專利名稱：化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為一種化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)(Chemical Mechanical Polishing)機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置。
在CMP操作過程中總會(huì)遭遇到研磨主機(jī)(Polisher)在研磨后排放高濃度的研磨廢液問題。如

圖1所示，CMP機(jī)臺11的研磨廢液13是經(jīng)由廢液排放管(Drain Pipe)12排出，而廢液排放管12管內(nèi)壁常因研磨廢液13中的研磨漿(Slurry)特性而沾粘或滯留，于是長期排放造成管壁結(jié)成厚垢，甚至引起排放困難或堵塞現(xiàn)象，尤其造成堵塞的厚垢中含有研磨墊料(Pad)經(jīng)打磨機(jī)磨削(Dresser Dressing)后產(chǎn)生發(fā)泡纖維(Polymer)渣，發(fā)泡纖維渣是耐酸堿材質(zhì)，即使利用KOH通管，并打進(jìn)空氣進(jìn)行擾流清灌亦無法將其排除，以致于須將管路局部切除或更新。
然而進(jìn)行管路局部切除或更新作業(yè)，往往需要長時(shí)間停機(jī)機(jī)，影響機(jī)臺工作時(shí)間(up-time)甚劇，因此如何延長排放管的使用壽命(life-time)，已成為所有CMP工程實(shí)務(wù)上重要的課題。
本發(fā)明的目的是為解決上述廢液排放管堵塞的問題而提供一簡便而有效的過濾裝置，使所述過濾裝置阻塞時(shí)有宣泄的路徑，以避免廢液排放管堵塞的現(xiàn)象，進(jìn)而延長排放管使用壽命。
為達(dá)上述目的，根據(jù)本發(fā)明一方面的CMP機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物，其包括一過濾裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述導(dǎo)管是為所述CMP機(jī)臺的廢液排放管。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述導(dǎo)管的不可溶物是為發(fā)泡纖維(Polymer)渣。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述過濾裝置可過濾毫米級的物質(zhì)。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述過濾裝置是設(shè)于所述CMP機(jī)臺與所述導(dǎo)管的接合處。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述過濾裝置是設(shè)于所述導(dǎo)管管路的任一路段。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述導(dǎo)管過濾裝置還包括一拆卸裝置，用以提供所述過濾裝置在所述導(dǎo)管上的拆卸功能。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述導(dǎo)管過濾裝置還包括一輔助導(dǎo)管，它與所述過濾裝置并聯(lián)，當(dāng)所述過濾裝置堵塞時(shí)可保持所述導(dǎo)管的暢通。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述輔助導(dǎo)管是用透明或半透明材質(zhì)制成。
如所述的導(dǎo)管過濾裝置，其中所述輔助導(dǎo)管設(shè)有一流量傳感器，用以檢測所述輔助導(dǎo)管內(nèi)是否有廢液流過。
根據(jù)本發(fā)明另一方面的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物，其特點(diǎn)是，包括一過濾裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物；以及一感應(yīng)裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以感應(yīng)所述導(dǎo)管的一阻塞現(xiàn)象。
采用本發(fā)明的上述方案，由于采取可拆卸的過濾裝置，既可攔截CMP機(jī)臺排放廢液的不可溶物，又有并聯(lián)的輔助導(dǎo)管避免管路阻塞并提供監(jiān)視功能，而一旦過濾裝置阻塞也可拆卸清洗再裝回，整體而言，本發(fā)明的實(shí)用性佳且極為便利，為更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是現(xiàn)有的研磨漿廢液形成殘垢堵塞排放管路示意圖；圖2(A)是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的的示意圖；圖2(B)是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的示意圖；圖3是本發(fā)明再一較佳實(shí)施例的示意圖。
請參見圖2(A)，圖中示出本發(fā)明CMP機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置的一較佳實(shí)施例，其中過濾裝置21是通過拆卸裝置22串接于廢液排放管12的任一段落，當(dāng)過濾裝置21使用一段時(shí)間，因?yàn)閿r截過多的廢液殘垢而致阻塞時(shí)，即可松開拆卸裝置22取下清洗，完畢后再行裝設(shè)回原來位置，既可重復(fù)使用又毋須拆開廢液排放管12清洗，相當(dāng)便利且節(jié)省時(shí)間與成本。輔助導(dǎo)管23同樣和廢液排放管12串接，但與過濾裝置21并聯(lián)形成一旁通的路徑，其作用是于過濾裝置22阻塞時(shí)，提供廢液排放的另一通道以避免整個(gè)管路阻塞，而輔助導(dǎo)管23可以采用透明或半透明材質(zhì)以方便人員檢視有無廢液流通，進(jìn)而提供判斷過濾裝置22是否阻塞的依據(jù)；另外，也可以在輔助導(dǎo)管23上設(shè)置流量傳感器來警示過濾裝置22的阻塞情況。
圖2(B)所示實(shí)施例是直接在過濾裝置21上安裝一感應(yīng)裝置24，借以感應(yīng)所述不可溶物的阻塞現(xiàn)象，這樣，即可省去輔助導(dǎo)管的設(shè)置。
圖3示出本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例，過濾裝置21設(shè)于CMP機(jī)臺11和廢液排放管12的連接處，可以將研磨后的廢液直接加以攔截。
