專利名稱：多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高真空多靶共濺射鍍膜設(shè)備中的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺背景技術(shù)：
目前，多靶共濺射鍍膜裝置中使用的樣品臺都是單工位樣品臺。單工位樣品臺具有結(jié)構(gòu)簡單，體積小，使用方便，但在一個(gè)樣品臺上只能放置一個(gè)樣品夾，一個(gè)樣品夾上也只能放置一個(gè)基片，每做一次濺射試驗(yàn)，需要打開濺射鍍膜裝置的腔體，換基片，抽本底真空，而且抽本底真空的時(shí)間通常需要10幾個(gè)小時(shí)，所以試驗(yàn)效率很低。JGP450G型高真空三靶共濺射鍍膜裝置中使用的樣品臺就是單工位樣品臺。
該設(shè)備的生產(chǎn)廠家雖然有多工位樣品臺，但它并不能配備在多靶共濺射設(shè)備中，而是用于多靶單濺射鍍膜裝置。而且它的結(jié)構(gòu)也完全不同于本發(fā)明。其工位調(diào)節(jié)方式是通過步進(jìn)電機(jī)帶動一套齒輪機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)的，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，成本高(大約5萬/套)。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題，就是在多靶共濺射鍍膜裝置中配備多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，做到只需開一次腔體，換一次基片，抽一次本底真空，就可以對多個(gè)基片進(jìn)行多次的濺射試驗(yàn)。
為了解決上述技術(shù)問題，采取了以下技術(shù)方案。本發(fā)明的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺包括了連接原旋轉(zhuǎn)底座的過渡圓盤、調(diào)節(jié)工位用的從動齒輪盤、放置基片的多工位基片插槽、基片夾、基片擋板、彈簧、滾珠定工位孔、調(diào)工位的扇形主動齒輪和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿。
本發(fā)明提供的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，是在原設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸底座上附加一個(gè)過渡圓盤，在過渡圓盤的偏心位置有一個(gè)連接軸，連接軸上依次安裝有從動齒輪盤、多工位基片插槽板和開有一個(gè)濺射孔的基片擋板，基片夾插入多工位基片插槽板的安裝槽內(nèi)，與從動齒輪盤嚙合的扇形主動齒輪安裝在原磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿的末端，用來調(diào)整工位。
多工位基片插槽板上可以設(shè)置4至10個(gè)基片插槽(根據(jù)需要設(shè)計(jì))。
在過渡圓盤和從動齒輪盤之間用彈簧、滾珠定位孔定工位，使從動齒輪盤能步進(jìn)式轉(zhuǎn)動。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和積極效果本發(fā)明就是在多靶共濺射鍍膜設(shè)備中配備多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，從而在試驗(yàn)時(shí)只需要打開一次腔體，換一次基片，抽一次本底真空，就可以對多個(gè)基片進(jìn)行多次多靶濺射試驗(yàn)。采用該裝置后，不僅使試驗(yàn)效率提高了6-7倍，還由于該多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺采用了手動調(diào)節(jié)工位的方式，極大地降低了投資成本。該發(fā)明裝置換位準(zhǔn)確，裝卡試樣簡單，試驗(yàn)效率高，使用維修方便，性能價(jià)格比高。

圖1是本發(fā)明多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的俯視圖；圖3是將本發(fā)明樣品臺安裝在多靶共濺射鍍膜裝置中的示意圖。
具體實(shí)施方式實(shí)施例1圖1標(biāo)號分別表示1、彈簧、滾珠定位孔2、扇形主動齒輪3、6個(gè)基片夾4、多工位基片插槽5、過渡圓盤6、磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿
7、連接軸8、基片擋板9、從動齒輪盤10、原樣品臺的旋轉(zhuǎn)底座。
圖2標(biāo)號分別表示10、原樣品臺的旋轉(zhuǎn)底座11、多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺(本發(fā)明)12、濺射靶13、濺射離子束。
