專(zhuān)利名稱(chēng)：真空腔的密閉裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空處理設(shè)備，如大型光電或半導(dǎo)體鍍膜制造過(guò)程中的真空處理設(shè)備，特別涉及一種真空腔的密閉裝置。
本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種真空腔的密閉裝置，利用用以升降閥門(mén)的第一活塞桿與用以密閉閥門(mén)的第二活塞桿與導(dǎo)桿互相平行排列，使得殼體能呈扁平化設(shè)計(jì)，故本實(shí)用新型的真空腔的密閉裝置具有超薄的型態(tài)，且其開(kāi)啟與密閉動(dòng)作均不影響自動(dòng)機(jī)械手臂的活動(dòng)空間。
本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)的一種真空腔的密閉裝置，由用以移動(dòng)一升降框架的復(fù)數(shù)個(gè)長(zhǎng)程氣缸和一閥門(mén)組成，其特征在于升降框架固設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)第一活塞桿與導(dǎo)桿以及至少一個(gè)短程氣缸，其中第一活塞桿的另一端軸設(shè)于長(zhǎng)程氣缸，長(zhǎng)程氣缸可帶動(dòng)升降框架沿一固定方向移動(dòng)，導(dǎo)桿的另一端裝設(shè)有支撐架，每一短程氣缸軸設(shè)有第二活塞桿，第二活塞桿平行于導(dǎo)桿和第一活塞桿，第二活塞桿可沿導(dǎo)桿的一平行方向移動(dòng)，且每一第二活塞桿經(jīng)由一轉(zhuǎn)動(dòng)桿和至少一傳動(dòng)桿連接至一連動(dòng)桿，其中轉(zhuǎn)動(dòng)桿具有一較接近傳動(dòng)桿的支軸，支軸樞接于支撐架，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端樞接第二活塞桿，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端樞接于傳動(dòng)桿，傳動(dòng)桿樞接于連動(dòng)桿的中間部位，連動(dòng)桿的兩端分別樞接有至少一個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)；閥門(mén)樞接有轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)。
所述的一種真空腔的密閉裝置的每一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)包含有一滑塊、一支撐塊和一推塊，推塊固設(shè)于閥門(mén)，滑塊的第一端樞接于連動(dòng)桿，且滑塊的第一端樞接桿活動(dòng)于支撐架的長(zhǎng)透槽，滑塊的第二端樞接于固設(shè)在閥門(mén)的推塊，且滑塊的中間點(diǎn)樞接于支撐塊，而支撐塊的另一端樞接至支撐架。支撐架包含一供轉(zhuǎn)動(dòng)桿的支軸樞接的固定橫桿。閥門(mén)設(shè)有一環(huán)墊。所述的一種真空腔的密閉裝置還包含一推桿以及樞接推桿兩端的第二傳動(dòng)桿，其中推桿的中間部位樞接第二活塞桿，并且第二傳動(dòng)桿樞接轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端。
所述的一種真空腔的密閉裝置由一扁平的殼體、一閥門(mén)、一密閉裝置、一升降裝置組成，其中殼體具有一開(kāi)口；閥門(mén)裝設(shè)于殼體內(nèi)，閥門(mén)結(jié)合有復(fù)數(shù)個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)；密閉裝置包含有一升降框架、一支撐架以及固定連接升降框架和支撐架的導(dǎo)桿，升降框架上裝設(shè)有至少一個(gè)短程氣缸以定點(diǎn)移動(dòng)第二活塞桿，第二活塞桿能帶動(dòng)至少一轉(zhuǎn)動(dòng)桿、一傳動(dòng)桿及一連動(dòng)桿，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的支軸樞接于支撐架，傳動(dòng)桿樞接轉(zhuǎn)動(dòng)桿與連動(dòng)桿的中間部位，而連動(dòng)桿的兩端分別樞接有轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)以作動(dòng)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)而密閉殼體的開(kāi)口；升降裝置包含有復(fù)數(shù)個(gè)長(zhǎng)程氣缸以定點(diǎn)移動(dòng)第一活塞桿，第一活塞桿的一端連接密閉裝置的升降框架用以升降移動(dòng)該閥門(mén)與密閉裝置，其中第一活塞桿平行于第二活塞桿。殼體具有一導(dǎo)向板以供導(dǎo)桿和第二活塞桿穿過(guò)。支撐架形成有供滑塊的第一端樞接桿活動(dòng)的長(zhǎng)透槽。


圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的立體透視圖圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的真空腔的密閉裝置在開(kāi)啟狀態(tài)的正面透視圖圖3為沿圖2之3-3剖線(xiàn)的截面圖圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例的真空腔密閉裝置在移動(dòng)定位時(shí)的正面透視圖圖5為沿圖4之5-5剖線(xiàn)的截面圖圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例的真空腔的密閉裝置在密閉狀態(tài)的正面透視圖圖7為沿圖6之7-7剖線(xiàn)的截面圖圖8為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的正面透視圖密閉裝置是用來(lái)密閉該閥門(mén)140的，其包含有一升降框架130和一支撐架132，升降框架130的較內(nèi)側(cè)固設(shè)有兩導(dǎo)桿131，導(dǎo)桿131穿過(guò)殼體150的導(dǎo)向板152，且導(dǎo)桿131的另一端固定結(jié)合至殼體150內(nèi)的支撐架132，支撐架132形成有復(fù)數(shù)個(gè)長(zhǎng)透槽133，以供轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160的滑塊162的第一端162a樞接桿活動(dòng)(如圖3所示)，支撐架132并包含有一固定橫桿134，以供支軸136樞接轉(zhuǎn)動(dòng)桿123，此外，導(dǎo)向板152在導(dǎo)桿131和第二活塞桿121的穿套部位裝設(shè)有O型環(huán)135，以增進(jìn)氣密與機(jī)械定位的緩沖效果。
此外，在升降框架130裝設(shè)有至少一個(gè)短程氣缸120，以定點(diǎn)移動(dòng)第二活塞桿121，在本實(shí)施例中，升降框架130裝設(shè)有兩個(gè)短程氣缸120，其穿接兩個(gè)第二活塞桿121，當(dāng)短程氣缸120進(jìn)行定點(diǎn)移動(dòng)第二活塞桿121時(shí)，第二活塞桿121依導(dǎo)桿131的一平行方向移動(dòng)(如圖4和圖6所示)，而這些第一活塞桿111、第二活塞桿121與導(dǎo)桿131均相互平行，故真空腔的密閉裝置可為扁平的設(shè)計(jì)。
如圖2和圖3所示，第二活塞桿121穿過(guò)殼體150的導(dǎo)向板152并樞接至一轉(zhuǎn)動(dòng)桿123的一端，轉(zhuǎn)動(dòng)桿123以支軸136樞接于支撐架132的固定橫桿134，而轉(zhuǎn)動(dòng)桿123的另一端樞接至一傳動(dòng)桿124，最好是支軸136接近傳動(dòng)桿124，使得轉(zhuǎn)動(dòng)桿123具有杠桿作用的傳動(dòng)效果，且傳動(dòng)桿124的一端樞接連動(dòng)桿122的中間部位，連動(dòng)桿122的兩端分別樞接有至少一個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160，利用轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160使閥門(mén)140水平移動(dòng)，以密閉殼體150的開(kāi)口151。
如圖3和圖7所示，每一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160包含有一滑塊162、一支撐塊163和一推塊161，推塊161固設(shè)于閥門(mén)140，而滑塊162的第二端162C樞接于推塊161，滑塊162的第一端162a樞接于連動(dòng)桿122，且在滑塊第一端162a的樞接桿被支撐架132的長(zhǎng)透槽133限位活動(dòng)，且滑塊162的中間點(diǎn)162b樞接于支撐塊163，而支撐塊兒163的另一端樞軸163a樞接至支撐架132。
