專利名稱：一種銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種銅鍵臺(tái)絲光亮化熱處理工藝設(shè)備中的保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
由于銅鍵合絲與金絲、鋁絲相比具有優(yōu)良的機(jī)械性能、電學(xué)性能、熱學(xué)性 能和低的金屬間化合物增長(zhǎng)，提高了芯片頻率和可靠性，適應(yīng)了低成本、細(xì)間 距、高引出端元器件封裝的發(fā)展，成為替代金絲的最佳鍵合材料。但是，由于 銅的性質(zhì)比金和鋁要活潑，在常溫下就可以氧化。目前的一些鍵合金絲、鍵合 鋁絲的專用設(shè)備無法滿足銅鍵合絲制備的需要。同時(shí)，由于鍵合絲的技術(shù)要求
較高，鍵合絲表面的輕微氧化都會(huì)給半導(dǎo)體元器件的可靠性降低60%,因此， 銅鍵合絲的制備過程中不但要求鍵合絲表面不被氧化，還要要求能夠把鍵合絲 表面已有的輕微氧化物除去。因H2是還原性氣體，高溫時(shí)能夠跟cu20、 Cu0反應(yīng)， 達(dá)到去除銅鍵合絲表面氧化物的效果。但是，H2屬于易燃易爆氣體，在鍵合絲的 生產(chǎn)過程中如果有大量的颶泄露，就會(huì)存在大的安全隱患。 發(fā)明內(nèi)容'
本發(fā)明的目的是克服以上現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種即能在銅鍵合絲熱處理 過程中有效利用H2光亮化熱處理的特性，還能夠保證熱處理過程中H2不泄露， 保證了 H2使用過程中安全性的銅鍵合絲光亮化熱處理保護(hù)裝置。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
一種銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，包括有氣室，氣室上端設(shè)有與氣 室連通的排氣管，氣室的下端設(shè)有進(jìn)氣嘴和惰性氣體進(jìn)氣管，所述氣室內(nèi)腔由 隔板將其分隔為左氣室和右氣室，在左氣室的側(cè)壁上和隔板上設(shè)有同軸的穿線 孔，其中左氣室上設(shè)有與其連通的排氣管，右氣室上設(shè)有與其連通的排氣管， 在右氣室上還設(shè)有與其相連通的氫氣進(jìn)氣管，位于右氣室的下端裝有惰性氣體 進(jìn)氣嘴，惰性氣體進(jìn)氣嘴上裝有惰性氣體進(jìn)氣管。
左氣室的側(cè)壁上的穿線孔和隔板上的穿線孔處分別焊接有錐形漏斗，且錐 形漏斗的長(zhǎng)度小于惰性氣體進(jìn)氣管至隔板之間的直線距離。
氫氣進(jìn)氣管的長(zhǎng)度為退火管長(zhǎng)度的1 / 16 1 / 2，且在氫氣進(jìn)氣管上設(shè)有均
3勻分布的小孔。
排氣管內(nèi)分別裝有風(fēng)扇。
所述惰性氣體進(jìn)氣嘴為扇形結(jié)構(gòu)，其中心與右氣室上的排氣管中心同軸。 本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn) '
本發(fā)明避免了熱處理過程中易燃易爆氣體H2的外泄，消除了安全隱患，并 且能夠起到銅鍵合絲的光亮化熱處理效果，為高品質(zhì)的銅鍵合絲材料提供了設(shè) 備保障。


圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2是圖1的A向視圖3是圖1中氫氣進(jìn)氣管的結(jié)構(gòu)示意圖4是裝配示意圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例如圖所示的于銅鍵合絲熱處理過程中的保護(hù)裝置，包括有氣室IO， 氣室10內(nèi)腔由隔板14將其分隔為左氣室8和右氣室7，其中左氣室8上設(shè)有與 其連通的排氣管9，右氣室7上設(shè)有與其連通的排氣管1，在右氣室7上還設(shè)有 與其相連通的氫氣進(jìn)氣管4，右氣室7的下端裝有惰性氣體進(jìn)氣嘴15，惰性氣 體進(jìn)氣嘴15為扇形結(jié)構(gòu)，其中心與右氣室7上的排氣管1中心同軸，這樣保證 了能夠形成良好的氣屏，有效的防止氣體外泄或進(jìn)入左氣室8。