本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，由于采用可拆卸的過濾裝置，既可攔截CMP機(jī)臺排放廢液的不可溶物，又有并聯(lián)的輔助導(dǎo)管避免管路阻塞并提供監(jiān)視功能，而一旦過濾裝置阻塞也可拆卸清洗再裝回，整體上看，本發(fā)明的實(shí)用性佳且極為便利。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物，其特征在于，包括一過濾裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物；以及一輔助導(dǎo)管，與所述過濾裝置并聯(lián)，當(dāng)所述過濾裝置堵塞時(shí)可保持所述導(dǎo)管的暢通。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管為所述化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的廢液排放管。
3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管的不可溶物為發(fā)泡纖維渣。
4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置可過濾毫米級的物質(zhì)。
5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置設(shè)于所述化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺與所述導(dǎo)管的接合處。
6.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置設(shè)于所述導(dǎo)管管路的任一路段。
7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管過濾裝置還包括一拆卸裝置，用以提供所述過濾裝置在所述導(dǎo)管上的拆卸功能。
8.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述輔助導(dǎo)管是用透明或半透明材質(zhì)制成。
9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述輔助導(dǎo)管設(shè)有一流量傳感器，用以檢測所述輔助導(dǎo)管內(nèi)是否有廢液流過。
10.一種化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物，其特征在于，包括一過濾裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物。
11.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管為所述化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的廢液排放管。
12.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管的不可溶物為發(fā)泡纖維渣。
13.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置可過濾毫米級的物質(zhì)。
14.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置設(shè)于所述化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺與所述導(dǎo)管的接合處。
15.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置設(shè)于所述導(dǎo)管管路的任一路段。
16.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管過濾裝置還包括一拆卸裝置，用以提供所述過濾裝置在所述導(dǎo)管上的拆卸功能。
17.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管過濾裝置還包括一輔助導(dǎo)管，它與所述過濾裝置并聯(lián)，當(dāng)所述過濾裝置堵塞時(shí)可保持所述導(dǎo)管的暢通。
18.如權(quán)利要求17所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述輔助導(dǎo)管是用透明或半透明材質(zhì)制成。
19.如權(quán)利要求17所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述輔助導(dǎo)管設(shè)有一流量傳感器，用以檢測所述輔助導(dǎo)管內(nèi)是否有廢液流過。
20.一種化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物，其特征在于，包括一過濾裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物；以及一感應(yīng)裝置，它連接在所述導(dǎo)管上，借以感應(yīng)所述導(dǎo)管的一阻塞現(xiàn)象。
21.如權(quán)利要求20所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述阻塞現(xiàn)象是由所述不可溶物造成。
22.如權(quán)利要求21所述的化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管的不可溶物為發(fā)泡纖維渣。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)(Chemical Mechanical Polishing)機(jī)臺的導(dǎo)管過濾裝置,借以過濾一導(dǎo)管的不可溶物。本發(fā)明的特征在于所述過濾裝置是采可拆卸的設(shè)計(jì),且并聯(lián)一輔助導(dǎo)管,使所述過濾裝置阻塞時(shí)有宣泄的路徑,而不至于造成整個(gè)管路的阻塞。
文檔編號B24B55/00GK1386613SQ0111975
公開日2002年12月25日 申請日期2001年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月23日
發(fā)明者林俊杰, 陳廷國, 陳義元, 劉志勇, 郭文進(jìn) 申請人:華邦電子股份有限公司