專利名稱：一種用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于磁控濺射鍍膜的靶頭變徑裝置，可應(yīng)用于細(xì)管內(nèi)壁和底 部的濺射鍍膜，屬材料技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
濺射鍍膜設(shè)備中的濺射靶頭是安裝在真空室內(nèi)部的，其各種常規(guī)濺射靶頭結(jié)構(gòu)如 圖ι所示。一個(gè)常規(guī)靶頭由外套1、絕緣層2、屏蔽罩3、陰極4、常規(guī)靶片5和靶片壓環(huán)6組 成，其中外套1和陰極4是導(dǎo)體材料，兩者間通過絕緣層2進(jìn)行電絕緣。常規(guī)靶片5由靶片 壓環(huán)6固定在陰極4上，最外面是屏蔽罩3，屏蔽罩3安裝在外套1上，與靶片壓環(huán)6之間留 出3到5毫米的間隙，常規(guī)靶片5和靶片壓環(huán)6都是用導(dǎo)體材料制成。屏蔽罩3通過外套 1接地，常規(guī)靶片5、靶片壓環(huán)6與陰極4形成電連接。濺射鍍膜時(shí)，通過陰極4給常規(guī)靶片 5施加電壓，形成輝光放電現(xiàn)象，產(chǎn)生濺射作用。目前，常規(guī)靶頭的直徑大都在50毫米以上，然而在工業(yè)生產(chǎn)和科研實(shí)驗(yàn)中，有時(shí) 需要在50毫米以下的細(xì)管內(nèi)部鍍膜。如果用現(xiàn)有的大直徑的靶在管口外向管口內(nèi)鍍膜，則 鍍膜效率很低，且很難在較深的底部鍍上。為此，需要有一個(gè)直徑小于細(xì)管內(nèi)徑的靶頭伸到 細(xì)管內(nèi)部進(jìn)行濺射沉積。但是對應(yīng)不同的管徑分別制作多套細(xì)徑濺射靶頭系統(tǒng)不僅成本很 高，而且每次更換靶頭系統(tǒng)都涉及電源連接、靶位升降結(jié)構(gòu)和真空密封結(jié)構(gòu)，更換的操作過 程比較麻煩、復(fù)雜，很不方便。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜效率低、成本高、操作復(fù)雜的問題，本實(shí)用 新型提供了一種可便捷更換的濺射靶頭變徑裝置，實(shí)現(xiàn)在細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜。當(dāng)需要在細(xì) 管內(nèi)濺射鍍膜時(shí)，可將所需直徑的靶頭變徑裝置方便地安裝在常規(guī)靶頭之上，并且安裝和 更換過程不涉及真空密封結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型所述的用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置由延伸陰極7、絕緣套 8、延伸屏蔽套9和小靶片10組成，參見圖2。所述延伸陰極7是由下邊平板部分和上面的 細(xì)柱部分組合形成，參見圖2 (a)，延伸陰極7由導(dǎo)體材料制造，通過其下邊的平板部分由靶 片壓環(huán)6壓緊固定在常規(guī)靶頭的陰極4上。所述絕緣套8的形狀也是由下邊的平板部分和 上面的細(xì)圓筒部分組合形成，參見圖2 (b)，絕緣套8由絕緣材料制成，套裝在延伸陰極7外 面。所述延伸屏蔽套9的形狀也由下邊的平板部分和上面的細(xì)圓筒部分組合而成，參見圖 2(c)，用導(dǎo)體材料加工而成，延伸屏蔽套9下邊的平板部分由屏蔽罩3壓緊固定在絕緣套8 上面，參見圖3。其中用于細(xì)管內(nèi)鍍膜的小靶片10用導(dǎo)電膠粘接在延伸陰極7的上端面上， 參見圖2 (a)。這樣，負(fù)電壓經(jīng)由陰極4和延伸陰極7施加在小靶片10上，形成輝光放電，產(chǎn) 生濺射作用。本實(shí)用新型涉及一種用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置，可以方便地安裝在 常規(guī)靶頭之上，使得在各種直徑的細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜很容易地實(shí)現(xiàn)，當(dāng)細(xì)管尺寸改變時(shí)也可以很快捷地更換相應(yīng)尺寸的細(xì)管內(nèi)部鍍膜裝置。
