(即，氣相的有機(jī)材料122)，部分的有機(jī)材料得以沉積于面板112，以制作OLED面板。在一實(shí)施例中，面板112可為一數(shù)組玻璃基板，即已完成黃光工藝的玻璃基板，在此玻璃基板上已建構(gòu)出基層結(jié)構(gòu)，以區(qū)分出陽極、發(fā)光區(qū)及陰極的范圍。致冷單元140可控制可拆式基板130的溫度，以使可拆式基板130的溫度小于材料源130的溫度，藉此以低溫有效捕捉有機(jī)氣體分子，讓剩余的有機(jī)材料易于附著在可拆式基板130上，提高有機(jī)材料的回收率。在氣相成膜完成以后，可以將可拆式基板130拆卸以取下附著于可拆式基板130上的有機(jī)材料，回收利用。
在本實(shí)施例中，材料源120可為一蒸鍍?cè)?，蒸鍍?cè)从靡蕴峁┯袡C(jī)分子氣體。實(shí)踐中，蒸鍍?cè)吹臏囟却蠹s是300°C 400°C。由于高溫氣體本身會(huì)向上升，因此蒸鍍?cè)磁渲糜诿姘?12的下方，讓面板112得以面對(duì)上升的有機(jī)分子氣體，使有機(jī)材料被蒸鍍至面板112 上。另外，可拆式基板130位于面板112與蒸鍍?cè)粗g，以便于捕捉未蒸鍍至面板112的有機(jī)材料。而且，因高溫氣體上升的特性，無論可拆式基板130溫度再低，也不易影響附著在面板112的有機(jī)材料的含量。應(yīng)了解到，所謂可拆式基板130位于面板112與蒸鍍?cè)粗g，指在空間上，可拆式基板130可采任何適當(dāng)?shù)姆轿慌渲迷诮橛诿姘?12與蒸鍍?cè)撮g的任何適合的位置。舉例來說，在圖1中，可拆式基板130大致以垂直面板112的方位設(shè)置在成膜腔室110內(nèi)介于面板 112與蒸鍍?cè)撮g的腔壁上。另外，致冷單元140可控制可拆式基板130的溫度，以使可拆式基板130的溫度小于成膜腔室110內(nèi)的溫度。實(shí)踐中，成膜腔室110內(nèi)的溫度大約是70°C 80°C，致冷單元 140能將可拆式基板130的溫度控制在約為10°C以下，使得可拆式基板130的溫度與成膜腔室110內(nèi)的溫度保持一定程度的差距，以提高有機(jī)材料回收的穩(wěn)定性。在圖1中，雖然致冷單元140完全設(shè)置于成膜腔室110內(nèi)部，然此不限制本發(fā)明， 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)視當(dāng)時(shí)需要彈性選擇致冷單元140設(shè)置方式，而不需整體置于膜腔室 110中，舉例來說，致冷單元140可分拆成數(shù)個(gè)不同的部件，部分的部件設(shè)置于成膜腔室110 內(nèi)部，而其余的部件設(shè)置在成膜腔室110外部。實(shí)務(wù)上，致冷單元140例如可為冷卻循環(huán)系統(tǒng)、致冷芯片、液態(tài)氮容器、或其它冷卻裝置或上述的組合。以下將搭配圖2 4來分別說明冷卻循環(huán)系統(tǒng)、致冷芯片以及液態(tài)氮容器的具體實(shí)施方式
。參照?qǐng)D2，圖2是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種冷卻循環(huán)系統(tǒng)200的示意圖。在本實(shí)施例中，冷卻循環(huán)系統(tǒng)200可通過液體冷卻循環(huán)的機(jī)制，使可拆式基板130的溫度控制在大約10°C以下。如圖2所示，冷卻循環(huán)系統(tǒng)200包括循環(huán)槽210、冷卻器220與泵230，其中冷卻器 220與泵230均耦接至循環(huán)槽210。循環(huán)槽210內(nèi)具有液體，循環(huán)槽210外部與可拆式基板 130接觸。泵230可將循環(huán)槽210中部分的液體抽至冷卻器220，使該部分的液體從冷卻器 220回流至循環(huán)槽210。藉此，通過液體冷卻循環(huán)的機(jī)制，得以有效降低可拆式基板130的溫度。參照?qǐng)D3，圖3是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種致冷芯片與可拆式基板的連接方式的示意圖。如圖3所示，致冷芯片300附著于可拆式基板130，當(dāng)致冷芯片300運(yùn)作時(shí)，使可拆式基板130的溫度控制在大約-30°C至10°C。換言之，致冷單元140將可拆式基板130 的溫度控制為約-30°C至10°C。更具體而言，致冷芯片300具有第一表面310與第二表面320，其中第二表面320 背向第一表面310，第一表面310附著在可拆式基板130上。當(dāng)致冷芯片300運(yùn)作時(shí)，第二表面320的溫度相對(duì)較高，而第一表面310的溫度相對(duì)較低，藉以有效降低可拆式基板130 的溫度。參照?qǐng)D4，圖4是依照本發(fā)明一實(shí)施例的一種液態(tài)氮容器與可拆式基板的連接方式的示意圖。如圖4所示，液態(tài)氮容器400內(nèi)具有液態(tài)氮410，液態(tài)氮容器400外部與可拆式基板130接觸，藉此使可拆式基板130的溫度控制在大約-170°C以下。換言之，致冷單元 140將可拆式基板130的溫度控制為約_170°C以下。參照?qǐng)D5，圖5是圖1的可拆式基板130的示意圖。如圖5所示，可拆式基板130 包括板體131與隔離膜132，其中隔離膜132附著在板體131的表面，隔離膜132基本上可以由聚四氟乙烯組成。另外，板體131可為金屬板、陶瓷板、或其它導(dǎo)熱效率高的板材或上述的組合。聚四氟乙烯是一種使用了氟取代聚乙烯中所有氫原子的人工合成高分子材料 (即，鐵氟龍)。這種材料具有抗酸堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn)，幾乎不溶于所有的溶劑。同時(shí)，聚四氟乙烯對(duì)溫度的影響變化不大，溫域范圍廣，可使用溫度約在-190 ^KTC,它的摩擦系數(shù)極低，所以附著在隔離膜132上的有機(jī)材料極易被取下，便于使用。除此之外，在其它實(shí)施例中，可拆式基板130整體的材料均可為鐵氟龍，以簡(jiǎn)化可拆式基板130的制作過程。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種回收裝置，其特征在于，包含一可拆式基板；以及一致冷單元，用以控制該可拆式基板的溫度。
