專利名稱：一種NiCr陰極濺射擋板的制作方法
技術領域：
一種NiCr陰極濺射擋板技術領域[0001]本實用新型涉及一種玻璃制造行業(yè)，更具體地說，涉及一種NiCr陰極濺射擋 板。
背景技術：
[0002]原來，大面積連續(xù)鍍膜線上的NiCr陰極濺射擋板較窄，兩個陰極擋板之間的距 離為300mm，具有較快的沉積速度。但在鍍制一些比較薄的Ni Cr層膜系時，NiCr陰極 功率不得不設置到IKw或是更低，如此低的功率密度使得NiCr原子濺射到基片表面時動 量非常小，附著力很差，產(chǎn)品非常容易出現(xiàn)脫膜，氧化等質(zhì)量缺陷。實用新型內(nèi)容[0003]本實用新型的目的是提供一種NiCr陰極濺射擋板。[0004]為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案[0005]一種NiCr陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體和第二陰極擋板本體，所述的 第一陰極擋板本體與所述的第二陰極擋板本體之間具有一個口部，所述的第一陰極擋板 本體上設置有第一伸縮板，所述的第二陰極擋板本體上設置有第二伸縮板，所述的第一 伸縮板與所述的第一陰極擋板本體相互平行，所述的第二伸縮板與所述的第二陰極擋板 本體相互平行，所述的第一伸縮板能夠沿所述的第一陰極擋板本體的表面滑動，所述的 第二伸縮板能夠沿所述的第二陰極擋板本體的表面滑動，所述的第一伸縮板與所述的第 二伸縮板能夠相向滑動或者相背滑動，所述的第一伸縮板與所述的第二伸縮板相向滑動 時將所述的第一陰極擋板本體與第二陰極擋板本體之間的口部部分封蓋。[0006]優(yōu)選地，所述的第一伸縮板與所述的第二伸縮板之間的可調(diào)節(jié)的距離范圍至少 包括 145mm_155mm。[0007]本實用新型的有益效果是通過在原有不可調(diào)的NiCr陰極濺射擋板的開口部加 設一對相互之間的距離可調(diào)的第一伸縮板與第二伸縮板，可以根據(jù)生產(chǎn)要求來調(diào)節(jié)NiCr 陰極濺射的開口寬度，從而在即使NiCr陰極功率很低的情況下，確保靶材原子以高能量 濺射到基片表面，增加NiCr膜層與介質(zhì)層的附著力，提高產(chǎn)品的耐磨、耐酸堿性能，同 時可以保證產(chǎn)品不會出現(xiàn)脫膜、氧化等質(zhì)量缺陷，有效地提高了成品率。


[0008]附圖1為本實用新型的NiCr陰極濺射擋板的結構示意圖。[0009]附圖中1、第一陰極擋板本體；2、第二陰極擋板本體；3、第一伸縮板；4、第二伸縮板。
具體實施方式
[0010]
以下結合附圖所示的實施例對本實用新型的技術方案作以下詳細描述[0011]如附圖1所示，本實用新型的NiCr陰極濺射擋板包括第一陰極擋板本體1和第 二陰極擋板本體2，第一陰極擋板本體1與第二陰極擋板本體2之間具有一個口部，第 一陰極擋板本體1上設置有第一伸縮板3，第二陰極擋板本體2上設置有第二伸縮板4， 第一伸縮板3與第一陰極擋板本體1相互平行，第二伸縮板4與第二陰極擋板本體2相 互平行，第一伸縮板3能夠沿第一陰極擋板本體1的表面滑動，第二伸縮板4能夠沿第 二陰極擋板本體2的表面滑動，第一伸縮板3與第二伸縮板4能夠相向滑動或者相背滑 動，第一伸縮板3與第二伸縮板4相向滑動時將第一陰極擋板本體1與第二陰極擋板本 體2之間的口部部分封蓋，第一伸縮板3與第二伸縮板4之間的可調(diào)節(jié)的距離范圍包括 145mm-155mm。[0012]上述實施例中的第一伸縮板3與第二伸縮板4的距離范圍也可以從Omm開始直 至與第一陰極擋板本體1與第二陰極擋板本體2之間的口部的寬度相同。[0013]本實用新型通過在原有不可調(diào)的NiCr陰極濺射擋板的開口部加設一對相互之間 的距離可調(diào)的第一伸縮板與第二伸縮板，可以根據(jù)生產(chǎn)要求來調(diào)節(jié)NiCr陰極濺射的開口 寬度，從而在即使NiCr陰極功率很低的情況下，確保靶材原子以高能量濺射到基片表 面，增加NiCr膜層與介質(zhì)層的附著力，提高產(chǎn)品的耐磨、耐酸堿性能，同時可以保證產(chǎn) 品不會出現(xiàn)脫膜、氧化等質(zhì)量缺陷，有效地提高了成品率。[0014]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技 術的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范 圍。凡根據(jù)本實用新型精神所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍 之內(nèi)。
權利要求1.一種NiCr陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體和第二陰極擋板本體，所述的第 一陰極擋板本體與所述的第二陰極擋板本體之間具有一個口部，其特征在于所述的第 一陰極擋板本體上設置有第一伸縮板，所述的第二陰極擋板本體上設置有第二伸縮板， 所述的第一伸縮板與所述的第一陰極擋板本體相互平行，所述的第二伸縮板與所述的第 二陰極擋板本體相互平行，所述的第一伸縮板能夠沿所述的第一陰極擋板本體的表面滑 動，所述的第二伸縮板能夠沿所述的第二陰極擋板本體的表面滑動，所述的第一伸縮板 與所述的第二伸縮板能夠相向滑動或者相背滑動，所述的第一伸縮板與所述的第二伸縮 板相向滑動時將所述的第一陰極擋板本體與第二陰極擋板本體之間的口部部分封蓋。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種NiCr陰極濺射擋板，其特征在于所述的第一伸縮板 與所述的第二伸縮板之間的可調(diào)節(jié)的距離范圍至少包括145mm-155mm。
專利摘要本實用新型公開一種NiCr陰極濺射擋板，包括第一陰極擋板本體和第二陰極擋板本體，所述的第一陰極擋板本體與所述的第二陰極擋板本體之間具有一個口部，所述的第一陰極擋板本體上設置有與之相互平行的能夠沿其表面滑動的第一伸縮板，所述的第二陰極擋板本體上設置有與之相互平行的能夠沿其表面滑動的第二伸縮板，所述的第一伸縮板與所述的第二伸縮板能夠相向滑動或者相背滑動，所述的第一伸縮板與所述的第二伸縮板相向滑動時將所述的口部部分封蓋。本實用新型的結構在即使NiCr陰極功率很低的情況下，確保靶材原子以高能量濺射到基片表面，增加NiCr膜層與介質(zhì)層的附著力，提高產(chǎn)品的耐磨、耐酸堿性能，適合推廣使用。
文檔編號C23C14/14GK201809434SQ20102054719
公開日2011年4月27日 申請日期2010年9月29日 優(yōu)先權日2010年9月29日
發(fā)明者朱哲煜, 武瑞軍 申請人:吳江南玻華東工程玻璃有限公司