當(dāng)上述真空腔的密閉裝置100在開(kāi)啟狀態(tài)時(shí)，如圖2和圖3所示，長(zhǎng)程氣缸110定點(diǎn)直線(xiàn)伸出第一活塞桿111，使得升降框架130往遠(yuǎn)離長(zhǎng)程氣缸110的方向移動(dòng)，同時(shí)閥門(mén)140亦遠(yuǎn)離殼體150的開(kāi)口151，而打開(kāi)腔門(mén)，如圖3所示，在移動(dòng)過(guò)程中，轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160的滑塊162的第一端162a與支撐塊163的樞軸163a保持在較大的間隔，使得閥門(mén)140稍微縮回而與殼體150開(kāi)口151的密閉面呈一間隙，使得移動(dòng)閥門(mén)140時(shí)不摩擦接觸殼體150。
當(dāng)欲密閉真空腔時(shí)，啟動(dòng)升降裝置，以執(zhí)行一上升動(dòng)作，如圖4和圖5所示，長(zhǎng)程氣缸110定點(diǎn)直線(xiàn)縮回第一活塞桿111，使得升降框架I30往接近長(zhǎng)程氣缸110的方向移動(dòng)，同時(shí)閥門(mén)140往開(kāi)口151移動(dòng)，此時(shí)，如圖5所示，短程氣缸120仍未作動(dòng)，故轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160的滑塊162第一端162a與支撐塊163的樞軸163a仍保持在較大的間隔，使得閥門(mén)140與殼體150開(kāi)口151呈一未密閉的間隙，故閥門(mén)140在不需要摩擦接觸殼體150的情況下，順利地定位移動(dòng)閥門(mén)140至開(kāi)口151處可水平閉合位置。
之后，為了完全密閉殼體150的開(kāi)口151，在第一活塞桿111移動(dòng)至定位點(diǎn)之后，啟動(dòng)密閉裝置，以進(jìn)行一密閉動(dòng)作，如圖6和圖7所示，第二活塞桿121連接一轉(zhuǎn)動(dòng)桿123的一端，轉(zhuǎn)動(dòng)桿123以支軸136樞接于支撐架132的固定橫桿134，轉(zhuǎn)動(dòng)桿123的另一端樞接一傳動(dòng)桿124，再由傳動(dòng)桿124連接至一連動(dòng)桿122，當(dāng)?shù)诙钊麠U121被短程氣缸120定位控制伸出，轉(zhuǎn)動(dòng)桿123以支軸136為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)并同步帶動(dòng)傳動(dòng)桿124與連動(dòng)桿122，并經(jīng)由連動(dòng)桿122帶動(dòng)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160，使得轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160的滑塊162的第一端162a往支撐塊163的樞軸163a接近，當(dāng)滑塊162的第一端162a與支撐塊163的樞軸163a之間具有一較小的間隔時(shí)，依據(jù)卡登圓變向原理，轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160滑塊162的第二端162C往殼體開(kāi)口151的密閉面水平移動(dòng)，而同步直線(xiàn)頂推出推塊161與閥門(mén)140，進(jìn)行密閉殼體150開(kāi)口151的動(dòng)作，而閥門(mén)140被轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160頂推帶動(dòng)的移動(dòng)方向與第二活塞桿121的移動(dòng)方向呈垂直角度，使得閥門(mén)140完全密閉開(kāi)口151，在閥門(mén)140的壓合面周邊設(shè)有一具彈性的環(huán)墊141，以增進(jìn)閥門(mén)140的密合性。
因此，本實(shí)用新型的真空腔的密閉裝置100利用轉(zhuǎn)動(dòng)桿123、傳動(dòng)桿124及連動(dòng)桿122的杠桿作用傳動(dòng)，可同步驅(qū)動(dòng)多個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)160移動(dòng)，多點(diǎn)而平均施力于閥門(mén)140，可更確實(shí)與省力地密閉真空腔門(mén)，具有密閉大面積或高重量閥門(mén)的功效，并且其密閉裝置的導(dǎo)桿131與第二活塞桿121能相互平行排列，甚至能平行排列于同一平面，使得殼體150可呈扁平化設(shè)計(jì)，故本實(shí)用新型的真空腔的密閉裝置100具有超薄的型態(tài)，其開(kāi)啟與密閉動(dòng)作均不影響自動(dòng)機(jī)械手臂的活動(dòng)空間。