如圖1、2所示，本發(fā)明包括過渡圓盤(5)，調(diào)節(jié)工位用的從動齒輪盤(9)，與從動齒輪盤同步轉(zhuǎn)動的多工位基片插槽板(4)，安裝試樣片的6個(gè)基片夾(3)，基片擋板(8)，在過渡圓盤和從動齒輪盤之間的彈簧、滾珠定工位孔(1)調(diào)節(jié)工位的扇形主動齒輪(2)，磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿(6)，連接在過渡圓盤偏心位置的連接軸(7)組成。
本發(fā)明的工作原理及過程參見圖2、3，拆除原設(shè)備上的單工位樣品臺及基片擋板，在連接原樣品臺的旋轉(zhuǎn)軸底座(10)上，固定一個(gè)過渡圓盤(5)，在過渡圓盤的下方加工3個(gè)彈簧、滾珠定位孔(1)并在孔內(nèi)安裝彈簧、滾珠，同時(shí)在從動齒輪盤上加工6個(gè)工位孔，通過彈簧和滾珠的作用，為從動齒輪盤作步進(jìn)式旋轉(zhuǎn)定位，在過渡圓盤(5)的偏心位置加工一個(gè)螺孔，用來連接調(diào)節(jié)工位的從動齒輪盤(9)，在從動齒輪盤的下方固定放基片用的多工位基片插槽板(4)，使多工位基片插槽板(4)與從動齒輪盤(9)同步轉(zhuǎn)動，基片擋板(8)安裝在多工位基片插槽板(4)的外面，此基片擋板只開一個(gè)濺射孔，試驗(yàn)時(shí)，將被濺射基片旋轉(zhuǎn)到該濺射孔就可以了。利用原來裝基片擋板的磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿(6)，安裝調(diào)工位的扇形主動齒輪(2)，該扇形主動齒輪(2)和從動齒輪盤(9)處于同一水平線，通過兩者的嚙合來調(diào)整工位，參見圖3。
權(quán)利要求1.一種多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，包括原設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸底座，基片夾和基片擋板構(gòu)成，其特征是在原設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸底座上附加一個(gè)過渡圓盤，在過渡圓盤的偏心位置配有一個(gè)連接軸，該連接軸上依次安裝有從動齒輪盤、多工位基片插槽板和開有一個(gè)濺射孔的基片擋板，基片夾插入多工位基片插槽板的安裝槽內(nèi)，與從動齒輪盤嚙合的扇形主動齒輪安裝在原磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿的末端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，其特征是多工位基片插槽板上設(shè)置有4至10個(gè)基片夾安裝槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，其特征是從動齒輪盤上設(shè)置有與基片夾安裝槽即工位數(shù)量相同的彈簧定位孔，并通過彈簧、滾珠實(shí)現(xiàn)定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，其特征是多工位基片插槽板的步進(jìn)式轉(zhuǎn)動是通過扇形主動齒輪與從動齒輪盤相嚙合傳動實(shí)現(xiàn)的。
專利摘要一種多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺。本實(shí)用新型提供的多工位旋轉(zhuǎn)樣品臺，是在原設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸底座上附加一個(gè)過渡圓盤，在過渡圓盤的偏心位置，安裝一個(gè)連接軸，其上依次安裝有從動齒輪盤、多工位基片插槽和開有一個(gè)濺射孔的基片擋板，基片夾插入多工位基片插槽內(nèi)，與從動齒輪盤嚙合的扇形主動齒輪安裝在原磁力旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿的末端。本實(shí)用新型是在多靶共濺射鍍膜設(shè)備中配備了多工位樣品臺，從而作到了開一次腔體，換一次基片，抽一次本底真空，就可以對多個(gè)基片分別進(jìn)行多靶共濺射試驗(yàn)，可以提高試驗(yàn)效率6－7倍，另外，由于采用了手動調(diào)節(jié)工位的設(shè)計(jì)方案，降低了投資成本。該裝置換位準(zhǔn)確，裝卡試樣簡單，使用維修方便，性能價(jià)格比高。
文檔編號C23C14/34GK2923741SQ20062002591
公開日2007年7月18日 申請日期2006年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月25日
發(fā)明者李群英, 杜希文, 孫景, 趙興 申請人:天津大學(xué)