一種并聯(lián)x-y工作臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于運(yùn)動平臺技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種并聯(lián)X-Y工作臺。
【背景技術(shù)】
[0002]并聯(lián)平臺是一種典型的并聯(lián)機(jī)構(gòu)，與傳統(tǒng)的串聯(lián)機(jī)構(gòu)相比，具有結(jié)構(gòu)剛度大、承載能力強(qiáng)、定位精度高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微操作機(jī)器人、生物醫(yī)學(xué)、精密加工等領(lǐng)域。
[0003]現(xiàn)有大部分運(yùn)動平臺利用旋轉(zhuǎn)電機(jī)一滾珠絲杠的驅(qū)動，滾動導(dǎo)軌支承的方式，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動通過絲杠傳動環(huán)節(jié)轉(zhuǎn)換成X-Y定位平臺的直線運(yùn)動方式，在此過程存在著中間裝換裝置，這就必然地存在環(huán)節(jié)長、慣量大和摩擦大等問題，影響精度。較先進(jìn)一些的運(yùn)動平臺，采用直線電機(jī)驅(qū)動，將驅(qū)動直線電機(jī)放置在基座上，減小運(yùn)動慣量，但制造成本較高，并且，現(xiàn)有的并聯(lián)平臺的一個弱點(diǎn)就是沒有充分發(fā)揮氣體的誤差均化作用，從而限制了運(yùn)動精度的進(jìn)一步提尚。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)動平臺為一個方向的直線運(yùn)動，就算是兩個方向的運(yùn)動，也不是動平臺在一個共同基準(zhǔn)面上實(shí)現(xiàn)X-Y運(yùn)動，所以誤差均化效果不明顯。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種并聯(lián)X-Y工作臺。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0007]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺，該工作臺包括動工作平臺、X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)、Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu);所述動工作平臺設(shè)置在靜工作平臺上，所述靜工作平臺設(shè)置在基座上，所述X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)、Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在X方向?qū)к壍鬃蚘方向?qū)к壍鬃?，所述X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌滑塊的頂端面與X方向薄板連接件的一端剛性連接，所述X方向薄板連接件的另一端與X方向矩形套筒剛性連接，所述X方向矩形套筒與X方向氣缸非剛性連接，所述X方向氣缸通過X方向螺栓與動工作平臺剛性連接;所述Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌滑塊的頂端面與Y方向薄板連接件的一端剛性連接，所述Y方向薄板連接件的另一端與Y方向矩形套筒剛性連接，所述Y方向矩形套筒與Y方向氣缸非剛性連接，所述Y方向氣缸通過Y方向螺栓與動工作平臺剛性連接;所述X方向?qū)к壍鬃蚘方向?qū)к壍鬃戏謩e設(shè)置X方向位移檢測裝置光柵尺和Y方向位移檢測裝置光柵尺；
[0008]所述X方向氣缸的缸筒嵌套在X方向矩形套筒內(nèi)，所述X方向矩形套筒的上下兩個內(nèi)表面均與X方向氣缸的缸筒外表面無接觸，所述X方向矩形套筒的其余兩個內(nèi)表面均與X方向氣缸的缸筒外表面相接觸；
[0009]所述Y方向氣缸的缸筒嵌套在Y方向矩形套筒內(nèi)，所述Y方向矩形套筒的上下兩個內(nèi)表面均與Y方向氣缸的缸筒外表面無接觸，所述Y方向矩形套筒的其余兩個內(nèi)表面均與Y方向氣缸的缸筒外表面相接觸。
[0010]上述方案中，所述X方向薄板連接件與X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)在X方向上共線，均與X方向氣缸缸體保持垂直，所述X方向氣缸的活塞桿的運(yùn)動方向與X向垂直。
[0011]上述方案中，所述Y方向薄板連接件與Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)在Y方向上共線，均與Y方向氣缸缸體保持垂直，所述Y方向氣缸的活塞桿的運(yùn)動方向與Y向垂直。
[0012]上述方案中，所述X方向位移檢測裝置光柵尺與X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)保持在X方向上平行，并且所述X方向位移檢測裝置光柵尺的光柵讀數(shù)頭與X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌滑塊的側(cè)面剛性連接;所述X方向?qū)к壍鬃鶆傂赃B接固定于基座上。
[0013]上述方案中，所述Y方向位移檢測裝置光柵尺與Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)保持在Y方向上平行，并且所述Y方向位移檢測裝置光柵尺的光柵讀數(shù)頭與Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)的導(dǎo)軌滑塊的側(cè)面剛性連接;所述Y方向?qū)к壍鬃鶆傂赃B接固定于基座上。
[0014]上述方案中，所述X方向氣缸和Y方向氣缸分別剛性連接在動工作平臺的相鄰兩側(cè)面上，且缸體與所連接面保持平行關(guān)系。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:
[0016]本實(shí)用新型的運(yùn)動氣浮平臺能夠在一個共同基準(zhǔn)面上實(shí)現(xiàn)X-Y方向運(yùn)動，所以氣體的誤差均化效果比較明顯，也就是說動氣浮平臺在一個共同基準(zhǔn)面上運(yùn)動，是能夠顯著提高誤差均化效果的，充分發(fā)揮了氣體的誤差均化效果，提高運(yùn)動精度。
[0017]本實(shí)用新型采用氣缸作為驅(qū)動部件，大大降低成本，且將氣缸安裝在動氣浮平臺兩相鄰側(cè)面，動氣浮平臺隨氣缸活塞桿的線性移動而實(shí)現(xiàn)X-Y方向的移動；以滾動直線導(dǎo)軌副作為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向簡單，易于控制。
[0018]本實(shí)用新型排除了動工作氣浮平臺其他方向的干擾力，充分提高動工作氣浮平臺的運(yùn)動精度，實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)行。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺的X方向驅(qū)動部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺的Y方向與X方向的布局。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0024]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種并聯(lián)X-Y工作臺，如圖1、2所示，該工作臺包括動工作平臺3、X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)13、Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)1 ；所述動工作平臺3設(shè)置在靜工作平臺2上并且相應(yīng)邊互相平行，所述靜工作平臺2設(shè)置在基座I上并且相應(yīng)邊互相平行，所述X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)13、Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)10分別設(shè)置在X方向?qū)к壍鬃?1和Y方向?qū)к壍鬃?上，所述X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)13的導(dǎo)軌滑塊的頂端面與X方向薄板連接件14的一端剛性連接，所述X方向薄板連接件14的另一端與X方向矩形套筒15剛性連接，所述X方向矩形套筒15與X方向氣缸16非剛性連接，所述X方向氣缸16通過X方向螺栓17與動工作平臺3剛性連接;所述Y方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)10的導(dǎo)軌滑塊的頂端面與Y方向薄板連接件7的一端剛性連接，所述Y方向薄板連接件7的另一端與Y方向矩形套筒4剛性連接，所述Y方向矩形套筒4與Y方向氣缸5非剛性連接，所述Y方向氣缸5通過Y方向螺栓6與動工作平臺3剛性連接;所述X方向?qū)к壍鬃?1和Y方向?qū)к壍鬃?上分別設(shè)置X方向位移檢測裝置光柵尺12和Y方向位移檢測裝置光柵尺8。
[0025]所述X方向薄板連接件14與X方向滾動直線導(dǎo)軌副機(jī)構(gòu)13在X方向上共線，均與X方向氣缸16缸體保持垂直，所述X方向