惰性氣體進(jìn)氣嘴 15上裝有惰性氣體進(jìn)氣管17。位于左氣室7的側(cè)壁上和隔板14上設(shè)有同軸的 穿線孔11、 13，左氣室7的側(cè)壁上的穿線孔11和隔板14上的穿線孔13處分別 焊接有錐形漏斗12、 16，這樣就保證了熱處理過程中穿線順暢，該裝置安裝在 熱處理設(shè)備的退火管6兩端，并用高溫耐火材料5密封連接處。且錐形漏斗12、 16的長(zhǎng)度小于惰性氣體進(jìn)氣管17至隔板14之間的直線距離。在排氣管1、 9內(nèi) 分別裝有風(fēng)扇2、 3，可使廢氣由排氣管2、 9處順利排出。所述氫氣進(jìn)氣管4的 長(zhǎng)度為退火管6長(zhǎng)度的1 / 16 1 / 2，其位置不影響鍵合絲在熱處理管中順暢通 過。且在氫氣進(jìn)氣管4上設(shè)有均勻分布的小孔18。在保護(hù)裝置安裝過程中要保 證保護(hù)裝置上的13穿線孔與退火管中心同軸。
權(quán)利要求
1、一種銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，包括有氣室，氣室上端設(shè)有與氣室連通的排氣管，氣室的下端設(shè)有進(jìn)氣嘴和惰性氣體進(jìn)氣管，其特征是所述氣室內(nèi)腔由隔板將其分隔為左氣室和右氣室，在左氣室的側(cè)壁上和隔板上設(shè)有同軸的穿線孔，其中左氣室上設(shè)有與其連通的排氣管，右氣室上設(shè)有與其連通的排氣管，在右氣室上還設(shè)有與其相連通的氫氣進(jìn)氣管，位于右氣室的下端裝有惰性氣體進(jìn)氣嘴，惰性氣體進(jìn)氣嘴上裝有惰性氣體進(jìn)氣管。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，其特征是 左氣室的她壁上的穿線孔和隔板上的穿線孔處分別焊接有錐形漏斗，且錐形漏 斗的長(zhǎng)度小于惰性氣體進(jìn)氣管至隔板之間的直線距離。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，其特征是-氫氣進(jìn)氣管的長(zhǎng)度為退火管長(zhǎng)度的1 / 16 1 / 2，且在氫氣進(jìn)氣管上設(shè)有均勻分 布的小孔。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，其特征是 排氣管內(nèi)分別裝有風(fēng)扇。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，其特征是-所述惰性氣體進(jìn)氣嘴為扇形結(jié)構(gòu)，其中心與右氣室上的排氣管中心同軸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種銅鍵合絲光亮化熱處理的保護(hù)裝置，包括有氣室，氣室上端設(shè)有與氣室連通的排氣管，氣室的下端設(shè)有進(jìn)氣嘴和惰性氣體進(jìn)氣管，所述氣室內(nèi)腔由隔板將其分隔為左氣室和右氣室，在左氣室的側(cè)壁上和隔板上設(shè)有同軸的穿線孔，其中左氣室上設(shè)有與其連通的排氣管，有氣室上設(shè)有與其連通的排氣管，在右氣室上還設(shè)有與其相連通的氫氣進(jìn)氣管，位于右氣室的下端裝有惰性氣體進(jìn)氣嘴，惰性氣體進(jìn)氣嘴上裝有惰性氣體進(jìn)氣管。本發(fā)明避免了熱處理過程中易燃易爆氣體H₂的外泄，消除了安全隱患，并且能夠起到銅鍵合絲的光亮化熱處理效果，為高品質(zhì)的銅鍵合絲材料提供了設(shè)備保障。
文檔編號(hào)C23F17/00GK101492822SQ20081004915
公開日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2008年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者呂長(zhǎng)春, 呂長(zhǎng)江 申請(qǐng)人:濟(jì)源優(yōu)克電子材料有限公司