如圖8所示，在本實(shí)用新型的第二實(shí)施例中，例舉一種以一個(gè)第二活塞桿221同步驅(qū)動(dòng)多數(shù)個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)260的真空腔的密閉裝置200，其構(gòu)件如長(zhǎng)程氣缸220、第一活塞桿211、轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)260、連動(dòng)桿222、轉(zhuǎn)動(dòng)桿223、傳動(dòng)桿224、導(dǎo)桿231、閥門(mén)240及殼體250均大致與第一實(shí)施例相同，且密閉裝置200另包含有一升降框架230，其固設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)相互平行的第一活塞桿211與導(dǎo)桿231以及一短程氣缸220，其中第一活塞桿211的另一端軸設(shè)于對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)程氣缸210，使長(zhǎng)程氣缸210定點(diǎn)移動(dòng)升降框架230，而導(dǎo)桿231穿過(guò)殼體250的導(dǎo)向板252而固定連接有一支撐架232，其形成有長(zhǎng)透槽(圖中未繪出)，以限制轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)260，導(dǎo)向板252在導(dǎo)桿231的穿套部位形成有復(fù)數(shù)個(gè)O形環(huán)235，以增進(jìn)氣密效果，而短程氣缸220軸設(shè)有一第二活塞桿221，第二活塞桿221平行位于其中兩第一活塞桿211與導(dǎo)桿231之間，使得第二活塞桿221可依導(dǎo)桿231的一平行方向定點(diǎn)移動(dòng)，且第二活塞桿221連接至一推桿225的中央，而推桿225的兩端分別樞接有兩第二傳動(dòng)桿226，每一第二傳動(dòng)桿226樞接至對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)桿223的一端，轉(zhuǎn)動(dòng)桿223以支軸236樞接至支撐架232的固定橫桿234，每一轉(zhuǎn)動(dòng)桿223的另一端樞接有一傳動(dòng)桿224，而傳動(dòng)桿224樞接至一連動(dòng)桿222的中間部位，每一連動(dòng)桿222兩端分別樞接復(fù)數(shù)個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)260，如推塊261、滑塊262與支撐塊263等等。當(dāng)短程氣缸220伸出第二活塞桿221時(shí)，經(jīng)由推桿225、第二傳動(dòng)桿226、轉(zhuǎn)動(dòng)桿223、傳動(dòng)桿224及連動(dòng)桿222的連動(dòng)，轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)260同步頂推出閥門(mén)240而均勻密閉殼體250的開(kāi)口251。
權(quán)利要求1.一種真空腔的密閉裝置，由用以移動(dòng)一升降框架的復(fù)數(shù)個(gè)長(zhǎng)程氣缸和一閥門(mén)組成，其特征在于升降框架固設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)第一活塞桿與導(dǎo)桿以及至少一個(gè)短程氣缸，其中第一活塞桿的另一端軸設(shè)于長(zhǎng)程氣缸，長(zhǎng)程氣缸可帶動(dòng)升降框架沿一固定方向移動(dòng)，導(dǎo)桿的另一端裝設(shè)有支撐架，每一短程氣缸軸設(shè)有第二活塞桿，第二活塞桿平行于導(dǎo)桿和第一活塞桿，第二活塞桿可沿導(dǎo)桿的一平行方向移動(dòng)，且每一第二活塞桿經(jīng)由一轉(zhuǎn)動(dòng)桿和至少一傳動(dòng)桿連接至一連動(dòng)桿，其中轉(zhuǎn)動(dòng)桿具有一較接近傳動(dòng)桿的支軸，支軸樞接于支撐架，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端樞接第二活塞桿，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端樞接于傳動(dòng)桿，傳動(dòng)桿樞接于連動(dòng)桿的中間部位，連動