圖1為常規(guī)濺射靶頭的結(jié)構(gòu)圖。其中1、外套；2、絕緣層；3、屏蔽罩；4、陰極；5、常 規(guī)靶片；6、靶片壓環(huán)。圖2為本實(shí)用新型的組成零件結(jié)構(gòu)圖。其中(a)為延伸陰極和小靶片的組合結(jié) 構(gòu)圖；(b)為絕緣套的結(jié)構(gòu)圖；(c)為延伸屏蔽套的結(jié)構(gòu)圖。圖3為本實(shí)用新型的安裝結(jié)構(gòu)圖。其中7、延伸陰極；8、絕緣套；9、延伸屏蔽套； 10、小靶片；11、細(xì)管。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖3所示，本實(shí)用新型提供的用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置由延伸陰 極7、絕緣套8、延伸屏蔽套9和小靶片10組成。延伸陰極7用無氧銅加工而成，由靶片壓 環(huán)6壓緊固定在常規(guī)靶頭的陰極4上。延伸陰極7的外面是聚四氟乙烯材料的絕緣套8，使 延伸陰極7和不銹鋼延伸屏蔽套9之間形成電隔絕。延伸屏蔽套9通過屏蔽罩3壓緊固定 在絕緣套8上面。其中用于細(xì)管鍍膜的小靶片10利用導(dǎo)電銀膠粘接在延伸陰極7的上端 面上，形成導(dǎo)電連接。該裝置工作時(shí)，將內(nèi)壁待鍍膜的細(xì)管11套在延伸屏蔽套9外面，當(dāng)真空室內(nèi)通入 低壓氬氣后，將負(fù)電壓通過陰極4和延伸陰極7施加在小靶片10上，負(fù)電壓使靶片表面形 成輝光放電，產(chǎn)生等離子體。等離子體中的正離子在陰極電壓的加速下撞擊靶片原子，形成 濺射作用。
權(quán)利要求1.一種用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置，其特征在于裝置由延伸陰極(7)、絕 緣套(8)、延伸屏蔽套(9)和小靶片(10)組成，延伸陰極(7)固定在陰極(4)上，絕緣套(8) 套裝在延伸陰極(7)外面，延伸屏蔽套(9)固定在絕緣套(8)上面，小靶片(10)位于延伸 陰極(7)的上端面上。
2.如權(quán)利要求1所述的靶頭變徑裝置，其特征在于所述延伸陰極(7)的形狀是由平 板部分和細(xì)柱部分組合而成，材料為導(dǎo)體，其下邊的平板部分由靶片壓環(huán)(6)壓緊固定在 常規(guī)靶頭的陰極上。
3.如權(quán)利要求1所述的靶頭變徑裝置，其特征在于所述絕緣套(8)的形狀由平板部 分和細(xì)圓筒部分組合形成，材料為絕緣材料，絕緣套(8)裝在延伸陰極(7)外面。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的靶頭變徑裝置，其特征在于所述延伸屏蔽套(9)的 形狀也由平板部分和細(xì)圓筒部分組合而成，材料為導(dǎo)體，延伸屏蔽套(9)的平板部分由屏 蔽罩(3)壓緊固定在絕緣套(8)上。
5.如權(quán)利要求1或2或3所述的靶頭變徑裝置，其特征在于所述的小靶片(10)用導(dǎo) 電膠粘接在延伸陰極(7)的上端面上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于細(xì)管內(nèi)部濺射鍍膜的靶頭變徑裝置，該裝置由延伸陰極(7)、絕緣套(8)、延伸屏蔽套(9)和小靶片(10)組成，延伸陰極(7)由靶片壓環(huán)(6)壓緊固定在常規(guī)靶頭的陰極上，絕緣套(8)裝在延伸陰極(7)外面，延伸屏蔽套(9)由屏蔽罩(3)壓緊固定在絕緣套(8)上，小靶片(10)用導(dǎo)電膠粘接在延伸陰極(7)的端面。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)細(xì)管內(nèi)壁和底部的濺射鍍膜，濺射鍍膜時(shí)，所需直徑的靶頭變徑裝置可以方便地安裝在常規(guī)靶頭之上，并且安裝和更換過程不涉及真空密封結(jié)構(gòu)。
文檔編號C23C14/34GK201908128SQ20102062371
公開日2011年7月27日 申請日期2010年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月25日
發(fā)明者黨向瑜, 曹小林, 楊興革, 王波, 董樹峰, 陳超 申請人:北京濱松光子技術(shù)股份有限公司