2.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該致冷單元將該可拆式基板的溫度控制為約-300CM IO0C0
3.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該致冷單元將該可拆式基板的溫度控制為約_170°C以下。
4.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該致冷單元包含一冷卻循環(huán)系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求4所述的回收裝置，其特征在于，該冷卻循環(huán)系統(tǒng)包含一循環(huán)槽，該循環(huán)槽內(nèi)具有液體，該循環(huán)槽外部與該可拆式基板接觸；一冷卻器，耦接該循環(huán)槽；以及一泵，耦接該循環(huán)槽，用以將該循環(huán)槽中部分的該液體抽至該冷卻器，使該部分的該液體從該冷卻器回流至該循環(huán)槽。
6.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該致冷單元包含一致冷芯片，該致冷芯片附著于該可拆式基板。
7.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該致冷單元包含一液態(tài)氮容器，該液態(tài)氮容器內(nèi)具有液態(tài)氮，該液態(tài)氮容器外部與該可拆式基板接觸。
8.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該可拆式基板包含一板體與一隔離膜， 該隔離膜附著在該板體的表面，該隔離膜由聚四氟乙烯組成。
9.如權(quán)利要求8所述的回收裝置，其特征在于，該板體為一金屬板或一陶瓷板。
10.如權(quán)利要求1所述的回收裝置，其特征在于，該可拆式基板的材料為鐵氟龍。
11.一種成膜設(shè)備，其特征在于，包含一成膜腔室；一材料源，位于該成膜腔室中；一可拆式基板，設(shè)置于該成膜腔室中；以及一致冷單元，用以控制該可拆式基板的溫度，以使該可拆式基板的溫度小于該材料源的溫度。
12.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該材料源為一蒸鍍?cè)?，用以提供有機(jī)分子氣體。
13.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，一面板被容納于該成膜腔室中，該材料源配置于該面板的下方，該可拆式基板位于該面板與該材料源之間。
14.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該致冷單元控制該可拆式基板的溫度，以使該可拆式基板的溫度小于該成膜腔室內(nèi)的溫度。
15.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該致冷單元控制該可拆式基板的溫度，以使該可拆式基板的溫度約為10°C以下。
16.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該致冷單元包含一冷卻循環(huán)系統(tǒng)，其中該冷卻循環(huán)系統(tǒng)包含一循環(huán)槽，該循環(huán)槽內(nèi)具有液體，該循環(huán)槽外部與該可拆式基板接觸；一冷卻器，耦接該循環(huán)槽；以及一泵，耦接該循環(huán)槽，用以將該循環(huán)槽中部分的該液體抽至該冷卻器，使該部分的該液體從該冷卻器回流至該循環(huán)槽。
17.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該致冷單元包含一致冷芯片，該致冷芯片附著于該可拆式基板。
18.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該致冷單元包含一液態(tài)氮容器，該液態(tài)氮容器內(nèi)具有液態(tài)氮，該液態(tài)氮容器外部與該可拆式基板接觸。
19.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該可拆式基板包含一板體與一隔離膜，該隔離膜附著在該板體的表面，該隔離膜由聚四氟乙烯組成，其中該板體為一金屬板或一陶瓷板。
20.如權(quán)利要求11所述的成膜設(shè)備，其特征在于，該可拆式基板的材料為鐵氟龍。
全文摘要
一種回收裝置及應(yīng)用其的成膜設(shè)備，其中，該成膜設(shè)備包含一成膜腔室；一材料源，位于該成膜腔室中；一可拆式基板，設(shè)置于該成膜腔室中；以及一致冷單元，用以控制該可拆式基板的溫度，以使該可拆式基板的溫度小于該材料源的溫度。該回收裝置包含一可拆式基板；以及一致冷單元，用以控制該可拆式基板的溫度。本發(fā)明可有效提高搜集有機(jī)材料的回收率，并方便進(jìn)行有機(jī)材料回收再利用。
文檔編號(hào)C23C14/24GK102163698SQ20111000967
公開日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者張耿志 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司