(dòng)桿的兩端分別樞接有至少一個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)；閥門(mén)樞接有轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于每一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)包含有一滑塊、一支撐塊和一推塊，推塊固設(shè)于閥門(mén)，滑塊的第一端樞接于連動(dòng)桿，且滑塊的第一端樞接桿活動(dòng)于支撐架的長(zhǎng)透槽，滑塊的第二端樞接于固設(shè)在閥門(mén)的推塊，且滑塊的中間點(diǎn)樞接于支撐塊，而支撐塊的另一端樞接至支撐架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于支撐架包含一供轉(zhuǎn)動(dòng)桿的支軸樞接的固定橫桿。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于閥門(mén)設(shè)有一環(huán)墊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于包含一推桿以及樞接推桿兩端的第二傳動(dòng)桿，其中推桿的中間部位樞接第二活塞桿，并且第二傳動(dòng)桿樞接轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于密閉裝置由一扁平的殼體、一閥門(mén)、一密閉裝置、一升降裝置組成，其中殼體具有一開(kāi)口；閥門(mén)裝設(shè)于殼體內(nèi)，閥門(mén)結(jié)合有復(fù)數(shù)個(gè)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)；密閉裝置包含有一升降框架、一支撐架以及固定連接升降框架和支撐架的導(dǎo)桿，升降框架上裝設(shè)有至少一個(gè)短程氣缸以定點(diǎn)移動(dòng)第二活塞桿，第二活塞桿能帶動(dòng)至少一轉(zhuǎn)動(dòng)桿、一傳動(dòng)桿及一連動(dòng)桿，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的支軸樞接于支撐架，傳動(dòng)桿樞接轉(zhuǎn)動(dòng)桿與連動(dòng)桿的中間部位，而連動(dòng)桿的兩端分別樞接有轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)以作動(dòng)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)而密閉殼體的開(kāi)口；升降裝置包含有復(fù)數(shù)個(gè)長(zhǎng)程氣缸以定點(diǎn)移動(dòng)第一活塞桿，第一活塞桿的一端連接密閉裝置的升降框架用以升降移動(dòng)該閥門(mén)與密閉裝置，其中第一活塞桿平行于第二活塞桿。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于殼體具有一導(dǎo)向板以供導(dǎo)桿和第二活塞桿穿過(guò)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空腔的密閉裝置，其特征在于支撐架形成有供滑塊的第一端樞接桿活動(dòng)的長(zhǎng)透槽。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空腔的密閉裝置，主要包含長(zhǎng)程氣缸，以伸縮移動(dòng)第一活塞桿，第一活塞桿固設(shè)有一升降框架，升降框架結(jié)合有第二活塞桿以及導(dǎo)桿，當(dāng)短程氣缸驅(qū)動(dòng)第二活塞桿相對(duì)于導(dǎo)桿平行移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)桿、傳動(dòng)桿和連動(dòng)桿，而傳動(dòng)桿時(shí)樞接在連動(dòng)桿的中間部位，以多個(gè)樞接在連動(dòng)桿兩端的轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)進(jìn)行真空腔閥門(mén)的密閉，故該裝置具有超薄的型態(tài)。
文檔編號(hào)C23C14/56GK2521225SQ0127827
公開(kāi)日2002年11月20日 申請(qǐng)日期2001年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月29日
發(fā)明者沈宗麟 申請(qǐng)人:沈宗麟